本發(fā)明涉及高功率激光器技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種非穩(wěn)腔單頻激光輸出裝置。

背景技術(shù)：

隨著對(duì)遠(yuǎn)距離目標(biāo)探測(cè)識(shí)別需求日益強(qiáng)烈，針對(duì)該類目標(biāo)的探測(cè)手段也逐漸豐富，其中激光相干探測(cè)作為一種非接觸式干涉測(cè)量技術(shù)手段，具有高靈敏性和抗干擾能力強(qiáng)等優(yōu)勢(shì)，在上述應(yīng)用中逐漸凸顯其重要性。要實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離目標(biāo)相干測(cè)量識(shí)別，需具備頻譜純度高且頻率穩(wěn)定的激光發(fā)射源，而該類發(fā)射源主要采用種子注入鎖定技術(shù)獲得。

目前實(shí)現(xiàn)高功率單頻激光輸出的途徑較多，其中基于穩(wěn)定腔注入鎖定方式具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且穩(wěn)定性好等特點(diǎn)，但該技術(shù)途徑輸出光束中單頻成分所占能量比例較低，即是在相同增益介質(zhì)體積下，實(shí)現(xiàn)單頻運(yùn)轉(zhuǎn)所獲得的能量較低，限制其進(jìn)一步使用。而基于非穩(wěn)腔輸出的注入鎖定技術(shù)，能充分利用其優(yōu)良的橫模鑒別能力(合理設(shè)計(jì)的腔型具有準(zhǔn)基模運(yùn)轉(zhuǎn)能力)，再結(jié)合種子注入鎖定技術(shù)，在相同的增益體積下，能獲得較高能量的單橫模輸出。在此基礎(chǔ)上，利用種子注入方式選擇振蕩縱模，實(shí)現(xiàn)單頻運(yùn)轉(zhuǎn)，該方式是目前國(guó)際上典型應(yīng)用系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)高功率單頻激光輸出的主流方式。

但是傳統(tǒng)的正支虛共焦非穩(wěn)腔設(shè)計(jì)主要采用反射式輸出結(jié)構(gòu)，輸出光斑在近場(chǎng)為空心光束，雖然在大約20m后衍射變?yōu)橹行膶?shí)心光束，但是在近場(chǎng)光學(xué)發(fā)射及中繼系統(tǒng)設(shè)計(jì)中，仍然較為不便。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明提供一種非穩(wěn)腔單頻激光輸出裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中反射式輸出結(jié)構(gòu)的正支虛共焦非穩(wěn)腔在近場(chǎng)光學(xué)中輸出實(shí)心光束設(shè)計(jì)較為不便的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種非穩(wěn)腔單頻激光輸出裝置，包括：

種子激光斜向注入系統(tǒng)和激光諧振系統(tǒng)；

所述種子激光斜向注入系統(tǒng)包括：波導(dǎo)激光器、第一分束器、光束質(zhì)量分析儀、第一反射鏡、第二反射鏡和擴(kuò)束器；

所述激光諧振系統(tǒng)包括：相對(duì)設(shè)置的第一電極和第二電極，位于所述第一電極和所述第二電極兩側(cè)，且相對(duì)設(shè)置的凹面反射鏡和凹凸部分反射鏡；

所述第一電極和所述第二電極的中軸線與所述凹面反射鏡和所述凹凸部分反射鏡的光軸位于同一直線上；

其中，波導(dǎo)激光器出射的光束經(jīng)過(guò)第一分束鏡分為透射的第一光束和反射的第二光束，所述第二光束入射至所述光束質(zhì)量分析儀，所述光束質(zhì)量分析儀用于監(jiān)測(cè)所述第二光束的激光模式；

所述第一光束經(jīng)過(guò)所述擴(kuò)束器擴(kuò)束，并經(jīng)過(guò)所述第一反射鏡和所述第二反射鏡組成的潛望鏡結(jié)構(gòu)，斜入射至所述第一電極；

斜入射至所述第一電極的光被所述第一電極散射后，經(jīng)過(guò)所述凹面反射鏡和所述凹凸部分反射鏡的多次反射，并經(jīng)過(guò)所述凹凸部分反射鏡出射，得到單頻激光，所述單頻激光為實(shí)心光斑。

優(yōu)選地，非穩(wěn)腔單頻激光輸出裝置還包括單頻激光輸出檢測(cè)系統(tǒng)、第二分束器和第三分束器；

所述第二分束器用于將所述第二光束分為反射的第三光束和透射的第四光束，所述第四光束入射至所述光束質(zhì)量分析儀，所述第三光束作為所述單頻激光輸出檢測(cè)系統(tǒng)的參考光束；

所述第三分束器用于將由所述凹凸部分反射鏡出射的單頻激光分為透射的第五光束和反射的第六光束，所述第五光束作為所述非穩(wěn)腔單頻激光輸出裝置的有效能量輸出，所述第六光束輸入至所述單頻激光檢測(cè)系統(tǒng)，用于激光脈沖頻率檢測(cè)；

其中，所述單頻激光輸出檢測(cè)系統(tǒng)用于檢測(cè)所述單頻激光的頻率。

優(yōu)選地，所述單頻激光輸出檢測(cè)系統(tǒng)包括：偏振器、第四分束器、可控衰減器組、光電探測(cè)器和示波器；

所述第六光束經(jīng)過(guò)所述偏振器后經(jīng)過(guò)所述第四分束器透射至所述光電探測(cè)器；

所述第三光束經(jīng)過(guò)所述可控衰減器組后經(jīng)所述第四分束器反射至所述光電探測(cè)器；

所述光電探測(cè)器的輸出端與所述示波器的輸入端相連，所述示波器用于輸出脈沖波形。

優(yōu)選地，所述第一分束器的透反比為4:1。

優(yōu)選地，所述擴(kuò)束器為5倍擴(kuò)束器。

優(yōu)選地，所述凹面反射鏡的反射率高于99％。

優(yōu)選地，所述凹凸部分反射鏡的反射率為70％。

優(yōu)選地，所述第三分束器的透反比為9:1。

優(yōu)選地，所述波導(dǎo)激光器為波導(dǎo)co2激光器。

經(jīng)由上述的技術(shù)方案可知，本發(fā)明提供的非穩(wěn)腔單頻激光輸出裝置中，激光諧振系統(tǒng)的出射光束的反射鏡為凹凸部分反射鏡，即本發(fā)明中的正支虛共焦非穩(wěn)腔為透射輸出方式，從而能夠出射實(shí)心光斑，實(shí)現(xiàn)近場(chǎng)實(shí)心光斑輸出；另一方面，入射至第一電極的光束為端面斜向注入方式，利用電極反射光束進(jìn)行注入鎖定，能夠獲得單頻激光輸出，且在一定程度上降低了種子注入光路設(shè)計(jì)調(diào)整及光學(xué)隔離的復(fù)雜性，有利于提高系統(tǒng)穩(wěn)定性。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)提供的反射式正支虛共焦非穩(wěn)腔的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種非穩(wěn)腔單頻激光輸出裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種非穩(wěn)腔單頻激光輸出裝置結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

正如背景技術(shù)部分所述，現(xiàn)有技術(shù)中傳統(tǒng)的正支虛共焦非穩(wěn)腔設(shè)計(jì)主要采用反射式輸出結(jié)構(gòu)，如圖1所示，為現(xiàn)有技術(shù)中傳統(tǒng)的正支虛共焦非穩(wěn)腔，所述正支虛共焦非穩(wěn)腔包括第一電極01、第二電極02和位于第一電極01和第二電極02兩端的第一反射鏡03和第二反射鏡04，其中第二反射鏡04的尺寸小于第一反射鏡03的尺寸，從而最終光束輸出時(shí)，能夠從第二反射鏡04的邊緣出射，也因此，傳統(tǒng)的正支虛共焦非穩(wěn)腔輸出的光斑為空心光斑，如圖1中所示。雖然在大約20m后衍射變?yōu)橹行膶?shí)心光束或者通過(guò)中心光束重構(gòu)能夠得到實(shí)心光束，但是在近場(chǎng)光學(xué)發(fā)射及中繼系統(tǒng)設(shè)計(jì)中，仍然較為不便。

基于此，本發(fā)明提供一種非穩(wěn)腔單頻激光輸出裝置，包括：

種子激光斜向注入系統(tǒng)和激光諧振系統(tǒng)；

所述種子激光斜向注入系統(tǒng)包括：波導(dǎo)激光器、第一分束器、光束質(zhì)量分析儀、第一反射鏡、第二反射鏡和擴(kuò)束器；

所述激光諧振系統(tǒng)包括：相對(duì)設(shè)置的第一電極和第二電極，位于所述第一電極和所述第二電極兩側(cè)，且相對(duì)設(shè)置的凹面反射鏡和凹凸部分反射鏡；

所述第一電極和所述第二電極的中軸線與所述凹面反射鏡和所述凹凸部分反射鏡的光軸位于同一直線上；

其中，波導(dǎo)激光器出射的光束經(jīng)過(guò)第一分束鏡分為透射的第一光束和反射的第二光束，所述第二光束入射至所述光束質(zhì)量分析儀，所述光束質(zhì)量分析儀用于監(jiān)測(cè)所述第二光束的激光模式；

所述第一光束經(jīng)過(guò)所述擴(kuò)束器擴(kuò)束，并經(jīng)過(guò)所述第一反射鏡和所述第二反射鏡組成的潛望鏡結(jié)構(gòu)，斜入射至所述第一電極；

斜入射至所述第一電極的光被所述第一電極散射后，經(jīng)過(guò)所述凹面反射鏡和所述凹凸部分反射鏡述單頻激光為實(shí)心光斑。

本發(fā)明提供的非穩(wěn)腔單頻激光輸出裝置中，激光諧振系統(tǒng)的出射光束的反射鏡為凹凸部分反射鏡，即本發(fā)明中的正支虛共焦非穩(wěn)腔為透射輸出方式，從而能夠出射實(shí)心光斑，實(shí)現(xiàn)近場(chǎng)實(shí)心光斑輸出；另一方面，入射至第一電極的光束為端面斜向注入方式，利用電極反射光束進(jìn)行注入鎖定，能夠獲得單頻激光輸出，且在一定程度上降低了種子注入光路設(shè)計(jì)調(diào)整及光學(xué)隔離的復(fù)雜性，有利于提高系統(tǒng)穩(wěn)定性。

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

具體的，請(qǐng)參見(jiàn)圖2，圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種非穩(wěn)腔單頻激光輸出裝置結(jié)構(gòu)示意圖，所述非穩(wěn)腔單頻激光輸出裝置，包括：種子激光斜向注入系統(tǒng)100和激光諧振系統(tǒng)200；種子激光斜向注入系統(tǒng)包括：波導(dǎo)激光器1、第一分束器2、光束質(zhì)量分析儀5、第一反射鏡8、第二反射鏡9和擴(kuò)束器7；激光諧振系統(tǒng)包括：相對(duì)設(shè)置的第一電極和第二電極，位于第一電極和第二電極兩側(cè)，且相對(duì)設(shè)置的凹面反射鏡10和凹凸部分反射鏡14；第一電極和第二電極的中軸線與凹面反射鏡10和凹凸部分反射鏡14的光軸位于同一直線上；其中，波導(dǎo)激光器1出射的光束經(jīng)過(guò)第一分束鏡2分為透射的第一光束和反射的第二光束，第二光束入射至光束質(zhì)量分析儀5，光束質(zhì)量分析儀5用于監(jiān)測(cè)第二光束的激光模式；第一光束經(jīng)過(guò)擴(kuò)束器7擴(kuò)束，并經(jīng)過(guò)第一反射鏡8和第二反射鏡9組成的潛望鏡結(jié)構(gòu)，斜入射至第一電極；斜入射至第一電極的光被第一電極散射后，經(jīng)過(guò)凹面反射鏡10和凹凸部分反射鏡14的多次反射，并經(jīng)過(guò)凹凸部分反射鏡14出射，得到單頻激光，單頻激光為實(shí)心光斑。

需要說(shuō)明的是，在圖2中，種子激光斜向注入系統(tǒng)100中，除了第二反射鏡9，其他元件都在同一水平面上，且，該水平面與激光諧振系統(tǒng)200中的第一電極和第二電極的中軸線，即圖2中所示的虛線位于同一水平面內(nèi)。圖2中所示的激光諧振系統(tǒng)200的截面為垂直于所述水平面的截面結(jié)構(gòu)示意圖。也即圖2中所示的種子激光斜向注入系統(tǒng)100和激光諧振系統(tǒng)200是位于兩個(gè)相互垂直的平面內(nèi)的。其中，第一反射鏡8和第二反射鏡9組成的潛望鏡結(jié)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)光路的抬升，將位于第一電極和第二電極的中軸線所在水平面的光束抬升至高于凹面反射鏡10，從而能夠從凹面反射鏡10的邊緣斜入射至激光諧振系統(tǒng)的密封窗口11，進(jìn)而相對(duì)于激光諧振系統(tǒng)的密封窗口斜入射至第一電極12上。

本實(shí)施例中不限定第一電極是上電極還是下電極，但實(shí)際光路排布中種子源和激光器均固定于穩(wěn)定基板上，放電區(qū)域距離基板垂直距離較短，注入光束由下向上入射在上電極時(shí)導(dǎo)光空間不足。因此，本實(shí)施例中，可選的，第一電極為下電極。即圖2中12為第一電極，13為第二電極。

本實(shí)施例中采用端面斜向注入方式，避免了沿第一電極和第二電極的中軸線注入引入的光束隔離問(wèn)題。

由于本實(shí)施例中激光諧振系統(tǒng)出射方向的反射鏡為凹凸部分反射鏡14，因此，光束能夠直接通過(guò)，無(wú)需像現(xiàn)有技術(shù)中一樣，需要通過(guò)反射鏡的邊緣出射，從而能夠得到實(shí)心光束。

本實(shí)施例提供的非穩(wěn)腔單頻激光輸出裝置中，激光諧振系統(tǒng)的出射光束的反射鏡為凹凸部分反射鏡，即正支虛共焦非穩(wěn)腔為透射輸出方式，從而能夠出射實(shí)心光斑，實(shí)現(xiàn)近場(chǎng)實(shí)心光斑輸出；另一方面，入射至第一電極的光束為端面斜向注入方式，利用電極反射光束進(jìn)行注入鎖定，能夠獲得單頻激光輸出，且在一定程度上降低了種子注入光路設(shè)計(jì)調(diào)整及光學(xué)隔離的復(fù)雜性，有利于提高系統(tǒng)穩(wěn)定性。

本發(fā)明實(shí)施例還提供一種非穩(wěn)腔單頻激光輸出裝置，如圖3所示，在上一實(shí)施例的基礎(chǔ)上，還包括：?jiǎn)晤l激光輸出檢測(cè)系統(tǒng)300、第二分束器4和第三分束器15；其中，單頻激光輸出檢測(cè)系統(tǒng)300用于檢測(cè)單頻激光的頻率。第二分束器4用于將第二光束分為反射的第三光束和透射的第四光束，第四光束入射至光束質(zhì)量分析儀5，第三光束作為單頻激光輸出檢測(cè)系統(tǒng)300的參考光束；第三分束器15用于將由凹凸部分反射鏡14出射的單頻激光分為透射的第五光束和反射的第六光束，第五光束作為非穩(wěn)腔單頻激光輸出裝置的有效能量輸出，第六光束輸入至單頻激光檢測(cè)系統(tǒng)300，用于激光脈沖頻率檢測(cè)。

本實(shí)施例中單頻激光輸出檢測(cè)系統(tǒng)300具體包括：偏振器16、第四分束器17、可控衰減器組18、光電探測(cè)器19和示波器20；第六光束經(jīng)過(guò)偏振器16后經(jīng)過(guò)第四分束器17透射至光電探測(cè)器19；第三光束經(jīng)過(guò)可控衰減器組18后經(jīng)第四分束器17反射至光電探測(cè)器19；光電探測(cè)器19的輸出端與示波器20的輸入端相連，示波器20用于輸出脈沖波形。

本實(shí)施例中種子激光斜向注入系統(tǒng)100還包括第三反射鏡3和第四反射鏡6，當(dāng)然，在光路方向需要改變時(shí)，還可以增加或減少反射鏡的使用，本實(shí)施例中對(duì)此不做限定。

具體的，本發(fā)明實(shí)施例中提供的非穩(wěn)腔單頻激光輸出裝置的具體工作原理如下：

所述非穩(wěn)腔單頻激光輸出裝置為透射式輸出正支虛共焦非穩(wěn)腔單頻激光裝置，如圖3所示，包含三個(gè)組成部分，每個(gè)部分功能相對(duì)獨(dú)立，以實(shí)現(xiàn)高功率單頻激光實(shí)心光斑輸出，同時(shí)具備對(duì)輸出光斑進(jìn)行頻率特性檢測(cè)功能。

其中，波導(dǎo)co2激光器1輸出功率接近3w，發(fā)射激光束經(jīng)第一分束器2分為透反比4:1的兩束激光，反射光(第二光束)經(jīng)第三反射鏡3和第二分束鏡4后，透射光(第四光束)經(jīng)過(guò)光束質(zhì)量分析儀5作為種子激光模式監(jiān)測(cè)，經(jīng)過(guò)第二分束器4的反射光(第三光束)作為頻率檢測(cè)的參考光束。經(jīng)第一分束器2的透射光(第一光束)經(jīng)第四反射鏡6、5倍擴(kuò)束器7、第一反射鏡8和第二反射鏡9之后，進(jìn)入激光諧振系統(tǒng)，其中擴(kuò)束器7的作用主要是實(shí)現(xiàn)種子激光與脈沖tea激光諧振系統(tǒng)內(nèi)輸出單橫模激光的模式匹配，模式匹配效果直接決定了種子注入鎖定概率的高低和穩(wěn)定性好壞。

經(jīng)過(guò)第二反射鏡9反射的種子激光通過(guò)密封窗口11入射在tea激光諧振系統(tǒng)的下電極12表面，其中下電極12和上電極13組成19kv～26kv放電電極對(duì)，下電極12表面為拋光的金屬面，入射激光將會(huì)發(fā)生散射，導(dǎo)致偏離激光振蕩軸線的光束無(wú)法充分利用，但由于注入功率較高，只要有一部分種子激光能抑制激光諧振系統(tǒng)內(nèi)自發(fā)輻射，便能形成注入鎖定。整個(gè)激光諧振系統(tǒng)由凹面反射鏡10(反射率高于99％)和凹凸部分反射鏡14組成，其中，凹凸部分反射鏡14的凸面為70％反射率反射面，凹凸部分反射鏡14作為輸出耦合光學(xué)元件，能獲得實(shí)心光斑輸出，光束發(fā)散角接近1mrad，輸出光束經(jīng)過(guò)第三分束器15后分為兩部分，其中透射光束(第五光束)作為激光有效能量輸出，反射光束(第六光束)作為激光脈沖頻率檢測(cè)光束。

經(jīng)過(guò)第三分束器15(透反比9:1)的反射光束經(jīng)偏振器16與第四分束器17后，入射進(jìn)入光電探測(cè)器19表面，其中經(jīng)第二分束器4反射的種子激光進(jìn)入可控衰減器組18后，再經(jīng)第四分束器17反射后進(jìn)入光電探測(cè)器19，光電探測(cè)器19輸出電信號(hào)進(jìn)入示波器20實(shí)現(xiàn)輸出脈沖波形觀測(cè)和頻率穩(wěn)定性檢測(cè)。

其中，脈沖波形的光滑程度直接反應(yīng)激光輸出的單頻特性，若存在多縱模振蕩，則在拍頻波形中將出現(xiàn)以縱模間隔頻率為基帶信號(hào)的諧波振蕩，而示波器的頻率變換功能可實(shí)時(shí)反演激光器短期或長(zhǎng)期的頻率穩(wěn)定特性。

遠(yuǎn)程激光相干探測(cè)對(duì)光源頻率穩(wěn)定性要求較高，在實(shí)際應(yīng)用系統(tǒng)中，也需要引入頻率檢測(cè)系統(tǒng)，本發(fā)明實(shí)施例提供的所述非穩(wěn)腔單頻激光輸出裝置內(nèi)自帶頻率檢測(cè)系統(tǒng)功能，可簡(jiǎn)化后續(xù)頻率檢測(cè)流程。

需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中不限定每個(gè)分束器的透反比以及擴(kuò)束器的具體擴(kuò)束倍數(shù)。其中，第一分束器2的透反比需要確保種子激光大部分功率透射以后注入到tea激光諧振系統(tǒng)內(nèi)，以獲得更好的模式抑制效果。而擴(kuò)束器7的倍數(shù)是根據(jù)種子激光的發(fā)散角和tea激光器輸出光束模式分布決定的，如果激光諧振系統(tǒng)參數(shù)變化，擴(kuò)束倍數(shù)也會(huì)變化，以獲得更好的模式匹配。因此，分束器的透反比以及擴(kuò)束器的具體擴(kuò)束倍數(shù)可以根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行選定。

本實(shí)施例中提供的所述非穩(wěn)腔單頻激光輸出裝置由三部分組成，分別為種子激光斜向注入系統(tǒng)、激光諧振系統(tǒng)、單頻激光輸出檢測(cè)系統(tǒng)。所述激光諧振系統(tǒng)為teaco2激光諧振系統(tǒng)，種子激光斜向注入系統(tǒng)利用連續(xù)波導(dǎo)co2輸出的單頻激光，經(jīng)過(guò)光束模式匹配后注入激光諧振系統(tǒng)下電極表面，利用電極反射信號(hào)實(shí)現(xiàn)對(duì)其他非選擇模式的抑制。teaco2激光諧振系統(tǒng)利用凹凸反射鏡組合方式，實(shí)現(xiàn)非穩(wěn)腔的透射式輸出并獲得實(shí)心光斑分布。單頻激光輸出檢測(cè)系統(tǒng)采用發(fā)射種子激光作為本振源與tea脈沖進(jìn)行混頻，從而獲得穩(wěn)定拍頻信號(hào)，以此作為激光單頻運(yùn)轉(zhuǎn)的頻率特性檢測(cè)手段。

本發(fā)明實(shí)施例提供的非穩(wěn)腔單頻激光輸出裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)焦耳量級(jí)甚至更大能量單頻co2激光輸出，并且可實(shí)現(xiàn)激光實(shí)心光斑輸出便于使用，端面斜向注入方式有效避免了注入光路隔離問(wèn)題。另外，該裝置可通過(guò)改變氣體配比進(jìn)而改變輸出脈沖長(zhǎng)度，同時(shí)可更換激光介質(zhì)為co2同位素氣體，降低輸出激光在大氣傳輸中的衰減倍率。具體可實(shí)現(xiàn)指標(biāo)如下：輸出能量大于1j、脈沖重復(fù)頻率達(dá)30hz、單頻激光譜線寬度優(yōu)于2mhz、單頻激光頻率鎖定概率優(yōu)于90％。

需要說(shuō)明的是，本說(shuō)明書(shū)中的各個(gè)實(shí)施例均采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似的部分互相參見(jiàn)即可。

對(duì)所公開(kāi)的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開(kāi)的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。