技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于太陽能電池領(lǐng)域，具體涉及一種PERC電池背面鈍化工藝，包括制絨，擴散，刻蝕和背面拋光，之后熱風(fēng)烘干硅片，將硅片180°翻轉(zhuǎn)使硅片背面向上，臭氧處理使背面形成SiO2膜正面氧化處理，背面鍍鈍化膜，正面鍍鈍化膜；所述正面氧化處理為退火處理熱氧化方法形成SiO2膜。本發(fā)明的PERC電池背面鈍化工藝背面形成厚度均勻的氧化硅膜，SiO2與Si匹配性更好；可有效降低Si表面的界面態(tài)密度，從而增加Al2O3的場鈍化效果。降低了EL降級的幾率，提高了A級良率，能夠降低PERC電池生產(chǎn)成本，提高電池性能，在能源方面極具重要意義。

技術(shù)研發(fā)人員：閆濤;張冠綸;吳俊旻;常青;扈靜
受保護的技術(shù)使用者：通威太陽能（合肥）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.06
技術(shù)公布日：2017.07.28