技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種成分連續(xù)漸變的半導(dǎo)體合金薄膜及其制備方法和應(yīng)用，其中該薄膜的特征有：薄膜為三元硫硒化合物合金，硒成分在X軸方向能夠連續(xù)漸變，在Y軸方向和Z軸方向基本不變；該成分連續(xù)漸變的半導(dǎo)體合金薄膜作為良好的光吸收層被用于薄膜太陽(yáng)能電池陣列和光電探測(cè)器。其制備方法包括：(1)選取沉積襯底；(2)準(zhǔn)備蒸發(fā)源；(3)制備半導(dǎo)體合金薄膜。本發(fā)明提出的方法能夠在同一條件下沉積成分大范圍連續(xù)變化的半導(dǎo)體合金薄膜，制膜速度快，工藝方便，易于實(shí)現(xiàn)，穩(wěn)定可靠，應(yīng)用范圍廣泛。

技術(shù)研發(fā)人員：宋海勝;鄧輝;袁勝杰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：華中科技大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.27
技術(shù)公布日：2017.10.13