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      激光振蕩器的制作方法

      文檔序號:11214809閱讀:464來源:國知局
      激光振蕩器的制造方法與工藝

      本發(fā)明涉及一種具備具有激光二極管光源的激光二極管模塊的激光振蕩器。



      背景技術(shù):

      在使用于金屬、樹脂材料等的切割、焊接等的激光振蕩器中,作為光源或激勵用光源而搭載有激光二極管模塊。在激光二極管模塊的激光二極管電源為絕緣規(guī)格的情況下,無需使激光二極管模塊相對于其它構(gòu)件電絕緣,但是在激光二極管電源為非絕緣規(guī)格的情況下,對將激光二極管模塊固定于其它構(gòu)件的結(jié)構(gòu)要求電絕緣(絕緣固定)。另外,對該進行固定的結(jié)構(gòu)要求冷卻性能,需要兼顧電絕緣性和冷卻性能。

      例如,提出了如下一種方法:具備在散熱器與激光二極管模塊之間具有用于熱傳導(dǎo)的填充劑和絕緣件的結(jié)構(gòu),利用按壓治具從上方按壓來固定激光二極管模塊(例如參照專利文獻1)。另外,例如提出了如下一種技術(shù):使激光二極管模塊的固定構(gòu)件具有熱傳導(dǎo)性,并且將位于更上方的蓋部設(shè)為放熱的結(jié)構(gòu),來實現(xiàn)高效的冷卻方法(例如參照專利文獻2)。另外,例如提出了一種在絕緣基板之上配置激光二極管的構(gòu)造(例如參照專利文獻3)。可以認為絕緣基板與激光二極管的接合方法通常使用基于芯片粘結(jié)(diebonding)的接合。

      專利文獻1:日本特開2010-283197號公報

      專利文獻2:日本特開2005-093507號公報

      專利文獻3:日本特開2003-101085號公報



      技術(shù)實現(xiàn)要素:

      發(fā)明要解決的問題

      在上述專利文獻1中記載的固定激光二極管模塊的方法中,如前述那樣利用按壓治具從上方按壓來固定激光二極管模塊,但是在該情況下,需要吸收因各部件的公差而產(chǎn)生的治具與激光二極管模塊的高度差的機構(gòu)。但是,在該公報中并沒有關(guān)于該機構(gòu)的記載,因而若利用該公報記載的方法進行固定,則有可能在按壓治具與激光二極管模塊之間產(chǎn)生間隙,或者過大的按壓力作用于激光二極管模塊而導(dǎo)致激光二極管模塊變形。另外,在該公報中并未公開使按壓治具與激光二極管模塊電絕緣的方法。

      另外,在上述專利文獻2中記載的冷卻方法中,雖然實現(xiàn)了高效的冷卻方法,但是無法實現(xiàn)電絕緣。另外,在上述專利文獻3中記載的冷卻方法中,在固定具備多個激光二極管的激光二極管模塊的情況下,由于激光二極管模塊比激光二極管大,因此不適合芯片粘結(jié)。若將該公報中記載的冷卻方法用于激光二極管模塊的固定,則操作性變差。

      本發(fā)明的目的在于提供一種通過在耐久性、成本以及絕緣固定作業(yè)的操作性上優(yōu)異的絕緣固定來將激光二極管模塊固定于冷卻板的激光振蕩器。

      用于解決問題的方案

      在本發(fā)明所涉及的具備具有一個或多個激光二極管光源的激光二極管模塊(例如后述的激光二極管模塊10)的激光振蕩器(例如后述的激光二極管模塊單元1)中,所述激光二極管模塊設(shè)置在導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件(例如后述的導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23)之上,并借助固定于冷卻板(例如后述的冷卻板21)的彈性絕緣構(gòu)件(例如后述的彈性絕緣構(gòu)件25)固定于所述冷卻板,所述導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件設(shè)置在所述冷卻板之上。

      所述導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件也可以具有粘合性。另外,所述彈性絕緣構(gòu)件也可以具有絕緣構(gòu)件(例如后述的絕緣構(gòu)件25b)和可彈性變形的金屬制的板(例如后述的金屬制的板26b)。另外,所述金屬制的板也可以由激光二極管模塊容納殼體(例如后述的容納殼體27c)的一部分構(gòu)成。

      另外,所述彈性絕緣構(gòu)件(例如后述的絕緣構(gòu)件25d)也可以具備熱傳導(dǎo)性。另外,所述激光二極管模塊的上部也可以具有開放的構(gòu)造。所述激光二極管模塊容納殼體(例如后述的容納殼體27c)也可以在上方向重疊。另外,一個所述激光二極管模塊的所述彈性絕緣構(gòu)件(例如后述的絕緣構(gòu)件25e)也可以具有另一個所述激光二極管模塊(例如后述的激光二極管模塊10e)和絕緣構(gòu)件(例如后述的絕緣構(gòu)件25e)。

      發(fā)明的效果

      根據(jù)本發(fā)明,能夠提供一種通過在耐久性、成本以及絕緣固定作業(yè)的操作性上優(yōu)異的絕緣固定來將激光二極管模塊固定于冷卻板的激光振蕩器。

      附圖說明

      圖1是表示構(gòu)成第一實施方式所涉及的激光振蕩器的激光二極管模塊單元1的概要截面圖。

      圖2是表示構(gòu)成第二實施方式所涉及的激光振蕩器的激光二極管模塊單元1a的概要截面圖。

      圖3是表示構(gòu)成第三實施方式所涉及的激光振蕩器的激光二極管模塊單元1b的概要截面圖。

      圖4是表示構(gòu)成第四實施方式所涉及的激光振蕩器的激光二極管模塊單元1c的概要截面圖。

      圖5是表示構(gòu)成第五實施方式所涉及的激光振蕩器的激光二極管模塊單元1d的概要截面圖。

      圖6是表示構(gòu)成第六實施方式所涉及的激光振蕩器的激光二極管模塊單元1e的概要截面圖。

      圖7是表示構(gòu)成第七實施方式所涉及的激光振蕩器的激光二極管模塊單元1f的概要截面圖。

      圖8是表示構(gòu)成第八實施方式所涉及的激光振蕩器的激光二極管模塊單元1g的概要截面圖。

      附圖標(biāo)記說明

      1、1a、1b、1c、1d、1e、1f、1g:激光二極管模塊單元(激光振蕩器);10、10e:激光二極管模塊;21:冷卻板;23、23a:導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件;25:彈性絕緣構(gòu)件;25b、25d、25e:絕緣構(gòu)件;26b:金屬制的板;27c、27g:容納殼體。

      具體實施方式

      下面,對本發(fā)明的第一實施方式進行說明。圖1是表示構(gòu)成第一實施方式所涉及的激光振蕩器的激光二極管模塊單元1的概要截面圖。

      激光二極管模塊單元1具備具有一個或多個激光二極管光源的激光二極管模塊10。激光二極管模塊10具有激光二極管(ld:laserdiode)11,并通過從激光二極管電源(未圖示)被供給電力來發(fā)射激光。在激光二極管模塊單元1由ddl(directdiodelaser:直接二極管激光器)構(gòu)成的情況下,激光用于直接加工等,在激光二極管模塊單元1由光纖激光器構(gòu)成的情況下,激光被用作激勵光。為了長時間維持穩(wěn)定的光束質(zhì)量,對激光二極管模塊10進行冷卻是重要的,因此將激光二極管模塊10設(shè)置于冷卻板21上。

      具體地說,激光二極管模塊10設(shè)置在導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23之上。導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23設(shè)置在冷卻板21之上。作為導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23,可以使用添加填料來強化熱傳導(dǎo)性的氟橡膠、全氟彈性體等橡膠材料、陶瓷等。

      激光二極管模塊10借助固定于冷卻板21的彈性絕緣構(gòu)件25而固定于冷卻板21。彈性絕緣構(gòu)件25以覆蓋激光二極管模塊10的方式從激光二極管模塊10的上方與激光二極管模塊10的模塊主體13的上部抵接。彈性絕緣構(gòu)件25的與模塊主體13的上部抵接的部分251的壁厚構(gòu)成為大于彈性絕緣構(gòu)件25的其它部分的壁厚,使得能夠以適當(dāng)?shù)陌磯毫⒓す舛O管模塊10按壓于導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23和冷卻板21。

      另外,通過彈性絕緣構(gòu)件25來向下方按壓激光二極管模塊10。在將彈性絕緣構(gòu)件25固定于冷卻板21時,不需要使彈性絕緣構(gòu)件25與冷卻板21之間絕緣,因此在將彈性絕緣構(gòu)件25的下部固定于冷卻板21時,不需要使用具有絕緣性的樹脂螺釘?shù)?。彈性絕緣構(gòu)件25的下部通過鐵螺釘31固定于冷卻板21。彈性絕緣構(gòu)件25向冷卻板21的固定并不限定于使用鐵螺釘31,例如也可以通過將預(yù)先在彈性絕緣構(gòu)件25上設(shè)置的孔掛在預(yù)先在冷卻板21上設(shè)置的鉤狀的突起物上而卡合。

      作為彈性絕緣構(gòu)件25,例如可以使用氟橡膠、全氟彈性體等橡膠材料。彈性絕緣構(gòu)件25通過具有彈性來吸收激光二極管模塊10、冷卻板21的尺寸公差,通過彈性絕緣構(gòu)件25的彈性而以適當(dāng)?shù)牧砉潭す舛O管模塊10。通過容納殼體27來覆蓋并容納激光二極管模塊10、導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23、彈性絕緣構(gòu)件25以及鐵螺釘31。

      如以上那樣,根據(jù)本實施方式,在具備具有一個或多個激光二極管光源的激光二極管模塊10的激光二極管模塊單元1中,激光二極管模塊10設(shè)置在導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23之上,并借助固定于冷卻板21的彈性絕緣構(gòu)件25而固定于冷卻板21,所述導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23設(shè)置在冷卻板21之上。

      由此,在固定激光二極管模塊10時,不需要為了確保絕緣而使用pps(聚苯硫醚)、ptfe(聚四氟乙烯)等工程塑料制的絕緣性螺釘,而能夠使用鐵螺釘31等金屬制螺釘將彈性絕緣構(gòu)件25固定于冷卻板21來確保絕緣,并且能夠?qū)⒓す舛O管模塊10以確保了絕緣的狀態(tài)固定于冷卻板21。另外,由于彈性絕緣構(gòu)件25具有彈性,因此無需準(zhǔn)確地定位激光二極管模塊10。由此,能夠提供如下的激光二極管模塊單元1:在該激光二極管模塊單元1中,通過在耐久性、成本以及絕緣固定作業(yè)的操作性上優(yōu)異的絕緣固定將激光二極管模塊10固定于冷卻板21。

      接下來,參照圖2對基于本發(fā)明的第二實施方式的激光振蕩器進行說明。圖2是表示構(gòu)成第二實施方式所涉及的激光振蕩器的激光二極管模塊單元1a的概要截面圖。

      在基于第二實施方式的激光二極管模塊單元1a中,導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23a與基于第一實施方式的導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23不同。關(guān)于除此以外的結(jié)構(gòu),由于與基于第一實施方式的激光二極管模塊單元1的結(jié)構(gòu)相同,因此對與第一實施方式中的各結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的標(biāo)記而省略說明。

      激光二極管模塊單元1a的導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23a由具有粘合性的材料形成。作為具有粘合性的材料,可以使用橡膠類粘合材料、丙烯酸類粘合材料、硅類粘合材料等,在本實施方式中使用了在耐熱性、耐候性上優(yōu)異的硅類粘合材料。由此,激光二極管模塊10設(shè)置在導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23a之上,粘合并固定于導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23a。導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23a設(shè)置在冷卻板21之上,粘合并固定于冷卻板21。

      像以上那樣,根據(jù)本實施方式,導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23a具有粘合性。由此,能夠防止在將激光二極管模塊10配置于導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23a時的激光二極管模塊10相對于導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23a的位置偏移以及導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23a相對于冷卻板21的位置偏移,使得能夠容易地進行激光二極管模塊10相對于導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23a的定位以及導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23a相對于冷卻板21的定位,從而能夠容易地組裝激光二極管模塊單元1a。

      接下來,參照圖3對基于本發(fā)明的第三實施方式的激光振蕩器進行說明。圖3是表示構(gòu)成第三實施方式所涉及的激光振蕩器的激光二極管模塊單元1b的概要截面圖。

      在基于第三實施方式的激光二極管模塊單元1b中,彈性絕緣構(gòu)件由絕緣構(gòu)件25b和具有彈性的金屬制的板26b構(gòu)成,這一點與第二實施方式不同。關(guān)于除此以外的結(jié)構(gòu),由于與基于第二實施方式的激光二極管模塊單元1a的結(jié)構(gòu)相同,因此對與第二實施方式中的各結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的標(biāo)記而省略說明。

      絕緣構(gòu)件25b載置于激光二極管模塊10的模塊主體13的上部,從激光二極管模塊10的上方與模塊主體13的上板131抵接。如圖3所示,金屬制的板26b以覆蓋激光二極管模塊10以及載置于模塊主體13的上板131的絕緣構(gòu)件25b的方式從絕緣構(gòu)件25b的上方與絕緣構(gòu)件25b抵接。金屬制的板26b的下部通過鐵螺釘31固定于冷卻板21。即,利用金屬制的板26b的彈性并借助絕緣構(gòu)件25b向下方按壓激光二極管模塊10,由此激光二極管模塊10隔著導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23a固定于冷卻板21。金屬制的板26b例如能夠使用彈簧鋼等。另外,金屬制的板也可以設(shè)為具有多段彎折部的結(jié)構(gòu)。由此,能夠強化金屬制的板的彈性。

      像以上那樣,根據(jù)本實施方式,彈性絕緣構(gòu)件具有絕緣構(gòu)件25b和可彈性變形的金屬制的板26b。由此,利用具有由彈性變形產(chǎn)生的彈性的金屬制的板26b來按壓并固定激光二極管模塊10,由此能夠在使通過該按壓而施加于激光二極管模塊10的力分散的同時,可靠地將激光二極管模塊10固定于冷卻板21。

      接下來,參照圖4對基于本發(fā)明的第四實施方式的激光振蕩器進行說明。圖4是表示構(gòu)成第四實施方式所涉及的激光振蕩器的激光二極管模塊單元1c的概要截面圖。

      在基于第四實施方式的激光二極管模塊單元1c中,金屬制的板由容納激光二極管模塊10的容納殼體27c的一部分構(gòu)成,這一點與第三實施方式不同。關(guān)于除此以外的結(jié)構(gòu),與基于第三實施方式的激光二極管模塊單元1b的結(jié)構(gòu)相同,因此對與第三實施方式中的各結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的標(biāo)記而省略說明。

      在激光二極管模塊單元1c中,金屬制的板由具有彈性的容納殼體27c的一部分構(gòu)成。另外,容納殼體27c的上下方向的高度構(gòu)成為比第一實施方式至第三實施方式中的容納殼體27的上下方向的高度低。絕緣構(gòu)件25b的上表面與容納殼體27c的頂板273c的下表面抵接。因而,激光二極管模塊10借助容納殼體27c固定于冷卻板21。

      像以上那樣,根據(jù)本實施方式,金屬制的板由容納激光二極管模塊10的容納殼體27c的一部分構(gòu)成。由此,由容納殼體27c兼作金屬制的板,無需與容納殼體27c相分別地設(shè)置金屬制的板,從而能夠在激光二極管模塊單元1c中削減用于將激光二極管模塊10固定于冷卻板21的結(jié)構(gòu)所用的部件個數(shù)。

      接下來,參照圖5對基于本發(fā)明的第五實施方式的激光振蕩器進行說明。圖5是表示構(gòu)成第五實施方式所涉及的激光振蕩器的激光二極管模塊單元1d的概要截面圖。

      在基于第五實施方式的激光二極管模塊單元1d中,構(gòu)成彈性絕緣構(gòu)件的絕緣構(gòu)件25d具備熱傳導(dǎo)性,這一點與第四實施方式不同。關(guān)于除此以外的結(jié)構(gòu),由于與基于第四實施方式的激光二極管模塊單元1c的結(jié)構(gòu)相同,因此對與第四實施方式中的各結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的標(biāo)記而省略說明。

      絕緣構(gòu)件25d具備熱傳導(dǎo)性,構(gòu)成為能夠從激光二極管模塊10經(jīng)由絕緣構(gòu)件25d進行散熱。由此,能夠設(shè)為將激光二極管模塊10的熱經(jīng)由絕緣構(gòu)件25d傳遞至容納殼體27c的結(jié)構(gòu),從而能夠強化激光二極管模塊10的冷卻。

      接下來,參照圖6對基于本發(fā)明的第六實施方式的激光振蕩器進行說明。圖6是表示構(gòu)成第六實施方式所涉及的激光振蕩器的激光二極管模塊單元1e的概要截面圖。

      在基于第六實施方式的激光二極管模塊單元1e中,激光二極管模塊10e的模塊主體13e的上部具有開放的構(gòu)造,這一點與第五實施方式不同。關(guān)于除此以外的結(jié)構(gòu),由于與基于第五實施方式的激光二極管模塊單元1d的結(jié)構(gòu)相同,因此對與第五實施方式中的各結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的標(biāo)記而省略說明。

      如圖6所示,激光二極管模塊10e的模塊主體13e的上部形成有開口131e,具有開放的結(jié)構(gòu)。構(gòu)成彈性絕緣構(gòu)件的絕緣構(gòu)件25e的壁厚構(gòu)成為大于第五實施方式中的絕緣構(gòu)件25d的壁厚,并具備熱傳導(dǎo)性。絕緣構(gòu)件25e的下表面封閉模塊主體13e的上部的開口131e,絕緣構(gòu)件25e的上表面與容納殼體27c的頂板273c的下表面抵接。因而,模塊主體13e借助容納殼體27c固定于冷卻板21。

      像以上那樣,根據(jù)本實施方式,由于激光二極管模塊10e的模塊主體13e的上部具有開放的構(gòu)造,因此在激光二極管模塊10e的模塊主體13e中無需上板131(參照圖3),從而能夠削減對激光二極管模塊10e的模塊主體13e設(shè)置上板131的工序。另外,能夠減少構(gòu)成模塊主體13e的部件個數(shù),另外能夠省略進行上板131與側(cè)壁134之間的密封的密封工序。另外,由于利用絕緣構(gòu)件25e封閉開口131e,因此能夠設(shè)為通過絕緣構(gòu)件25e使激光二極管模塊10e中的具有開口131e的模塊主體13e密閉的結(jié)構(gòu)。

      接下來,參照圖7對基于本發(fā)明的第七實施方式的激光振蕩器進行說明。圖7是表示構(gòu)成第七實施方式所涉及的激光振蕩器的激光二極管模塊單元1f的概要截面圖。

      在基于第七實施方式的激光二極管模塊單元1f中,容納激光二極管模塊10e的容納殼體27c在上方向重疊,這一點與第六實施方式不同。關(guān)于除此以外的結(jié)構(gòu),由于與基于第六實施方式的激光二極管模塊單元1e的結(jié)構(gòu)相同,因此對與第六實施方式中的各結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的標(biāo)記而省略說明。

      如圖7所示,激光二極管模塊單元1f構(gòu)成為在上下方向上共層疊三個激光二極管模塊單元1e,所述激光二極管模塊單元1e具有固定于冷卻板21且被容納殼體27c覆蓋的多個激光二極管模塊10e。中層的激光二極管模塊單元1e的冷卻板21的下表面載置于最下層的激光二極管模塊單元1e的容納殼體27c的頂板273c的上表面。最上層的激光二極管模塊單元1e的冷卻板21的下表面載置于中層的激光二極管模塊單元1e的容納殼體27c的頂板273c的上表面。

      像以上那樣,根據(jù)本實施方式,容納激光二極管模塊10e的容納殼體27c在上方向重疊。因此,能夠從容納殼體27c的頂板273c的上表面上載置的冷卻板21獲得容納殼體27c的頂板273c的冷卻效果,從而能夠進一步提高冷卻效率,強化激光二極管模塊10e的冷卻。

      接下來,參照圖8對基于本發(fā)明的第八實施方式的激光振蕩器進行說明。圖8是表示構(gòu)成第八實施方式所涉及的激光振蕩器的激光二極管模塊單元1g的概要截面圖。

      在基于第八實施方式的激光二極管模塊單元1g中,一個激光二極管模塊10e(圖8中的下側(cè)的激光二極管模塊10e)的彈性絕緣構(gòu)件具有另一個激光二極管模塊10e(圖8中的上側(cè)的激光二極管模塊10e)和絕緣構(gòu)件25e,這一點與第七實施方式不同。而且,在基于第八實施方式的激光二極管模塊單元1g中,另一個激光二極管模塊10e相對于一個激光二極管模塊10e上下顛倒,并隔著絕緣構(gòu)件25e重疊于一個激光二極管模塊10e,這一點與第七實施方式不同。關(guān)于除此以外的結(jié)構(gòu),由于與基于第七實施方式的激光二極管模塊單元1f的結(jié)構(gòu)相同,因此對與第七實施方式中的各結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的標(biāo)記而省略說明。

      如圖8所示,激光二極管模塊單元1g的容納殼體27g不具有頂板273c(參照圖7)。一個容納殼體27g(圖8中的下側(cè)的容納殼體27g)的上端具有開口271g而開放。使另一個容納殼體27g(圖8中的上側(cè)的容納殼體27g)的上端(在圖8中,由于被上下顛倒,因此是下端)的開口271g與一個容納殼體27g的上端的開口271g抵接來進行連接。另外,另一個激光二極管模塊10e被上下顛倒來與絕緣構(gòu)件25e的上表面連接,以使對一個激光二極管模塊10e的模塊主體13e的開口131e進行封閉的絕緣構(gòu)件25e的上表面封閉另一個激光二極管模塊10e的模塊主體13e的開口131e。即,一個激光二極管模塊10e的彈性絕緣構(gòu)件由另一個激光二極管模塊10e和絕緣構(gòu)件25e構(gòu)成。而且,一個激光二極管模塊10e通過絕緣構(gòu)件25e、另一個激光二極管模塊10e、圖8的上側(cè)的導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23a以及上側(cè)的冷卻板21、圖8的上側(cè)及下側(cè)的容納殼體27g而被按壓來固定于圖8的下側(cè)的導(dǎo)熱性絕緣構(gòu)件23a以及下側(cè)的冷卻板21。

      像以上那樣,根據(jù)本實施方式,一個激光二極管模塊10e的彈性絕緣構(gòu)件具有另一個激光二極管模塊10e和絕緣構(gòu)件25e。因此,在容納殼體27g中無需頂板273c(參照圖7),成為激光二極管模塊10e之間相互按壓的結(jié)構(gòu),因此能夠使將激光二極管模塊10e固定于冷卻板21的結(jié)構(gòu)為部件個數(shù)少的結(jié)構(gòu)。另外,由于冷卻板21配置在激光二極管模塊10e的上下方,因此從上下方冷卻激光二極管模塊10e,激光二極管模塊10e附近的氣體也容易循環(huán),因此冷卻得到強化。

      以上,對本發(fā)明的實施方式進行了說明,但是本發(fā)明并不限于前述的實施方式。另外,本實施方式中記載的效果只不過是列舉了本發(fā)明所產(chǎn)生的最佳效果,基于本發(fā)明的效果并不限定于本實施方式中記載的效果。

      例如,激光振蕩器的結(jié)構(gòu)、更具體地說是將激光二極管模塊固定于冷卻板的結(jié)構(gòu)并不限定為上述實施方式中的各部的結(jié)構(gòu)。

      例如,在基于第八實施方式的激光二極管模塊單元1g中,作為彈性絕緣構(gòu)件的絕緣構(gòu)件25e具備熱傳導(dǎo)性,但是并不限定于該結(jié)構(gòu)。

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