本發(fā)明是離子注入在低溫多晶硅制程中一種玻璃基板位置矯正裝置及方法。

背景技術(shù)：

目前離子注入(imp，ionimplantation)在低溫多晶硅(ltps，lowtemperaturepoly-silicon)制程中的運(yùn)用越來(lái)越多，離子注入機(jī)為篩選特定離子植入到玻璃基板內(nèi)的設(shè)備結(jié)構(gòu)由真空大氣交換室、真空傳送室、制成室、離子產(chǎn)生室以及磁場(chǎng)篩選器等單元組成。玻璃在離子注入過(guò)程中，玻璃基板依次經(jīng)過(guò)真空大氣交換室、真空傳送室以及制成室，退出時(shí)，玻璃基板再依次由制成室傳送到真空傳送室再到真空大氣交換室。其中真空傳送室或制成室為高真空腔體，制程完成后玻璃基板原路返回。大氣環(huán)境下的機(jī)械手從玻璃載具中取片將玻璃基板放進(jìn)真空大氣交換室時(shí)，由于大氣環(huán)境下的機(jī)械手精度的原因玻璃基板會(huì)或多或少會(huì)發(fā)生偏移，如果玻璃基板在真空大氣交換室發(fā)生的偏移大于2mm，玻璃基板在制成室的滾筒上會(huì)與夾具產(chǎn)生干涉，把玻璃基板頂破。制成室為高真空腔，處理破片后抽真空需12小時(shí)，這不僅造成經(jīng)濟(jì)上的損失，還大大損失產(chǎn)能。

本專(zhuān)利通過(guò)對(duì)真空大氣交換室的設(shè)計(jì)進(jìn)行改造，增加玻璃基板位置矯裝置從而防止玻璃的偏移過(guò)大導(dǎo)致破片。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于克服玻璃基板進(jìn)入真空大氣交換室時(shí)由于機(jī)械手精度原因造成玻璃基板偏移進(jìn)而造成玻璃基板被頂破的缺陷，發(fā)明一種能夠?qū)ΣＡЩ逦恢眠M(jìn)行矯正的裝置，防止玻璃基板偏移過(guò)大造成破片。

一種玻璃基板位置矯正裝置，設(shè)置在玻璃基板的四個(gè)夾角處以矯正玻璃基板的位置，包括：

一對(duì)限位柱，用于調(diào)整玻璃基板的位置；

承載臺(tái)，所述的一對(duì)限位柱固定在承載臺(tái)上；

支撐臺(tái)，設(shè)置在承載臺(tái)遠(yuǎn)離所述限位柱的一端，用于支撐承載臺(tái)，

連接桿，與支撐臺(tái)固定連接，

以及控制裝置，與連接桿連接，控制連接桿的移動(dòng)。

所述的玻璃基板位置矯正裝置為4個(gè)，分別設(shè)置在玻璃基板的四個(gè)角，使玻璃基板能夠準(zhǔn)確的歸位。

所述的玻璃基板位置矯正裝置，其中，所述支撐臺(tái)中央設(shè)置有貫穿承載臺(tái)用于將承載臺(tái)固定在承載臺(tái)上的固定桿，所述固定桿上套裝有防脫墊片。

所述的玻璃基板位置矯正裝置，其中，所述防脫墊片包括第一防脫墊片和第二防脫墊片，所述第一防脫墊片，承載臺(tái)和第二防脫墊片依次通過(guò)固定桿由下至上設(shè)置在支撐臺(tái)上。

所述的玻璃基板位置矯正裝置，其中，所述固定桿和防脫墊片通過(guò)螺紋旋轉(zhuǎn)固定。

所述的玻璃基板位置矯正裝置，其中，所述限位柱為硬質(zhì)塑膠。

所述的玻璃基板位置矯正裝置，其中，所述限位柱之間的距離為4-10mm。

所述的玻璃基板位置矯正裝置，其中，所述控制裝置為雙作用氣缸，所述雙作用氣缸包括缸筒和一端設(shè)置在缸筒內(nèi)部的推桿，推桿上固定有活塞，所述推桿另一端與連接桿連接固定并沿缸筒中心線做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

所述的玻璃基板位置矯正裝置，其中，所述缸筒內(nèi)設(shè)置有兩個(gè)限位件，用于限制活塞的范圍，所述限位件包括開(kāi)始限位件和結(jié)束限位件，矯正時(shí)活塞位于結(jié)束限位件位置上，非矯正狀態(tài)時(shí)活塞位于開(kāi)始限位件位置。

一種控制玻璃基板位置矯正裝置的方法，包括以下步驟：

步驟(1)、調(diào)整承載臺(tái)位置，使位置矯正裝置在夾緊狀態(tài)時(shí)兩個(gè)限位柱能夠分別接觸玻璃基板的兩個(gè)邊緣；

步驟(2)玻璃基板進(jìn)入時(shí)，氣缸活塞由位于開(kāi)始限位件位置移動(dòng)到結(jié)束限位件位置上，帶動(dòng)推桿推動(dòng)連接桿朝向玻璃基板移動(dòng)，使限位柱分別接觸玻璃基板四個(gè)角的兩個(gè)邊緣，停止2秒后，氣缸活塞回至開(kāi)始限位件的位置。

所述的控制玻璃基板位置矯正裝置的方法，其中：步驟(1)為：在活塞位于結(jié)束限位件位置上時(shí)，松開(kāi)玻璃基板位置矯正裝置上的第一墊片，調(diào)整承載臺(tái)的位置，使得承載臺(tái)上的兩個(gè)限位柱分別接觸玻璃基板的邊緣，然后將活塞回歸至開(kāi)始限位件的位置。

本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)，在玻璃基板四個(gè)角分別設(shè)置玻璃基板位置矯正裝置，改善了玻璃基板偏移過(guò)大造成的基臺(tái)破片的現(xiàn)象，減少產(chǎn)能損失和經(jīng)濟(jì)損失。

通過(guò)雙作用氣缸推桿推動(dòng)連接桿的直線運(yùn)動(dòng)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，方便操作，簡(jiǎn)單易行。

設(shè)置防脫墊片能夠方便調(diào)整承載臺(tái)的角度，使承載臺(tái)的夾緊和松開(kāi)時(shí)能夠很好的將玻璃基板的四個(gè)角放入兩個(gè)限位柱內(nèi)完成夾緊，用時(shí)防脫墊片還能夠防止打滑。

附圖說(shuō)明

在下文中將基于實(shí)施例并參考附圖來(lái)對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)的描述。其中，

圖1是本發(fā)明玻璃基板位置矯正裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖，

圖2是本發(fā)明玻璃基板位置矯正裝置的另一角度的立體結(jié)構(gòu)示意圖，

圖3是本發(fā)明玻璃基板位置矯正裝置鎖緊狀態(tài)的工作示意圖，

圖4是本發(fā)明玻璃基板位置矯正裝置松開(kāi)狀態(tài)的工作示意圖。

在附圖中，相同的部件使用相同的附圖標(biāo)記。附圖并未按照實(shí)際的比例。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。

如圖1和圖2所示，為本發(fā)明玻璃基板位置矯正裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖，包括：

用于調(diào)整玻璃基板的位置的一對(duì)限位柱1；承載臺(tái)2，所述的一對(duì)限位柱固定在承載臺(tái)2上；支撐臺(tái)3，設(shè)置在承載臺(tái)2未設(shè)置限位柱的一端，用于支撐承載臺(tái)。所述支撐臺(tái)3中央設(shè)置有貫穿承載臺(tái)2用于將承載臺(tái)2固定在支撐臺(tái)3上的固定桿6，所述固定桿6上套裝有防脫墊片。所述防脫墊片包括第一防脫墊片4和第二防脫墊片5，所述第一防脫墊片4，承載臺(tái)2和第二防脫墊片5依次通過(guò)固定桿6由下至上設(shè)置在支撐臺(tái)3上。所述固定桿6上設(shè)置有螺紋，所述固定桿6和防脫墊片通過(guò)螺紋旋轉(zhuǎn)將承載臺(tái)2固定在支撐臺(tái)3上。所述第一防脫墊片4和第二防脫墊片5夾緊承載臺(tái)，避免承載臺(tái)脫落。所述的玻璃基板位置矯正裝置還包括設(shè)置在支撐臺(tái)3位于固定桿一側(cè)的連接桿7，所述連接桿7通過(guò)移動(dòng)來(lái)完成玻璃基板的位置矯正。

如圖3所示，為本發(fā)明玻璃基板位置矯正裝置鎖緊狀態(tài)的工作示意圖，圖中箭頭方向?yàn)檫B接桿的移動(dòng)方向。所述玻璃基板位置矯正裝置分別通過(guò)固定件7設(shè)置在玻璃基板10四個(gè)角，夾緊時(shí)，每對(duì)限位柱分別與玻璃基板10的四個(gè)角的邊緣接觸，玻璃基板10四個(gè)角分別位于每對(duì)限位柱1之間。每對(duì)限位柱在連接桿7的移動(dòng)下，分別與玻璃基板的邊緣相接觸，將偏轉(zhuǎn)的玻璃基板歸位，所述的玻璃基板位置矯正裝置為4個(gè)，分別設(shè)置在玻璃基板的四個(gè)角，使玻璃基板能夠準(zhǔn)確的歸位。

所述的玻璃基板矯正裝置可以設(shè)置在用于盛放玻璃基板的真空大氣交換室的室壁8上，也可以設(shè)置在用于支撐玻璃基板的載具上。在鎖緊狀態(tài)下，承載盤(pán)2與玻璃基板10之間有一定距離，該距離不超過(guò)2mm，避免承載盤(pán)在松開(kāi)過(guò)程中與玻璃基板摩擦，造成玻璃基板的二次位移。

如圖4所示，為本發(fā)明玻璃基板位置矯正裝置松開(kāi)狀態(tài)的工作示意圖，設(shè)置在玻璃基板四個(gè)角位置的玻璃基板位置矯正裝置在連接桿7的移動(dòng)下，每對(duì)限位柱分別與玻璃基板相分離。

所述的玻璃基板位置矯正裝置，其中，所述限位柱1為硬質(zhì)塑膠。硬質(zhì)塑膠既可以?shī)A緊玻璃基板使玻璃基板歸位，同時(shí)又能夠防滑。

所述限位柱1之間的距離為4-10mm。限位柱1之間的距離不宜過(guò)大也不宜過(guò)小，否則不利于玻璃基板位置的矯正；限位柱1之間距離過(guò)大容易造成矯正不到位，玻璃基板依舊有偏移，限位柱之間距離過(guò)小，玻璃基板的四個(gè)角無(wú)法落入兩限位柱之間，無(wú)法完成位置的矯正。

所述的玻璃基板位置矯正裝置，其中，所述限位柱1為圓柱狀，其半徑為4mm，高為8mm。限位柱1尺寸不宜過(guò)大，其高度大于所述玻璃基板的厚度，限位柱1截面面積不宜過(guò)小，否則影響限位柱1的剛度和玻璃基板矯正效果。

控制玻璃基板位置矯正裝置的為雙作用氣缸(圖中未繪制出)，即市面上常用的雙作用氣缸，其結(jié)構(gòu)為本領(lǐng)域技術(shù)人員所熟知，不再結(jié)合圖示說(shuō)明。本發(fā)明用于控制玻璃基板位置矯正裝置的雙作用氣缸包括缸筒和一端設(shè)置在缸筒內(nèi)部的推桿，推桿上固定有活塞，所述推桿另一端與連接桿連接固定并沿缸筒中心線做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。所述缸筒內(nèi)設(shè)置有兩個(gè)限位件，用于限制活塞的范圍，所述限位件包括開(kāi)始限位件和結(jié)束限位件，矯正時(shí)活塞位于結(jié)束限位件位置上，非矯正狀態(tài)時(shí)活塞位于開(kāi)始限位件位置。

一種控制玻璃基板位置矯正裝置的方法，包括以下步驟：

步驟(1)、調(diào)整承載臺(tái)位置，使位置矯正裝置在夾緊狀態(tài)時(shí)兩個(gè)限位柱能夠分別接觸玻璃基板四個(gè)角的兩個(gè)邊緣；

步驟(2)玻璃基板進(jìn)入時(shí)，氣缸活塞由位于開(kāi)始限位件位置移動(dòng)到結(jié)束限位件位置上，帶動(dòng)推桿推動(dòng)連接桿朝向玻璃基板移動(dòng)，使限位柱分別接觸玻璃基板的兩個(gè)邊緣，停止2秒后，氣缸活塞回至開(kāi)始限位件的位置。

其中，步驟(1)為：在活塞位于結(jié)束限位件位置上時(shí)，松開(kāi)玻璃基板位置矯正裝置上的第一墊片，調(diào)整承載臺(tái)的位置，使得承載臺(tái)上的兩個(gè)限位柱分別接觸玻璃基板的邊緣，然后將活塞回歸至開(kāi)始限位件的位置。

所述的玻璃基板位置矯正裝置，其中，所述四個(gè)位置矯正裝置由四個(gè)雙作用氣缸同時(shí)控制，氣缸的推桿同時(shí)移動(dòng)，控制四個(gè)矯正裝置移動(dòng)，能夠更好的矯正玻璃基板的位置，防止玻璃基板被頂破。

所述的玻璃基板位置矯正裝置，其中，所述玻璃基板位置矯正裝置夾緊后再松開(kāi)，夾緊時(shí)間不超過(guò)2秒。矯正結(jié)束后即松開(kāi)，節(jié)約成本。

本專(zhuān)利通過(guò)對(duì)真空大氣交換室的設(shè)計(jì)進(jìn)行改造，增加玻璃基板位置矯裝置從而防止玻璃的偏移過(guò)大導(dǎo)致破片。

雖然已經(jīng)參考優(yōu)選實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了描述，但在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下，可以對(duì)其進(jìn)行各種改進(jìn)并且可以用等效物替換其中的部件。尤其是，只要不存在結(jié)構(gòu)沖突，各個(gè)實(shí)施例中所提到的各項(xiàng)技術(shù)特征均可以任意方式組合起來(lái)。本發(fā)明并不局限于文中公開(kāi)的特定實(shí)施例，而是包括落入權(quán)利要求的范圍內(nèi)的所有技術(shù)方案。