本發(fā)明涉及柔性顯示技術領域，尤其是涉及一種用于柔性顯示基板激光剝離工程的連續(xù)型制造方式的柔性顯示基板激光剝離裝置及其激光剝離方法。

背景技術：

柔性顯示器采用柔性材料制成，由于其重量輕、體積小、薄型化，攜帶方便；耐高低溫、耐沖擊、抗震能力更強，能適應的工作環(huán)境更廣；可卷曲，外形更具有藝術設計的美感等優(yōu)點具有耐沖擊、重量輕、攜帶方便等優(yōu)點，具有傳統(tǒng)顯示器不能實現(xiàn)的功能和用戶體驗的優(yōu)勢，因此柔性顯示技術越來越受到人們的重視。

隨著柔性顯示器制造技術日趨發(fā)展成熟，已經(jīng)可以利用精密涂布制程將耐高溫柔性薄膜制作在玻璃基板上，并進行陣列(array)與有機發(fā)光層(oled)制程，最后于模組工程(module)再以激光剝離(llo,laserliftoff)與機械分離(mechanicalde-lamination)兩道制作工程將柔性顯示基板從玻璃基板上剝離取下。

然而，傳統(tǒng)的柔性顯示基板激光剝離技術在激光剝離過程中，采用單張基板激光剝離工程工藝，生產(chǎn)效率較低，進而提高了設備投資與生產(chǎn)制造成本。

因此，現(xiàn)有柔性顯示基板激光剝離方式有待改進和發(fā)展。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于，提供一種柔性顯示基板激光剝離裝置及其激光剝離方法，可以實現(xiàn)連續(xù)式且高效率的生產(chǎn)。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種柔性顯示基板激光剝離裝置，用于對待剝離的柔性顯示器件進行剝離，所述待剝離的柔性顯示器件包括載體基板及形成于所述載體基板上的柔性顯示基板；所述裝置包括：連續(xù)卷對卷的承載膜、真空吸附工作平臺以及激光光束；所述承載膜，用于承載并傳送所述待剝離的柔性顯示器件至所述真空吸附工作平臺的對應位置，且所述柔性顯示基板貼合所述承載膜；所述真空吸附工作平臺設于所述承載膜下方，用于啟動真空吸附所述待剝離的柔性顯示器件中的所述柔性顯示基板；所述激光光束設于所述承載膜上方且對應所述真空吸附工作平臺，用于對所述待剝離的柔性顯示器件進行激光剝離，且所述激光光束與所述承載膜之間的距離大于或等于所述待剝離的柔性顯示器件的厚度。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供了一種柔性顯示基板激光剝離方法，采用本發(fā)明所述的柔性顯示基板激光剝離裝置；所述方法包括：將待剝離的柔性顯示器件轉移貼合到卷對卷的承載膜上，且所述待剝離的柔性顯示器件中的柔性顯示基板貼合所述承載膜；采用所述承載膜承載并傳送所述待剝離的柔性顯示器件至真空吸附工作平臺的對應位置；采用所述真空吸附工作平臺啟動真空吸附所述柔性顯示基板；采用激光光束對所述待剝離的柔性顯示器件進行激光剝離。

本發(fā)明的優(yōu)點在于，本發(fā)明通過將待剝離的柔性顯示器件中柔性顯示基板貼合到連續(xù)卷對卷的承載膜進行轉移，可以實現(xiàn)連續(xù)型多張基板生產(chǎn)，生產(chǎn)效率相較于單張基板有效提升。利用承載膜的粘性，將激光剝離后的柔性顯示基本與載體基板分離，并將柔性顯示基本繼續(xù)載入下一道的激光切割工程，實現(xiàn)連續(xù)式且高效率的生產(chǎn)，進而降低了設備投資與生產(chǎn)制造成本。

附圖說明

圖1，本發(fā)明一實施例所述的柔性顯示基板激光剝離裝置的示意圖；

圖2，本發(fā)明一實施例所述的柔性顯示基板激光剝離制造流程圖；

圖3，本發(fā)明一實施例所述的柔性顯示基板激光剝離的細部分離示意圖。

圖4，本發(fā)明一實施例所述的柔性顯示基板激光剝離方法的流程圖。

具體實施方式

下面結合附圖以及實施例，對本發(fā)明提供的柔性顯示基板激光剝離裝置及其激光剝離方法作詳細說明。顯然，所描述的實施例僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。

參考圖1-2，其中，圖1為本發(fā)明一實施例所述的柔性顯示基板激光剝離裝置的示意圖，圖2為本發(fā)明一實施例所述的柔性顯示基板激光剝離制造流程圖。

如圖1所示，所述裝置用于對待剝離的柔性顯示器件進行剝離，所述待剝離的柔性顯示器件包括載體基板及形成于所述載體基板上的柔性顯示基板；所述載體基板可以為玻璃基板。所述裝置包括：連續(xù)卷對卷(roll-to-roll)的承載膜120、真空吸附工作平臺130以及激光光束140。

所述承載膜120，用于承載并傳送所述待剝離的柔性顯示器件(圖1中未示出)至所述真空吸附工作平臺130的對應位置，且所述柔性顯示基板(圖1中未示出)貼合所述承載膜120。如圖2中a部分所示，所述待剝離的柔性顯示器件中，柔性顯示基板202形成于載體基板201上；進入激光剝離工程前，先將待剝離的柔性顯示器件180度翻轉，使柔性顯示基板202位于載體基板201下方。如圖2中b部分所示，將翻轉后的所述待剝離的柔性顯示器件貼合到卷對卷的承載膜120上，且所述柔性顯示基板202貼合所述承載膜120；之后由承載膜120承載并傳送至所述真空吸附工作平臺130的對應位置。承載膜厚度可依載體基板玻璃厚度與重量需求進行選擇。連續(xù)卷對卷的承載膜120可以用于柔性顯示基板激光剝離工程的連續(xù)型制造方式，將柔性顯示基板貼合到連續(xù)卷對卷的承載膜進行轉移，可以實現(xiàn)連續(xù)型多張基板生產(chǎn)，生產(chǎn)效率相較于單張基板有效提升。

所述真空吸附工作平臺130設于所述承載膜120下方，用于啟動真空吸附所述待剝離的柔性顯示器件中的所述柔性顯示基板。如圖2中c部分所示，承載膜120將貼合到其上的待剝離的柔性顯示器件轉移到真空吸附工作平臺130的對應位置后，真空吸附工作平臺130啟動真空將柔性顯示基板充分吸附于工作平臺，便于使用激光光束140進行柔性顯示基板的激光剝離工程。

所述激光光束140設于所述承載膜120上方且對應所述真空吸附工作平臺130，用于對所述待剝離的柔性顯示器件進行激光剝離，且所述激光光束140與所述承載膜120之間的距離大于或等于所述待剝離的柔性顯示器件的厚度。所述激光光束140的激光類型包括準分子或固態(tài)激光激光。如圖2中c部分所示，當待剝離的柔性顯示器件的任一部位被傳送至真空吸附工作平臺130的對應位置后，激光光束140即可向待剝離的柔性顯示器件的相應部位發(fā)射激光，并直至載體基板與柔性顯示基板之間的接觸面，從而降低載體基板與柔性顯示基板之間的附著力，以達到將柔性顯示基板的對應部位從載體基板上剝離的目的。

繼續(xù)參考圖1，所述裝置進一步包括：設于所述承載膜120上方的真空吸盤150。所述承載膜120進一步用于承載并傳送激光剝離后的柔性顯示器件至所述真空吸盤150的對應位置；所述真空吸盤150，用于啟動真空吸附所述激光剝離后的柔性顯示器件中的所述載體基板(圖1中未示出)，將所述載體基板與所述柔性顯示基板分離；所述承載膜120還用于傳送分離后的所述柔性顯示基板(圖1中未示出)。

進一步，所述承載膜120上沉積有易離型的膠層(圖中未示出)，粘性穩(wěn)定且容易離型的膠層便于粘住柔性顯示器件中的柔性顯示基板。利用所述膠層的粘性，所述真空吸盤便于將所述載體基板與所述柔性顯示基板分離，以及所述承載膜可以將分離后的所述柔性顯示基板傳送至下一工序。具體的，當所述承載膜120承載并傳送所述激光剝離后的柔性顯示器件至所述真空吸盤的對應位置后，利用所述膠層的粘性，通過所述真空吸盤150將所述載體基板與所述柔性顯示基板分離，通過所述承載膜120將分離后的所述柔性顯示基板傳送至下一工序。如圖2中d部分所示，完成激光剝離工程后，當所述承載膜120承載并傳送激光剝離后的柔性顯示器件至真空吸盤的對應位置(圖示為承載膜120的末端)后，所述真空吸盤150啟動真空吸附所述激光剝離后的柔性顯示器件中的載體基板201，利用所述膠層的粘性，將所述載體基板201與所述柔性顯示基板202分離，即載體基板201可使用真空吸盤150下料(下料操作可采用現(xiàn)有操作方式，此處不再贅述)；由于所述膠層的粘性，激光剝離后的柔性顯示器件中的柔性顯示基板202仍然貼合于所述承載膜120上，直至與載體基板201完全分離；承載膜120可以將分離后的所述柔性顯示基板202繼續(xù)載入下一道的激光切割工程。

參考圖3，本發(fā)明一實施例所述的柔性顯示基板激光剝離的細部分離示意圖。如圖3所示，由于真空吸盤(圖3中未示出)的真空吸附作用，激光剝離后的柔性顯示器件中的載體基板201依箭頭所示向上運動；而由于承載膜的粘性，激光剝離后的柔性顯示器件中的柔性顯示基板202仍然貼合于所述承載膜120上；在真空吸盤的真空吸附作用以及承載膜的粘性作用下，柔性顯示基板202與載體基板201最終完全分離。承載膜120可以將分離后的所述柔性顯示基板202繼續(xù)載入下一道的激光切割工程。激光切割工程所采用的傳送工具310的結構不限于上述卷對卷的承載膜，只要能夠對分離后的柔性顯示基板正常完成激光切割操作即可。

本發(fā)明所述的柔性顯示基板激光剝離裝置，將待剝離的柔性顯示器件中柔性顯示基板貼合到連續(xù)卷對卷的承載膜進行轉移，可以實現(xiàn)連續(xù)型多張基板生產(chǎn)，生產(chǎn)效率相較于單張基板有效提升。利用承載膜的粘性，將激光剝離后的柔性顯示基本與載體基板分離，并將柔性顯示基本繼續(xù)載入下一道的激光切割工程，實現(xiàn)連續(xù)式且高效率的生產(chǎn)。

參考圖4，本發(fā)明一實施例所述的柔性顯示基板激光剝離方法的流程圖。所述方法采用本發(fā)明所述的柔性顯示基板激光剝離裝置；所述方法包括如下步驟：s42：將待剝離的柔性顯示器件轉移貼合到卷對卷的承載膜上，且所述待剝離的柔性顯示器件中的柔性顯示基板貼合所述承載膜；s44：采用所述承載膜承載并傳送所述待剝離的柔性顯示器件至真空吸附工作平臺的對應位置；s46：采用所述真空吸附工作平臺啟動真空吸附所述柔性顯示基板；s48：采用激光光束對所述待剝離的柔性顯示器件進行激光剝離。以下對本發(fā)明所述激光剝離方法做詳細說明。

關于步驟s42：將待剝離的柔性顯示器件轉移貼合到卷對卷的承載膜上，且所述待剝離的柔性顯示器件中的柔性顯示基板貼合所述承載膜，請一并參考圖4以及圖2中a部分。待剝離的柔性顯示器件中，柔性顯示基板202形成于載體基板201上；進入激光剝離工程前，先將待剝離的柔性顯示器件180度翻轉，使柔性顯示基板202位于載體基板201下方。所述載體基板201可以為具有剛性的玻璃基板。

關于步驟s44：采用所述承載膜承載并傳送所述待剝離的柔性顯示器件至真空吸附工作平臺的對應位置，請一并參考圖4以及圖2中b部分。將翻轉后的所述待剝離的柔性顯示器件貼合到卷對卷的承載膜120上，且所述柔性顯示基板202貼合所述承載膜120；之后由承載膜120承載并傳送至所述真空吸附工作平臺130的對應位置。承載膜厚度可依載體基板玻璃厚度與重量需求進行選擇。連續(xù)卷對卷的承載膜120可以用于柔性顯示基板激光剝離工程的連續(xù)型制造方式，將柔性顯示基板貼合到連續(xù)卷對卷的承載膜進行轉移，可以實現(xiàn)連續(xù)型多張基板生產(chǎn)，生產(chǎn)效率相較于單張基板有效提升。

關于步驟s46：采用所述真空吸附工作平臺啟動真空吸附所述柔性顯示基板，請一并參考圖4以及圖2中c部分。承載膜120將貼合到其上的待剝離的柔性顯示器件轉移到真空吸附工作平臺130的對應位置后，真空吸附工作平臺130啟動真空將柔性顯示基板充分吸附于工作平臺，便于使用激光光束140進行柔性顯示基板的激光剝離工程。

關于步驟s48：采用激光光束對所述待剝離的柔性顯示器件進行激光剝離，請一并參考圖4以及圖2中c部分。當待剝離的柔性顯示器件的任一部位被傳送至真空吸附工作平臺130的對應位置后，激光光束140即可向待剝離的柔性顯示器件的相應部位發(fā)射激光，并直至載體基板與柔性顯示基板之間的接觸面，從而降低載體基板與柔性顯示基板之間的附著力，以達到將柔性顯示基板的對應部位從載體基板上剝離的目的。所述激光光束140的激光類型包括準分子或固態(tài)激光激光。

所述裝置進一步包括真空吸盤，所述真空吸盤設于所述承載膜上方；所述方法進一步包括：s49：采用所述承載膜承載并傳送激光剝離后的柔性顯示器件至所述真空吸盤的對應位置；采用所述真空吸盤啟動真空吸附所述激光剝離后的柔性顯示器件中的載體基板，將所述載體基板與所述柔性顯示基板分離；采用所述承載膜傳送分離后的所述柔性顯示基板。

進一步的，所述承載膜上沉積有易離型的膠層；步驟s49進一步包括：當所述承載膜承載并傳送所述激光剝離后的柔性顯示器件至所述真空吸盤的對應位置后，利用所述膠層的粘性，通過所述真空吸盤將所述載體基板與所述柔性顯示基板分離，通過所述承載膜將分離后的所述柔性顯示基板傳送至下一工序。

關于步驟s49，請一并參考圖4以及圖2中d部分。完成激光剝離工程后，當所述承載膜120承載并傳送激光剝離后的柔性顯示器件至真空吸盤的對應位置(圖示為承載膜120的末端)后，所述真空吸盤150啟動真空吸附所述激光剝離后的柔性顯示器件中的載體基板201，利用所述膠層的粘性，將所述載體基板201與所述柔性顯示基板202分離，即載體基板201可使用真空吸盤150下料(下料操作可采用現(xiàn)有操作方式，此處不再贅述)；由于所述膠層的粘性，激光剝離后的柔性顯示器件中的柔性顯示基板202仍然貼合于所述承載膜120上，直至與載體基板201完全分離；承載膜120可以將分離后的所述柔性顯示基板202繼續(xù)載入下一道的激光切割工程。

以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發(fā)明的保護范圍。