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      一種薄膜晶體管及其制備方法、陣列基板、顯示裝置與流程

      文檔序號(hào):11252725閱讀:來源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明提供一種薄膜晶體管及其制備方法、陣列基板、顯示裝置,涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,可以降低源極和漏極與溝道區(qū)之間的寄生電阻。所述薄膜晶體管,包括設(shè)置在襯底上的有源層,所述有源層包括源極區(qū)、漏極區(qū)和溝道區(qū);還包括設(shè)置在所述有源層上表面且分別與所述源極區(qū)、漏極區(qū)和溝道區(qū)對(duì)應(yīng)第一源極、第一漏極、和柵絕緣層;所述柵絕緣層在所述襯底上的正投影與所述溝道區(qū)在所述襯底上的正投影重合;所述第一源極和所述第一漏極到所述柵絕緣層的距離不大于1μm。

      技術(shù)研發(fā)人員:宋振;王國(guó)英
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:京東方科技集團(tuán)股份有限公司
      技術(shù)研發(fā)日:2017.05.11
      技術(shù)公布日:2017.09.15
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