本發(fā)明涉及具有維護(hù)區(qū)域的裝置，當(dāng)維護(hù)時作業(yè)者接近該維護(hù)區(qū)域。

背景技術(shù)：

在對半導(dǎo)體晶片進(jìn)行加工等時使用的各種裝置的殼體中收納有各種各樣的構(gòu)成要素。殼體例如由形成裝置的大致形狀的骨架和對骨架進(jìn)行覆蓋的罩構(gòu)成，在對內(nèi)部的構(gòu)成要素進(jìn)行維護(hù)等時，由作業(yè)者將罩的一部分拆下(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2007-331050號公報

但是，如果在每次維護(hù)時將殼體的罩拆下，則未必能夠充分地提高作業(yè)的效率。并且，在該情況下，還存在如下問題：除了用于設(shè)置裝置的設(shè)置空間之外，還必須確保用于暫時保管所拆下的罩的保管空間。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明是鑒于該問題點而完成的，其目的在于提供一種具有維護(hù)區(qū)域的裝置，該裝置具有即使不將殼體的罩拆下也能夠進(jìn)行維護(hù)的維護(hù)區(qū)域。

根據(jù)本發(fā)明的一方式，提供具有維護(hù)區(qū)域的裝置，其特征在于，該裝置具有：殼體；主電源開關(guān)，其用于對主電源的接通和斷開進(jìn)行切換；維護(hù)區(qū)域，其形成在該殼體內(nèi)，當(dāng)維護(hù)時作業(yè)者接近該維護(hù)區(qū)域；開閉門，其用于對該維護(hù)區(qū)域進(jìn)行覆蓋；面板，在使該主電源開關(guān)對準(zhǔn)接通該主電源的接通位置的狀態(tài)下該面板固定在該殼體上，在使該主電源開關(guān)對準(zhǔn)斷開該主電源的斷開位置的狀態(tài)下該面板能夠從該殼體拆下；桿，其一端被該面板抵??；以及貫通安裝部，其形成在該開閉門上，具有供該桿的另一端側(cè)插入的貫通孔，通過在關(guān)閉了該開閉門的狀態(tài)下將該面板固定在該殼體上并對該桿的一端的位置進(jìn)行限定，該桿被定位在其另一端側(cè)插入到該貫通孔中的貫通安裝位置，通過使該主電源開關(guān)對準(zhǔn)該斷開位置而將該面板從該殼體拆下，該桿被定位在其另一端側(cè)從該貫通孔拔出的拔出位置。

在本發(fā)明的一方式的具有維護(hù)區(qū)域的裝置中，由于具有對形成在殼體上的維護(hù)區(qū)域進(jìn)行覆蓋的開閉門，所以能夠僅通過打開該開閉門而接近維護(hù)區(qū)域。也就是說，即使不將殼體的罩拆下也能夠?qū)ρb置進(jìn)行維護(hù)。

并且，在本發(fā)明的一方式的具有維護(hù)區(qū)域的裝置中，在打開開閉門時，必須使主電源開關(guān)對準(zhǔn)斷開主電源的斷開位置而將面板從殼體拆下，將另一端側(cè)插入到貫通孔中的桿定位在拔出位置，而將該桿的另一端側(cè)從貫通孔拔出。也就是說，由于不能在接通主電源的狀態(tài)下打開開閉門，所以維護(hù)時的安全性也變高。

附圖說明

圖1是示意性地示出廢液處理裝置的外觀的立體圖。

圖2是示意性地示出收納在殼體中的構(gòu)成要素的例的圖。

圖3是用于對開閉門的鎖定機構(gòu)進(jìn)行說明的局部剖視俯視圖。

圖4的(a)和圖4的(b)是用于對安全機構(gòu)進(jìn)行說明的側(cè)視圖。

圖5是示意性地示出開閉門的鎖定被解除的狀態(tài)的局部剖視俯視圖。

標(biāo)號說明

2：廢液處理裝置(具有維護(hù)區(qū)域的裝置)；4：殼體；4a：第1開口部；4b：第2開口部；6：罩；8：配管；10：廢液容器；12：廢液泵；14：配管；16：電磁閥；18：過濾單元；20：過濾器；22：濾液接受盤；24：配管；26：濾液容器；28：壓力傳感器；30：濾液泵；32：配管；34：純水生成單元；36：紫外線光源；38：配管；40：第1離子交換器；42：第2離子交換器；44：電磁閥；46：電磁閥；48：配管；50：精密過濾器；52：壓力傳感器；54：電阻率計；56：配管；58：溫度調(diào)整單元；60：配管；62：蓋；64：開閉門；66：輸入板；68：監(jiān)視器；70：主電源開關(guān)；70a：旋轉(zhuǎn)部；72：面板；72a：接受部；74：桿；74a：第1凸緣部；74b：第2凸緣部；76：第1保持部；78：第2保持部；80：螺旋彈簧；82：貫通安裝部；82a：貫通孔；84：螺釘。

具體實施方式

參照附圖對本發(fā)明的一方式的實施方式進(jìn)行說明。圖1是示意性地示出用于對在半導(dǎo)體晶片的加工時產(chǎn)生的廢液等進(jìn)行處理的廢液處理裝置的外觀的立體圖。另外，在本實施方式中，作為具有維護(hù)區(qū)域的裝置，以廢液處理裝置為例來進(jìn)行說明，但本發(fā)明的裝置也可以是切削裝置、激光加工裝置、磨削裝置、研磨裝置和清洗裝置等。

如圖1所示，廢液處理裝置(具有維護(hù)區(qū)域的裝置)2具有殼體4，在該殼體4內(nèi)收納、搭載有多個構(gòu)成要素。殼體4代表性地由形成廢液處理裝置2的大致形狀的骨架(未圖示)和對骨架進(jìn)行覆蓋的多個罩6構(gòu)成。在殼體4的內(nèi)部形成有用于收納構(gòu)成要素的收納空間。

圖2是示意性地示出收納在殼體4中的構(gòu)成要素的例的圖。如圖2所示，在殼體4的收納空間內(nèi)收納有廢液容器10，該廢液容器10通過配管8而與切削裝置等加工裝置(未圖示)連接。該廢液容器10對通過配管8而從加工裝置接受的廢液進(jìn)行貯存。

在廢液容器10的上部設(shè)置有廢液泵12，該廢液泵12用于將貯存在廢液容器10中的廢液輸送到后段。由廢液泵12從廢液容器10輸送出的廢液通過配管14、電磁閥16等提供到過濾單元18。過濾單元18具有過濾器20，該過濾器20用于對從廢液容器10提供的廢液進(jìn)行過濾。

在過濾器20的下方設(shè)置有接受過濾后的液體(濾液)的濾液接受盤22。該濾液接受盤22經(jīng)由配管24等而與濾液容器26連接，利用過濾器20對廢液進(jìn)行過濾而得到的濾液通過濾液接受盤22而貯存在濾液容器26中。

另外，在向過濾單元18提供廢液的配管14上設(shè)置有用于對廢液的壓力進(jìn)行檢測的壓力傳感器28。壓力傳感器28與控制單元(未圖示)連接，并將包含有由壓力傳感器28檢測出的壓力的信息的信號發(fā)送給控制單元。

例如，當(dāng)由壓力傳感器28檢測出的廢液的壓力比閾值大時，控制單元判斷為過濾器20的功能降低而將該內(nèi)容通知給作業(yè)者。這樣的通知能夠通過警告燈(未圖示)的發(fā)光、通知聲音的產(chǎn)生、監(jiān)視器68(圖1)上的顯示等方法來進(jìn)行。

濾液容器26與濾液泵30連接，該濾液泵30用于將所貯存的濾液輸送到后段。由濾液泵30從濾液容器26輸送出的濾液通過配管32等提供到純水生成單元34。純水生成單元34具有紫外線光源36，該紫外線光源36用于對從濾液容器26提供的濾液照射紫外線(紫外光)。

被從紫外線光源36照射的紫外線殺菌后的濾液通過配管38等提供到第1離子交換器40和第2離子交換器42。第1離子交換器40經(jīng)由電磁閥44而與配管38連接，第2離子交換器42經(jīng)由電磁閥46而與配管38連接。通過對這兩個電磁閥44、46進(jìn)行控制，能夠向第1離子交換器40和第2離子交換器42中的任意一個提供濾液。

提供到第1離子交換器40或第2離子交換器42的濾液通過包含在第1離子交換器40或第2離子交換器42中的離子交換樹脂來進(jìn)行離子交換，從而變成純水。另一方面，在以這樣的方法生成的純水中有時也混入了從離子交換樹脂產(chǎn)生的微小的樹脂片等碎屑。因此，通過經(jīng)由配管48而與第1離子交換器40和第2離子交換器42的后段連接的精密過濾器50將該碎屑去除。

另外，在向精密過濾器50提供純水的配管48上設(shè)置有用于對純水的壓力進(jìn)行檢測的壓力傳感器52。壓力傳感器52與控制單元連接，并將包含有由壓力傳感器52檢測出的壓力的信息的信號發(fā)送給控制單元。例如，當(dāng)由壓力傳感器52檢測出的純水的壓力比閾值大時，控制單元判斷為精密過濾器50的功能降低而將該內(nèi)容通知給作業(yè)者。

并且，在向精密過濾器50提供純水的配管48上設(shè)置有用于對純水的電阻率進(jìn)行檢測的電阻率計54。電阻率計54與控制單元連接，并將包含有由電阻率計54檢測出的電阻率的信息的信號發(fā)送給控制單元。例如，當(dāng)由電阻率計54檢測出的純水的電阻率比閾值低時，控制單元判斷為第1離子交換器40或第2離子交換器42的功能降低而將該內(nèi)容通知給作業(yè)者。

由純水生成單元34生成的純水通過配管56等輸送到溫度調(diào)整單元58。由溫度調(diào)整單元58調(diào)整成規(guī)定的溫度的純水通過配管60等提供到加工裝置。

如圖1所示，在殼體4的上部前表面?zhèn)刃纬捎信c收納空間連通的第1開口部4a。在第1開口部4a內(nèi)例如配置有上述的過濾單元18。并且，在殼體4的上表面安裝有用于封閉該第1開口部4a的蓋62。通過打開蓋62，作業(yè)者能夠通過第1開口部4a對過濾單元18的過濾器20進(jìn)行更換。

并且，在殼體4的前表面與第1開口部4a相鄰地形成有第2開口部4b，該第2開口部4b與收納空間連通。在對廢液處理裝置2進(jìn)行維護(hù)等時，例如，作業(yè)者能夠通過第2開口部4b來接近收納空間的一部分。即，該收納空間的一部分成為在維護(hù)時作業(yè)者所接近的維護(hù)區(qū)域。

在維護(hù)區(qū)域內(nèi)例如收納有維護(hù)頻率較高的電裝部件和配管等構(gòu)成要素。但是，對收納在維護(hù)區(qū)域內(nèi)的構(gòu)成要素并沒有限制。在第2開口部4b的前方側(cè)設(shè)置有用于對維護(hù)區(qū)域進(jìn)行覆蓋的開閉門64。開閉門64的一側(cè)部通過鉸鏈等而與殼體4連結(jié)，開閉門64以該側(cè)部為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。

在開閉門64的上部前表面上設(shè)置有輸入板66，該輸入板66用于輸入針對控制單元的指示等。在與輸入板66相鄰的位置處設(shè)置有用于對各種的信息進(jìn)行顯示的監(jiān)視器68。

在殼體4的側(cè)面配置有旋轉(zhuǎn)式的主電源開關(guān)70，該主電源開關(guān)70用于對廢液處理裝置2所具有的主電源(未圖示)的接通和斷開進(jìn)行切換。在主電源開關(guān)70的周圍固定有圍繞主電源開關(guān)70的面板72。該面板72成為用于鎖定開閉門64的鎖定機構(gòu)的一部分。

圖3是用于對開閉門64的鎖定機構(gòu)進(jìn)行說明的局部剖視俯視圖。在圖3中示出了將開閉門64鎖定后的狀態(tài)。如圖3所示，面板72的背面?zhèn)?殼體4的罩6那一側(cè))與構(gòu)成鎖定機構(gòu)的圓柱狀的桿74的一端側(cè)(基端側(cè))接觸。該桿74例如通過形成于罩6的貫通孔(未圖示)而插入到殼體4的內(nèi)部。

并且，桿74例如通過固定在殼體4的上部等的第1保持部76和第2保持部78而保持為能夠滑動的狀態(tài)。在第1保持部76和第2保持部78上分別形成有貫通孔(未圖示)，桿74插入到該貫通孔內(nèi)。

在桿74的一端側(cè)設(shè)置有第1凸緣部74a，該第1凸緣部74a從桿74的側(cè)面在徑向上突出。在位于第1凸緣部74a與第1保持部76之間的桿74的周圍配置有螺旋彈簧80。通過該螺旋彈簧80對桿74施加朝向面板72的背面?zhèn)鹊牧?。即，在將開閉門64鎖定了的狀態(tài)下，桿74的一端側(cè)被面板72推抵而固定(抵住)。

在桿74的另一端側(cè)(前端側(cè))設(shè)置有第2凸緣部74b，該第2凸緣部74b從桿74的側(cè)面在徑向上突出。通過該第2凸緣部74b來防止桿74從第2保持部78拔出。另外，第2凸緣部74b配置在從桿74的另一端起向一端側(cè)遠(yuǎn)離的位置，桿74的另一端的側(cè)面露出。

在開閉門64的內(nèi)側(cè)設(shè)置有與桿74的另一端側(cè)卡合的貫通安裝部82。在貫通安裝部82上形成有能夠?qū)U74的另一端側(cè)插入的貫通孔82a。因此，如果在關(guān)閉了開閉門64的狀態(tài)下使桿74滑動，并將桿74定位在其另一端側(cè)插入到貫通孔82a中的貫通安裝位置，則能夠?qū)﹂_閉門64進(jìn)行鎖定。

如上述那樣，桿74的一端側(cè)被面板72的背面?zhèn)韧频侄潭ǎ瑮U74的一端側(cè)的位置被面板72限制。例如，要想將桿74定位在將開閉門64鎖定的貫通安裝位置，則如圖3所示，將面板72固定在殼體4(罩6)上而對桿74的一端側(cè)的位置進(jìn)行限制即可。

面板72在殼體4(罩6)上的固定例如是通過4個螺釘84來進(jìn)行的。另一方面，要想解除開閉門64的鎖定，則將面板72從殼體4(罩6)拆下，并將桿74定位在另一端側(cè)能夠從貫通孔82a拔出的拔出位置即可。

另外，在該鎖定機構(gòu)上設(shè)置有安全機構(gòu)，該安全機構(gòu)能夠通過使主電源開關(guān)70對準(zhǔn)斷開主電源的斷開位置來解除鎖定。也就是說，只要不使主電源開關(guān)70對準(zhǔn)斷開位置，則即使擰下螺釘84也不能將面板72從殼體4(罩6)拆下。

圖4的(a)和圖4的(b)是用于對安全機構(gòu)進(jìn)行說明的側(cè)視圖。另外，在圖4的(a)中，示出了將主電源開關(guān)70對準(zhǔn)接通主電源的接通位置的狀態(tài)，在圖4的(b)中，示出了將主電源開關(guān)70對準(zhǔn)斷開主電源的斷開位置的狀態(tài)。

如圖4的(a)的圖4的(b)所示，安全機構(gòu)例如包含有與主電源開關(guān)70的旋轉(zhuǎn)軸連結(jié)并固定的棒狀的旋轉(zhuǎn)部70a。該旋轉(zhuǎn)部70a隨著主電源開關(guān)70的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。另一方面，在與旋轉(zhuǎn)部70a的前端對應(yīng)的位置處配置有固定在面板72側(cè)的接受部72a。

如圖4的(a)所示，接受部72a配置在當(dāng)將主電源開關(guān)70對準(zhǔn)接通位置的狀態(tài)下與旋轉(zhuǎn)部70a的前端卡合的位置。因此，在將主電源開關(guān)70對準(zhǔn)接通位置的狀態(tài)下，旋轉(zhuǎn)部70a的前端與接受部72a卡合，主電源開關(guān)70與面板72的位置關(guān)系被固定。即，在該狀態(tài)下，不能將面板72從殼體4(罩6)拆下。

另一方面，如圖4的(b)所示，當(dāng)使主電源開關(guān)70旋轉(zhuǎn)而對準(zhǔn)斷開位置時，旋轉(zhuǎn)部70a也旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)部70a的前端與接受部72a的卡合解除。由此，由于主電源開關(guān)70與面板72的位置關(guān)系沒有被固定，所以能夠?qū)⒚姘?2從殼體4(罩6)拆下而解除開閉門64的鎖定。

圖5是示意性地示出開閉門64的鎖定被解除的狀態(tài)的局部剖視俯視圖。如圖5所示，如果在將主電源開關(guān)70對準(zhǔn)斷開位置的狀態(tài)下擰下螺釘84，則能夠?qū)⒚姘?2從殼體4(罩6)拆下。

當(dāng)將面板72從殼體4(罩6)拆下時，桿74被定位在拔出位置，桿74的另一端側(cè)被從貫通孔82a拔出。由此，作業(yè)者能夠打開開閉門64而接近維護(hù)區(qū)域。另外，在該狀態(tài)下，由于主電源是斷開的，所以安全性較高。

如以上那樣，在本實施方式的廢液處理裝置(具有維護(hù)區(qū)域的裝置)2中，由于具有用于對形成在殼體4中的維護(hù)區(qū)域進(jìn)行覆蓋的開閉門64，所以能夠僅通過打開該開閉門64而接近維護(hù)區(qū)域。也就是說，即使不將殼體4的罩6拆下也能夠?qū)U液處理裝置2進(jìn)行維護(hù)。

并且，在本實施方式的廢液處理裝置2中，在打開開閉門64時，必須使主電源開關(guān)70對準(zhǔn)斷開主電源的斷開位置而將面板72從殼體4(罩6)拆下，并將另一端側(cè)插入到貫通孔82a中的桿74定位在拔出位置而使該桿74的另一端側(cè)從貫通孔82a拔出。也就是說，由于在主電源接通的狀態(tài)下不能打開開閉門64，所以維護(hù)時的安全性也變高。

另外，本發(fā)明并不僅限于上述實施方式的記載，能夠?qū)嵤└鞣N變更。例如，在上述實施方式中，對與旋轉(zhuǎn)式的主電源開關(guān)70對應(yīng)的安全機構(gòu)的一例進(jìn)行了說明，但對安全機構(gòu)的結(jié)構(gòu)并沒有特別的限定。例如，也能夠使用與推桿式的主電源開關(guān)連動而使旋轉(zhuǎn)部電動旋轉(zhuǎn)的安全機構(gòu)等。當(dāng)然，也可以將旋轉(zhuǎn)式的主電源開關(guān)與電動作的安全機構(gòu)等組合。

另外，上述實施方式的構(gòu)造、方法等只要在不脫離本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)便能夠進(jìn)行適當(dāng)變更而實施。