技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種襯底處理裝置、半導(dǎo)體器件的制造方法，其能夠提高對襯底的處理品質(zhì)。該襯底處理裝置具有：處理襯底的多個處理室；搬送襯底的搬送室；多個移載室，其設(shè)在搬送室與處理室之間，并與各處理室分別對應(yīng)；多個閘閥，其設(shè)在搬送室與移載室之間；多個第一氣體供給部，其設(shè)在搬送室內(nèi)，并分別對從多個閘閥通過的位置上的襯底供給非活性氣體；搬送機械手，其設(shè)在搬送室內(nèi)，并將襯底向移載室內(nèi)搬送；和控制部，其控制多個第一氣體供給部和搬送機械手，使得當?shù)谝粴怏w供給部的供給孔與從閘閥通過的襯底之間的距離為第一距離時，以第一流量供給非活性氣體，當上述距離為比第一距離長的第二距離時，以比第一流量多的第二流量供給非活性氣體。

技術(shù)研發(fā)人員：八幡橘
受保護的技術(shù)使用者：株式會社日立國際電氣
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.28
技術(shù)公布日：2017.09.12