本發(fā)明涉及靜電吸附夾具技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種靜電吸附拾取夾具系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)中，單晶硅等微小薄片成品的長和寬尺寸通常在2—10um范圍內(nèi)，由于微薄片的外形尺寸過小，如果通過機械夾裝的方式容易造成微薄片邊界的破損，但是微薄片的外形尺寸過少，容易造成夾緊不牢固而導(dǎo)致松脫等情況發(fā)生，因此外形尺寸較小微薄片進行搬移時存在較多技術(shù)問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的主要目的是提出一種生產(chǎn)效率高以及準確搬移微薄片的靜電吸附拾取夾具系統(tǒng)，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中外形尺寸較小微薄片難以搬移的技術(shù)問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出的一種靜電吸附拾取夾具系統(tǒng)，包括：

可對微薄片進行篩選的篩選平臺；

可對所述篩選平臺上的微薄片進行靜電吸附并轉(zhuǎn)移的靜電吸附夾具；

可對被靜電吸附的微薄片去除靜電的去靜電平臺；

所述篩選平臺包括可承載微薄片的負極板載物臺、位于所述負極板載物臺下方并帶有正電荷的篩選正極板以及位于所述篩選正極板下方的電池層；所述靜電吸附夾具設(shè)有帶有正電荷的夾具正極板，所述去靜電平臺包括靜電載物臺以及位于下方的電容極板，所述電容板可在時間周期為4t內(nèi)交替通入正電荷和負電荷。

優(yōu)選地，所述篩選正極板為若干個相互分離且分別與電池層電連接的正極板。

優(yōu)選地，若干個所述正極板可呈陣列狀進行排布。

優(yōu)選地，所述正極板與所述電池層之間設(shè)置有用于防止正極板釋放正電荷的絕緣層。

優(yōu)選地，所述夾具正極板朝向所述負極板載物臺的端面邊緣設(shè)有圍沿，所述圍沿與所述夾具正極板形成一可容納微薄片并呈開放式的腔體。

優(yōu)選地，所述腔體的開放口設(shè)有可關(guān)閉或打開所述腔體的保護門。

優(yōu)選地，所述保護門樞轉(zhuǎn)設(shè)于所述開放口邊沿并可繞樞轉(zhuǎn)軸進行擺動。

優(yōu)選地，所述保護門可沿滑槽滑動將所述開放口打開或關(guān)閉。

優(yōu)選地，所述電容板可在時間周期2t內(nèi)通入正電荷以及在下一個時間周期2t內(nèi)通入負電荷。

優(yōu)選地，所述時間周期t為10ms。

本發(fā)明技術(shù)方案通過篩選正極板對放置于負極板載物臺上的微薄片進行感應(yīng)產(chǎn)生負電荷，然后被帶有正電荷的夾具正極板所吸附進行搬移，最后通過去靜電平臺實現(xiàn)微薄片的負電荷消除以及緩慢且準確地放置于指定位置，從而實現(xiàn)對于外形尺寸較小的微薄片進行篩選拾取、吸附搬移、準確放置，解決了現(xiàn)有技術(shù)中微薄片搬移的技術(shù)問題。

相對于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明能夠有效解決納米級成品進行準確搬移的技術(shù)問題，能夠有效篩選成品、有效吸附成品以及緩降定位等優(yōu)點，能夠提高生產(chǎn)效率以及保證成品完整性。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖示出的結(jié)構(gòu)獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明篩選平臺的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明靜電吸附夾具的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明去靜電平臺的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標號說明：

本發(fā)明目的的實現(xiàn)、功能特點及優(yōu)點將結(jié)合實施例，參照附圖做進一步說明。

具體實施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明的一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。

需要說明，若本發(fā)明實施例中有涉及方向性指示(諸如上、下、左、右、前、后……)，則該方向性指示僅用于解釋在某一特定姿態(tài)(如附圖所示)下各部件之間的相對位置關(guān)系、運動情況等，如果該特定姿態(tài)發(fā)生改變時，則該方向性指示也相應(yīng)地隨之改變。

另外，若本發(fā)明實施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，則該“第一”、“第二”等的描述僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示其相對重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括至少一個該特征。另外，各個實施例之間的技術(shù)方案可以相互結(jié)合，但是必須是以本領(lǐng)域普通技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)為基礎(chǔ)，當技術(shù)方案的結(jié)合出現(xiàn)相互矛盾或無法實現(xiàn)時應(yīng)當認為這種技術(shù)方案的結(jié)合不存在，也不在本發(fā)明要求的保護范圍之內(nèi)。

參見圖1至圖3，本發(fā)明實施例提出一種靜電吸附拾取夾具系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括可對微薄片進行篩選的篩選平臺、可對微薄片進行靜電吸附并進行轉(zhuǎn)移的靜電吸附夾具、可對被靜電吸附的微薄片去除靜電的去靜電平臺。

參見圖1至圖3，具體地，本發(fā)明實施例中，篩選平臺包括可承載微薄片的負極板載物臺11、設(shè)置于負極板載物臺11下方并且?guī)в姓姾傻暮Y選正極板12以及位于篩選正極板下方的電池層13，篩選正極板12可為若干相互分離且分別與電池層14獨立電連接的正極板，并且多個正極板可呈陣列狀進行排布。本發(fā)明實施例的靜電吸附夾具朝向負極板載物臺11的一端設(shè)有帶有正電荷的夾具正極板22，夾具正極板22朝向負極板載物臺11的端面邊緣設(shè)有圍沿，圍沿與夾具正極板22共同形成一可容納微薄片并且為開放式的腔體23。為了使得夾具正極板22對帶有負電荷的微薄片靜電吸附后不容易造成微薄片掉落，本發(fā)明實施例中，可在腔體23的開放口設(shè)置可關(guān)閉或打開腔體23的保護門。本實施例中，保護門可樞轉(zhuǎn)設(shè)于開放口邊沿并可繞樞轉(zhuǎn)軸進行擺動。在本發(fā)明的其他實施例中，保護門可沿滑槽進行滑動從而將開放口打開或者關(guān)閉。

參見圖1至圖3，本發(fā)明實施例靜電吸附拾取夾具系統(tǒng)的工作原理為：

當操作人員在篩選平臺對微薄片進行加工完畢后，帶有負電荷的微薄片則會分散置于負極板載物臺11頂面上，負極板載物臺11的下方設(shè)置有用于對微薄片進行篩選的篩選正極板12，當電池層14向篩選正極板12通入正電荷時，帶有負電荷的微薄片則會受到篩選正極板12的吸引而沿著一定的規(guī)律進行集聚或者排布。優(yōu)選地，本實施例中，可以將篩選正極板12設(shè)置為若干個相互分離并且分別與電池層14分別電連接的正極板，這樣，若干個相互分離的電極板可以分別對微薄片進行吸引并且排布。將若干個相互分離的電極板設(shè)置為規(guī)整排布的陣列狀時，則電極板可以對帶有負電荷的微薄片進行吸引，使得微薄片的排布和正極板排布相一致，從而實現(xiàn)對微薄片的篩選和排列。操作人員可以通過對部分正極板通以正電荷或者將正極板設(shè)置為一定規(guī)律排布，這樣正極板可以對微薄片的吸附和排列更加有規(guī)律，便于后續(xù)靜電吸附夾具對于微薄片的吸附和轉(zhuǎn)移。

另外，本實施例可以在正極板和電池板之間設(shè)置有用于防止正極板釋放正電荷的絕緣層13，這樣使得分別與電池層14電連接的正極板不容易發(fā)生電荷釋放，以保證正極板對于微薄片的靜電吸附有效性。

當放置于負極板載物臺11上的微薄片被正極板所吸引并按照一定的規(guī)律進行排布后，然后將靜電吸附夾具移動至負極板載物臺11上方，因為靜電吸附夾具朝向負極板載物臺11的一端設(shè)置有夾具正極板22，通過電源21向夾具正極板22通入正電荷后，夾具正極板22帶有正電荷并且能夠?qū)в胸撾姾傻奈⒈∑⑶椅?，從而使得微薄片吸附于夾具正極板22的下底面。本實施例中，夾具正極板22朝向負極板載物臺11的端面邊緣設(shè)有圍沿，圍沿能夠與夾具正極板22形成一可容納微薄片并且具有開放口的腔體23，這樣使得微薄片被夾具正極板22所吸附后，能夠落入開放式的腔體23內(nèi)部，這樣便于微薄片可進行后期整齊并且規(guī)范地放置。

同時，本實施例中，在腔體23開放口設(shè)有可關(guān)閉或者打開腔體23的保護門，該保護門可樞轉(zhuǎn)設(shè)置于開放口邊沿并可繞樞轉(zhuǎn)軸進行擺動。當微薄片被夾具正極板22所吸附前，腔體23的開放口被保護門所打開，這樣微薄片能夠順利通過開放口進入腔體23內(nèi)部。當微薄片進入腔體23后，保護門可繞樞轉(zhuǎn)軸進行翻轉(zhuǎn)，從而將腔體23的開放口進行覆蓋，以避免微薄片在轉(zhuǎn)移過程中掉落。在本發(fā)明的其他實施例中，保護門可設(shè)置為沿著滑槽進行滑動，從而將開放口進行打開或者關(guān)閉。

當微薄片被吸附到腔體23內(nèi)部后，靜電吸附夾具移動到去靜電平臺的上方，然后保護門被施以通電打開對開放口的覆蓋。因為設(shè)置于靜電載物臺31下方的電容板32在時間周期4t內(nèi)交替通入正電荷和負電荷，其中時間周期t為10ms。具體地，電容板32可在時間周期2t內(nèi)通入正電荷，在下一個時間周期2t內(nèi)通入負電荷，然后再下一個時間周期2t內(nèi)通入正電荷，這樣通入電容板32的正電荷和負電荷依次交替通入。并且，當靜電吸附夾具移動至去靜電載物臺31之上時，夾具正極板22的正電荷被施以斷開，從而使得帶有負電荷的微薄片在重力作用下下降。當電容板32被通入正電荷時，可對微薄片產(chǎn)生吸力，從而使得微薄片下降，而電容板32轉(zhuǎn)換通入負電荷后，電容板32可對微薄片的下降產(chǎn)生斥力，使得微薄片最終緩降于靜電載物臺31表面上，從而實現(xiàn)微薄片的轉(zhuǎn)移。

本發(fā)明實施例的靜電吸附拾取夾具系統(tǒng)通過篩選正極板12對放置于負極板載物臺11上的微薄片進行感應(yīng)產(chǎn)生負電荷，然后被帶有正電荷的夾具正極板22所吸附并進行搬移，最后通過去靜電平臺實現(xiàn)微薄片的負電荷消除以及緩慢且準確地放置于特定位置，從而實現(xiàn)對于外形尺寸較小的微薄片進行篩選拾取、吸附搬移、準確放置，解決了現(xiàn)有技術(shù)中微薄片搬移的技術(shù)問題。

以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是在本發(fā)明的構(gòu)思下，利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)變換，或直接/間接運用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域均包括在本發(fā)明的專利保護范圍內(nèi)。