本發(fā)明涉及用于安放具有不同規(guī)格的物品的裝置，尤其涉及半導(dǎo)體芯片制造過程中用于調(diào)整芯片方位的對準(zhǔn)裝置上的用于安放芯片的裝置、以及包括這種用于安放芯片的裝置的對準(zhǔn)裝置。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體工業(yè)中，無論是在芯片的制造過程中還是芯片制造后的封裝測試過程中，都需要利用抓取和安放單元將芯片從一個(gè)工位取走并且轉(zhuǎn)移和放置在下一個(gè)工位，以便進(jìn)行下一工序的加工或處理。例如，在芯片測試分選機(jī)中，就需要利用抓取和安放單元將芯片從加熱工位取走并且轉(zhuǎn)移和放置在測試工位、以及在測試完成之后將芯片從測試工位取走并且轉(zhuǎn)移和放置在接收盤。在將芯片被抓取和安放在測試工位之前，芯片的方位需要被調(diào)整到與其在測試工位中的方位一致。例如，通過使位于對準(zhǔn)裝置上的芯片轉(zhuǎn)動(dòng)，使得取自托盤的芯片的第1針腳的方位與測試接口單元的第1針腳的方位對準(zhǔn)。為此，對準(zhǔn)裝置通常包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和安裝在旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上的用于安放芯片的裝置。在旋轉(zhuǎn)過程中，芯片必須在對準(zhǔn)裝置上可靠地保持在位。用于安放芯片的裝置必須與特定規(guī)格的芯片尺寸相適應(yīng)，才能確保芯片可靠地保持在位。

在現(xiàn)有的對準(zhǔn)裝置中，對應(yīng)于特定規(guī)格的芯片，通常在用于安放芯片的裝置的支承板上設(shè)置與這種特定規(guī)格的芯片的尺寸適配的安放槽。如果芯片的規(guī)格發(fā)生變化，必須更換具有不同尺寸的安放槽的支承板，以適配規(guī)格改變的芯片的尺寸。按照這種方式，需要準(zhǔn)備多種規(guī)格的支承板，這不僅顯著地增加了備件采購成本和備件管理成本，而且更換支承板需要耗費(fèi)大量時(shí)間，導(dǎo)致停機(jī)時(shí)間顯著延長，降低了生產(chǎn)效率。

因而，需要對現(xiàn)有的用于安放物品的裝置進(jìn)行改進(jìn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的一個(gè)目的就是要提出一種改進(jìn)的用于安放物品的裝置，這種用于安放物品的裝置不僅可以顯著地減少備件采購成本和備件管理成本，而且可以顯著縮短停機(jī)時(shí)間、提高生產(chǎn)效率。

為此，根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供一種用于安放物品的裝置，包括：

支承板，在所述支承板上具有垂直相交的兩條軸線；

在所述支承板上沿著所述兩條軸線中的一條軸線距離所述兩條軸線的交點(diǎn)相等距離地朝所述一條軸線的兩端布置有多個(gè)第一榫銷，在所述交點(diǎn)每側(cè)上的相鄰第一榫銷的中心之間的距離相等并且為第一距離；

在所述支承板上沿著所述兩條軸線中的另一條軸線距離所述交點(diǎn)相等距離地朝所述另一條軸線兩端布置有多個(gè)第二榫銷，在所述交點(diǎn)每側(cè)上的相鄰第二榫銷的中心之間的距離相等并且為第二距離；

分別具有兩個(gè)第一榫眼的兩個(gè)第一支承模塊，所述第一支承模塊具有底表面和頂表面、以及第一端和第二端，所述兩個(gè)第一榫眼沿著從所述第一支承模塊的所述第一端延伸到所述第一支承模塊的所述第二端的直線形成在所述第一支承模塊的所述底表面上、并且用于接收所述第一榫銷，所述兩個(gè)第一榫眼的中心之間的距離為第三距離，所述第三距離是所述第一距離的整數(shù)倍，所述兩個(gè)第一榫眼到鄰近的所述第一支承模塊的端部的距離不同，沿著所述直線在所述第一支承模塊的所述底表面上還形成有第一凹槽，所述第一榫眼與相鄰第一凹槽之間的壁厚小于相鄰第一榫銷之間的間隙；

分別具有兩個(gè)第二榫眼的兩個(gè)第二支承模塊，所述第二支承模塊具有底表面和頂表面、以及第一端和第二端，所述兩個(gè)第二榫眼沿著從所述第二支承模塊的所述第一端延伸到所述第二支承模塊的所述第二端的直線形成在所述第二支承模塊的所述底表面上、并且用于接收所述第二榫銷，所述兩個(gè)第二榫眼的中心之間的距離為第四距離，所述第四距離是所述第二距離的整數(shù)倍，所述兩個(gè)第二榫眼到鄰近的所述第二支承模塊的端部的距離不同，沿著所述直線在所述第二支承模塊的所述底表面上還形成有第二凹槽，所述第二榫眼與相鄰第二凹槽之間的壁厚小于相鄰第二榫銷之間的間隙；

其中，所述兩個(gè)第一支承模塊能夠通過所述第一榫銷與所述第一榫眼之間的榫接并且距離所述交點(diǎn)等距離地安裝到所述支承板上，所述兩個(gè)第二支承模塊能夠通過所述第二榫銷與所述第二榫眼之間的榫接并且距離所述交點(diǎn)等距離地安裝到所述支承板上。

優(yōu)選地，沿著從所述第一支承模塊的所述第一端延伸到所述第一支承模塊的所述第二端的直線在所述第一支承模塊的頂表面上形成有用于接收所述第一榫銷的兩個(gè)第三榫眼，所述兩個(gè)第三榫眼的中心之間的距離也為第三距離，所述兩個(gè)第三榫眼到鄰近的所述第一支承模塊的端部的距離不同、并且與所述兩個(gè)第一榫眼到鄰近的所述第一支承模塊的端部的距離也不同，沿著所述直線在所述第一支承模塊的頂表面上形成有第三凹槽，所述第三榫眼與相鄰第三凹槽之間的壁厚小于相鄰第一榫銷之間的間隙；

沿著從所述第二支承模塊的所述第一端延伸到所述第二支承模塊的所述第二端的直線在所述第二支承模塊的頂表面上形成有用于接收所述第二榫銷的兩個(gè)第四榫眼，所述兩個(gè)第四榫眼的中心之間的距離也為第四距離，所述兩個(gè)第四榫眼到鄰近的所述第二支承模塊的端部的距離不同、并且與所述兩個(gè)第二榫眼到鄰近的所述第二支承模塊的端部的距離也不同，沿著所述直線在第二支承模塊的頂表面上形成有第四凹槽，所述第四榫眼與相鄰第四凹槽之間的壁厚小于相鄰第二榫銷之間的間隙；

其中，所述兩個(gè)第一支承模塊能夠通過所述第一榫銷與所述第三榫眼之間的榫接并且距離所述交點(diǎn)等距離地安裝到所述支承板上，所述兩個(gè)第二支承模塊能夠通過所述第二榫銷與所述第四榫眼之間的榫接并且距離所述交點(diǎn)等距離地安裝到所述支承板上。

優(yōu)選地，所述的用于安放物品的裝置還包括至少一對另外的第一支承模塊，所述至少一對另外的第一支承模塊與所述兩個(gè)第一支承模塊相同，除了所述至少一對另外的第一支承模塊的底表面和頂表面上的榫眼到鄰近的所述另外的第一支承模塊的端部的距離與所述兩個(gè)第一支承模塊的底表面和頂表面上的榫眼到鄰近的所述第一支承模塊的端部的距離不同之外。

優(yōu)選地，所述的用于安放物品的裝置還包括至少一對另外的第二支承模塊，所述至少一對另外的第二支承模塊與所述兩個(gè)第二支承模塊相同，除了所述至少一對另外的第二支承模塊的底表面和頂表面上的榫眼到鄰近的所述另外的第二支承模塊的端部的距離與所述兩個(gè)第二支承模塊的底表面和頂表面上的榫眼到鄰近的所述第二支承模塊的端部的距離不同之外。

優(yōu)選地，在所述第一支承模塊的所述兩個(gè)第一榫眼之間的所述第一凹槽的兩側(cè)的部分上形成有從所述底表面到所述頂表面貫通的細(xì)長槽；以及在所述第二支承模塊的所述兩個(gè)第二榫眼之間的所述第二凹槽的兩側(cè)的部分上形成有從所述底表面到所述頂表面貫通的細(xì)長槽。

優(yōu)選地，在所述第一支承模塊的第一端和的第二端的外側(cè)壁上以及在所述第二支承模塊的第一端和的第二端的外側(cè)壁上形成有用于引導(dǎo)物品的傾斜表面。

優(yōu)選地，所述傾斜表面到鄰近所述傾斜表面的相應(yīng)榫眼的距離不同。

優(yōu)選地，所述交點(diǎn)位于所述支承板的中心。

優(yōu)選地，在所述支承板上形成有十字形突出部，所述第一榫銷和所述第二榫銷被設(shè)置在所述十字形突出部上，所述第一支承模塊和所述第二支承模塊分別形成有支腿，在所述支腿之間限定出用于接收所述十字形突出部的凹口。

優(yōu)選地，在所述支承板上形成有十字形突出部，所述第一榫銷和所述第二榫銷被設(shè)置在所述十字形突出部上，所述第一支承模塊和所述第二支承模塊分別形成有支腿，在所述支腿之間限定出用于接收所述十字形突出部的凹口，使得所述第一支承模塊和所述第二支承模塊呈h形。

優(yōu)選地，在所述支承板上沒有設(shè)置所述第一榫銷和所述第二榫銷的部位形成多個(gè)均勻分布的接收孔，用于可取下地安放用于接收引導(dǎo)銷的套筒。

優(yōu)選地，所述的用于安放物品的裝置是用于安放芯片的裝置。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種對準(zhǔn)裝置,所述對準(zhǔn)裝置用于調(diào)整芯片的方位，所述對準(zhǔn)裝置包括：

旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；以及

安裝在所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上的用于安放芯片的裝置；

其中，所述用于安放芯片的裝置是如上所述的用于安放物品的裝置。

優(yōu)選地，所述支承板在與安裝所述第一支承模塊和所述第二支承模塊的一側(cè)相反的另一側(cè)上形成有凹腔，以便與形成在所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上的凸出部相匹配。

根據(jù)本發(fā)明的用于安放物品的裝置，通過相對于榫銷調(diào)整支承模塊的位置，四個(gè)支承模塊可以限定適合用于安放不同規(guī)格尺寸的物品的凹部。而且，由于榫眼到鄰近的端部的距離不同，即使支承模塊上的榫眼與同一對榫銷配合，但通過使支承模塊轉(zhuǎn)動(dòng)例如180°的方位之后實(shí)現(xiàn)榫接，可以限定適合用于安放另外不同規(guī)格尺寸的物品的凹部。因此，可以在采用盡可能少的支承模塊的情況下限定更多不同尺寸的凹部。

附圖說明

圖1是根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于安放物品的裝置的示意性立體圖；

圖2是根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于安放物品的裝置的支承板的示意性立體圖；

圖3是根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于安放物品的裝置的支承模塊的示意性立體圖；

圖4是根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于安放物品的裝置的支承模塊的示意性仰視圖；

圖5是根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于安放物品的裝置的支承模塊的示意性俯視圖；以及

圖6是根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于安放物品的裝置的支承板的另一側(cè)示意性立體圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合示例詳細(xì)描述本發(fā)明的各優(yōu)選實(shí)施例。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解的是，這些實(shí)施例是示例性的，它并不意味著對本發(fā)明形成任何限制。

圖1是根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于安放物品的裝置的示意性立體圖，圖2是根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于安放物品的裝置的支承板的示意性立體圖。如圖1和2所示，根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于安放物品的裝置1包括支承板3。支承板3大體為圓形，但是根據(jù)需要，支承板3也可以形成為長方形、正方形、橢圓形或其它任何合適的形狀。在支承板3上具有兩條垂直相交的軸線xx和yy，軸線xx和yy的交點(diǎn)優(yōu)選地位于支承板3的中心o。沿著軸線xx距離中心o相等距離地朝軸線xx的兩端布置有多個(gè)第一榫銷5，在中心o每側(cè)上的相鄰第一榫銷5的中心之間的距離相等并且為第一距離。類似地，沿著軸線yy距離中心o相等距離地朝軸線yy的兩端布置有多個(gè)第二榫銷7，在中心o每側(cè)上的相鄰第二榫銷7的中心之間的距離相等并且為第二距離。

如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于安放物品的裝置1還包括具有兩個(gè)第一榫眼的兩個(gè)第一支承模塊9和具有兩個(gè)第二榫眼的兩個(gè)第二支承模塊11。兩個(gè)第一支承模塊9通過第一榫銷5與第一榫眼之間的榫接、并且距離中心o等距離地安裝到支承板3上。類似地，兩個(gè)第二支承模塊11通過第二榫銷7與第二榫眼之間的榫接、并且距離中心o等距離地安裝到支承板3上。第一支承模塊9和支承模塊11可以具有完全相同的結(jié)構(gòu)，也可以在某些尺寸方面略微不同。

以下參照圖3和圖4來詳細(xì)描述第一支承模塊9的結(jié)構(gòu)。圖3是根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于安放物品的裝置的支承模塊的示意性立體圖，圖4是根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于安放物品的裝置的支承模塊的示意性仰視圖。如圖3和4所示，第一支承模塊9具有底表面13和頂表面15、以及第一端17和第二端19。沿著從第一端17延伸到第二端19的直線在第一支承模塊9的底表面13上形成有用于接收第一榫銷5的兩個(gè)第一榫眼21，兩個(gè)第一榫眼21的中心之間的距離為第三距離。第三距離是相鄰第一榫銷5的中心之間的距離(即，第一距離)的整數(shù)倍，例如，假定第一距離為2mm，則第三距離如圖4所示為8mm。兩個(gè)第一榫眼21到鄰近的端部的距離不同，例如，鄰近第一端17的榫眼21到第一端17的距離為1.875mm，而鄰近第二端19的榫眼21到第二端19的距離為3.625mm。為了保證兩個(gè)第一榫銷5與兩個(gè)第一榫眼21形成榫接時(shí)其它第一榫銷5不妨礙該兩個(gè)第一榫銷5插入兩個(gè)第一榫眼21中，沿著從第一端17延伸到第二端19的直線在第一支承模塊9的底表面13上還形成有第一凹槽23，第一榫眼21與相鄰第一凹槽23之間的壁厚小于相鄰第一榫銷之間的間隙。在兩個(gè)第一榫眼21之間的第一凹槽23的兩側(cè)的部分上還可以形成有從底表面13到頂表面15貫通的細(xì)長槽25，以便當(dāng)?shù)谝恢С心K9安裝到支承板3上之后通過穿過細(xì)長槽25擰入支承板3的螺釘27將第一支承模塊9可靠地固定在支承板3上。

類似地，第二支承模塊11也具有底表面和頂表面、以及第一端和第二端。沿著從第一端延伸到第二端的直線在第二支承模塊11的底表面上形成有用于接收第二榫銷7的兩個(gè)第二榫眼，兩個(gè)第二榫眼的中心之間的距離為第四距離。第四距離是相鄰第二榫銷的中心之間的距離(即，第二距離)的整數(shù)倍。兩個(gè)第二榫眼到鄰近的端部的距離不同。為了保證兩個(gè)第二榫銷7與兩個(gè)第二榫眼形成榫接時(shí)其它第二榫銷不妨礙該兩個(gè)第二榫銷插入兩個(gè)第二榫眼中，沿著從第一端延伸到第二端的直線在第二支承模塊11的底表面上還形成有第二凹槽，第二榫眼與相鄰第二凹槽之間的壁厚小于相鄰第二榫銷之間的間隙。在兩個(gè)第二榫眼之間的第二凹槽的兩側(cè)的部分上還可以形成有從底表面到頂表面貫通的細(xì)長槽，以便當(dāng)?shù)诙С心K11安裝到支承板3上之后通過穿過細(xì)長槽擰入支承板3的螺釘27將第二支承模塊11可靠地固定在支承板3上。

優(yōu)選地，在每個(gè)支承模塊的第一端和的第二端的外側(cè)壁上形成傾斜表面29，以用于引導(dǎo)物品被安放在正確的位置。作為一種示例，物品也可以被安放在相對設(shè)置的支承模塊的傾斜表面29上，即，傾斜表面29本身也可以作為支承物品的支承表面。在每個(gè)支承模塊的第一端和的第二端附近的傾斜表面到鄰近傾斜表面的榫眼的距離不同。例如，在圖4所示的第一支承模塊9的示意性仰視圖中，在第一支承模塊9的第一端17附近并且位于底表面?zhèn)鹊膬A斜表面29到鄰近該傾斜表面29的第一榫眼21的距離為1mm，而在第一支承模塊的第二端19附近并且位于底表面?zhèn)鹊膬A斜表面29到鄰近該傾斜表面29的第一榫眼21的距離為2.75mm；在圖5所示的第一支承模塊9的示意性俯視圖中，在第一支承模塊9的第一端17附近并且位于頂表面?zhèn)鹊膬A斜表面29到鄰近該傾斜表面29的第三榫眼31的距離為2.50mm，而在第一支承模塊的第二端19附近并且位于頂表面?zhèn)鹊膬A斜表面29到鄰近該傾斜表面29的第三榫眼31的距離為1.25mm。

當(dāng)兩個(gè)第一支承模塊9通過第一榫銷5與第一榫眼之間的榫接、并且距離中心o等距離地安裝到支承板3上、以及兩個(gè)第二支承模塊11通過第二榫銷7與第二榫眼之間的榫接、并且距離中心o等距離地安裝到支承板3上時(shí)，兩個(gè)第一支承模塊9和兩個(gè)第二支承模塊11一起限定大體長方形或正方形的凹部，以用于接收需要被安放的物品。通過相對于榫銷來調(diào)整支承模塊的位置，四個(gè)支承模塊可以限定適合用于安放不同規(guī)格尺寸的物品的凹部。而且，由于榫眼到鄰近的端部的距離不同，即使支承模塊上的榫眼與同一對榫銷配合，但通過使支承模塊以轉(zhuǎn)動(dòng)180°的方位之后實(shí)現(xiàn)榫接，可以限定適合用于安放另外不同規(guī)格尺寸的物品的凹部。因此，可以在采用盡可能少的支承模塊的情況下限定更多不同尺寸的凹部。

圖5是根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于安放物品的裝置的支承模塊的示意性俯視圖。優(yōu)選地，如圖3和5所示，沿著從第一端17延伸到第二端19的直線在第一支承模塊9的頂表面15上也形成有用于接收第一榫銷5的兩個(gè)第三榫眼31，兩個(gè)第三榫眼31的中心之間的距離也為第三距離。第三距離是相鄰第一榫銷5的中心之間的距離(即，第一距離)的整數(shù)倍，例如，假定第一距離為2mm，則第三距離如圖5所示為8mm。兩個(gè)第三榫眼31到鄰近的端部的距離不同，例如，鄰近第一端17的榫眼31到第一端17的距離為3.375mm，而鄰近第二端19的榫眼31到第二端19的距離為2.125mm。為了保證兩個(gè)第一榫銷5與兩個(gè)第三榫眼31形成榫接時(shí)其它第一榫銷5不妨礙該兩個(gè)第一榫銷5插入兩個(gè)第三榫眼31中，沿著從第一端17延伸到第二端19的直線在第一支承模塊9的頂表面13上還形成有第三凹槽33，第三榫眼31與相鄰第三凹槽33之間的壁厚小于相鄰第一榫銷之間的間隙。

類似地，沿著從第一端延伸到第二端的直線在第二支承模塊11的頂表面上也形成有用于接收第二榫銷7的兩個(gè)第四榫眼，兩個(gè)第四榫眼的中心之間的距離也為第四距離。第四距離是相鄰第二榫銷7的中心之間的距離(即，第二距離)的整數(shù)倍。兩個(gè)第四榫眼到鄰近的端部的距離不同。為了保證兩個(gè)第二榫銷與兩個(gè)第四榫眼形成榫接時(shí)其它第二榫銷7不妨礙該兩個(gè)第二榫銷7插入兩個(gè)第四榫眼中，沿著從第一端延伸到第二端的直線在第二支承模塊的頂表面上還形成有第四凹槽，第四榫眼與相鄰第四凹槽之間的壁厚小于相鄰第二榫銷之間的間隙。

由于分別形成在底表面和頂表面上的榫眼到鄰近的端部的距離不同，即使支承模塊的底表面和頂表面上的榫眼與同一對榫銷配合，但通過使支承模塊變換方位之后實(shí)現(xiàn)榫接，使得沿著同一軸線xx或yy可以限定四組不同的尺寸，進(jìn)而限定適合用于安放不同規(guī)格尺寸的物品的凹部。因此，可以在采用盡可能少的支承模塊的情況下限定更多不同尺寸的凹部。

作為示例，在芯片制造過程中，芯片規(guī)格尺寸通常以0.5mm的級差進(jìn)行變化。在調(diào)節(jié)支承模塊位置時(shí)，為了保持芯片位于用于安放芯片的裝置的中心，沿著同一軸線xx或yy上的兩個(gè)支承模塊必須相同地被調(diào)整。在假定榫銷中心之間的距離為2mm的情況下，如果同一軸線xx或yy上的兩個(gè)支承模塊都被調(diào)整2mm時(shí)，它們之間的間隙變化是4mm。通過為用于安放芯片的裝置設(shè)置兩種規(guī)格的第一支承模塊和/或兩種規(guī)格的第二支承模塊，每種第一支承模塊和每種第二支承模塊的區(qū)別僅在于在底面和頂面上的榫眼到鄰近的端部的距離各不相同，就可以限定適合于規(guī)格尺寸以0.5mm為級差變化的芯片的多種不同尺寸的凹部。當(dāng)然，也可以根據(jù)需要為用于安放芯片的裝置設(shè)置更多種規(guī)格的第一支承模塊和/或更多種規(guī)格的第二支承模塊。

為了有助于支承模塊快速地與榫銷對齊并且安裝在位，可以在支承板3上形成十字形突出部35，第一榫銷5和第二榫銷7被設(shè)置在十字形突出部35上。對應(yīng)地，第一支承模塊9和第二支承模塊11分別形成有支腿37，在支腿37之間限定出用于接收十字形突出部35的凹口39。優(yōu)選地，第一支承模塊9和第二支承模塊11大體呈h形。在第一支承模塊9和第二支承模塊11的支腿37上還可以形成有孔41，以便當(dāng)限定的用于安放物品的凹部尺寸過大時(shí)通過定位銷和螺釘在第一支承模塊9和第二支承模塊11上拼接延伸部(未示出)。

正如本領(lǐng)域所知的是，為了使被抓取的芯片被準(zhǔn)確地放置在對準(zhǔn)裝置上，例如抓取和安放單元上的引導(dǎo)銷需要插入用于安放芯片的裝置上的套筒43中。由于芯片規(guī)格的變化、以及為了適應(yīng)不同抓取和安放單元上的引導(dǎo)銷，在支承板3上沒有設(shè)置第一榫銷5和第二榫銷7的部位形成多個(gè)均勻分布的接收孔45，用于安放套筒43。帶有接收孔的套筒43可以接收諸如抓取和安放單元上的引導(dǎo)銷。因此，在芯片規(guī)格發(fā)生變化或者為了適應(yīng)不同抓取和安放單元上的引導(dǎo)銷的位置時(shí)，只需要將套筒43拔出、并且重新插入與芯片規(guī)格相適應(yīng)的或者與不同抓取和安放單元上的引導(dǎo)銷相適應(yīng)的接收孔45中。

圖6是根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于安放物品的裝置的支承板的另一側(cè)示意性立體圖。如圖6所示，支承板3在與安裝支承模塊一側(cè)相反的另一側(cè)上形成有凹腔47，以便與形成在對準(zhǔn)裝置的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上的凸出部相匹配，從而可以快速準(zhǔn)確地將用于安放芯片的裝置安放在旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上。支承板3在與安裝支承模塊一側(cè)相反的另一側(cè)上還可以形成有用于安放磁鐵的安放孔49，以便使用于安放芯片的裝置與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)形成磁性聯(lián)接，從而實(shí)現(xiàn)用于安放芯片的裝置的快速拆裝。

以上結(jié)合具體實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)描述。顯然，以上描述以及在附圖中示出的實(shí)施例均應(yīng)被理解為是示例性的，而不構(gòu)成對本發(fā)明的限制。例如，在優(yōu)選實(shí)施例中，本發(fā)明被描述為在半導(dǎo)體制造工業(yè)中用于調(diào)整芯片方位的對準(zhǔn)裝置上的用于安放芯片的裝置，但應(yīng)理解的是，本發(fā)明適用于安放多種規(guī)格或尺寸的任何物品的裝置。對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，可以在不脫離本發(fā)明的精神的情況下對其進(jìn)行各種變型或修改，這些變型或修改均不脫離本發(fā)明的范圍。