本實(shí)用新型涉及蝕刻技術(shù)，尤其涉及一種蝕刻裝置。
背景技術(shù)：
蝕刻通常也稱光化學(xué)蝕刻，指通過顯影后，將要蝕刻區(qū)域的保護(hù)膜去除，在蝕刻時(shí)接觸化學(xué)溶液，達(dá)到溶解腐蝕的作用。為了提高蝕刻的均勻性，一般會(huì)在輸送滾輪的上側(cè)設(shè)置吸水機(jī)構(gòu)，吸水機(jī)構(gòu)排出上板面的藥水，以提高工件的品質(zhì)?，F(xiàn)有技術(shù)中的蝕刻裝置，吸水機(jī)構(gòu)與射流器和水泵連接，水泵抽水后，打入射流器，從射流器射出后，在其上部會(huì)產(chǎn)生真空，接入到吸水機(jī)構(gòu)時(shí)，吸水機(jī)構(gòu)會(huì)吸取工件表面的藥水和空氣。通過射流器和水泵來產(chǎn)生真空，由于水泵抽水需要消耗能量，同時(shí)還要經(jīng)過射流器，使得產(chǎn)生真空的效率較低。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是：提供一種節(jié)能且抽真空效率高的蝕刻裝置。
為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為：
一種蝕刻裝置，包括機(jī)體和吸水機(jī)構(gòu)，所述吸水機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述機(jī)體內(nèi)，還包括風(fēng)機(jī)和氣液分離器，所述吸水機(jī)構(gòu)與所述氣液分離器管道連接，所述氣液分離器與所述風(fēng)機(jī)管道連接。
進(jìn)一步的，所述風(fēng)機(jī)與所述機(jī)體管道連接。
進(jìn)一步的，所述氣液分離器與所述機(jī)體管道連接。
進(jìn)一步的，還包括回收槽，所述回收槽設(shè)置在所述機(jī)體內(nèi)并位于機(jī)體的底部，所述氣液分離器通過管道與所述回收槽連通設(shè)置。
進(jìn)一步的，還包括輸送機(jī)構(gòu)，所述輸送機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述機(jī)體內(nèi)，所述吸水機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述輸送機(jī)構(gòu)的上方并朝向輸送機(jī)構(gòu)設(shè)置。
進(jìn)一步的，還包括蝕刻機(jī)構(gòu)，所述蝕刻機(jī)構(gòu)包括上噴淋機(jī)構(gòu)和下噴淋機(jī)構(gòu)，所述上噴淋機(jī)構(gòu)和下噴淋機(jī)構(gòu)分別設(shè)置在所述機(jī)體內(nèi)，所述上噴淋機(jī)構(gòu)設(shè)于所述下噴淋機(jī)構(gòu)的上方，所述吸水機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述上噴淋機(jī)構(gòu)和下噴淋機(jī)構(gòu)之間。
本實(shí)用新型的有益效果在于：
吸水機(jī)構(gòu)與氣液分離器通過管道連接，氣液分離器與風(fēng)機(jī)通過管道連接，從而通過風(fēng)機(jī)可以直接產(chǎn)生真空，無需使用水泵，不僅可節(jié)省能源，而且可提高抽真空效率，使得吸水機(jī)構(gòu)可及時(shí)地將工件上的藥水排出，不僅使蝕刻的均勻性大大提高，而且可提高整體的蝕刻速度。
附圖說明
圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的蝕刻裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
標(biāo)號(hào)說明：
1、機(jī)體；2、吸水機(jī)構(gòu)；3、風(fēng)機(jī)；4、氣液分離器；5、輸送機(jī)構(gòu)；
6、蝕刻機(jī)構(gòu)；61、上噴淋機(jī)構(gòu)；62、下噴淋機(jī)構(gòu)。
具體實(shí)施方式
為詳細(xì)說明本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容、所實(shí)現(xiàn)目的及效果，以下結(jié)合實(shí)施方式并配合附圖予以說明。
本實(shí)用新型最關(guān)鍵的構(gòu)思在于：利用風(fēng)機(jī)產(chǎn)生真空，從而節(jié)省能源且提高抽真空效率，進(jìn)而提高蝕刻均勻性和速度。
請(qǐng)參照?qǐng)D1，一種蝕刻裝置，包括機(jī)體1和吸水機(jī)構(gòu)2，所述吸水機(jī)構(gòu)2設(shè)置在所述機(jī)體1內(nèi)，還包括風(fēng)機(jī)3和氣液分離器4，所述吸水機(jī)構(gòu)2與所述氣液分離器4管道連接，所述氣液分離器4與所述風(fēng)機(jī)3管道連接。
本實(shí)用新型的工作原理為：
利用風(fēng)機(jī)產(chǎn)生真空，而非像現(xiàn)有技術(shù)中采用水泵的方式。風(fēng)機(jī)的葉輪在電機(jī)的高速旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)下，將空氣在風(fēng)機(jī)入口吸入，經(jīng)葉輪旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)下排出至出口；在風(fēng)機(jī)的入口會(huì)產(chǎn)生負(fù)壓，將空氣吸入；在風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口會(huì)產(chǎn)生正壓，將風(fēng)排出。
現(xiàn)有技術(shù)中抽取液體一般采用水泵進(jìn)行，與之不同的是，本實(shí)用新型利用風(fēng)機(jī)和氣液分離器，以取代現(xiàn)有技術(shù)中的射流器和水泵，上述結(jié)構(gòu)的改變，可以顯著的提高抽真空效率，并且，避免了因采用射流器和水泵設(shè)備而帶來的能源浪費(fèi)。
從上述描述可知，本實(shí)用新型的有益效果在于：
吸水機(jī)構(gòu)與氣液分離器通過管道連接，氣液分離器與風(fēng)機(jī)通過管道連接，從而通過風(fēng)機(jī)可以直接產(chǎn)生真空，無需使用水泵，不僅可節(jié)省能源，而且可提高抽真空效率，使得吸水機(jī)構(gòu)可及時(shí)地將工件上的藥水排出，不僅使蝕刻的均勻性大大提高，而且可提高整體的蝕刻速度。
進(jìn)一步的，所述風(fēng)機(jī)3與所述機(jī)體1管道連接。
由上述描述可知，吸水機(jī)構(gòu)吸取藥水和空氣，進(jìn)入到氣液分離器后，氣液分離器將液態(tài)和氣體進(jìn)行分離，氣體由管道進(jìn)入到風(fēng)機(jī)，再進(jìn)入到機(jī)體內(nèi)完成循環(huán)。
進(jìn)一步的，所述氣液分離器4與所述機(jī)體1管道連接。
由上述描述可知，經(jīng)氣液分離器分離的液體經(jīng)過管道進(jìn)入到機(jī)體內(nèi)。
進(jìn)一步的，還包括回收槽，所述回收槽設(shè)置在所述機(jī)體1內(nèi)并位于機(jī)體1的底部，所述氣液分離器4通過管道與所述回收槽連通設(shè)置。
由上述描述可知，經(jīng)氣液分離器分離的液體進(jìn)入到機(jī)體內(nèi)的回收槽中，以便對(duì)藥水進(jìn)行回收，使得藥水可循環(huán)利用，節(jié)省原材。
進(jìn)一步的，還包括輸送機(jī)構(gòu)5，所述輸送機(jī)構(gòu)5設(shè)置在所述機(jī)體內(nèi)，所述吸水機(jī)構(gòu)2設(shè)置在所述輸送機(jī)構(gòu)5的上方并朝向輸送機(jī)構(gòu)5設(shè)置。
由上述描述可知，工件設(shè)置在輸送機(jī)構(gòu)上，吸水機(jī)構(gòu)朝向輸送機(jī)構(gòu)設(shè)置，可方便地將工件上的藥水排水。
進(jìn)一步的，還包括蝕刻機(jī)構(gòu)6，所述蝕刻機(jī)構(gòu)6包括上噴淋機(jī)構(gòu)61和下噴淋機(jī)構(gòu)62，所述上噴淋機(jī)構(gòu)61和下噴淋機(jī)構(gòu)62分別設(shè)置在所述機(jī)體1內(nèi)，所述上噴淋機(jī)構(gòu)61設(shè)于所述下噴淋機(jī)構(gòu)62的上方，所述吸水機(jī)構(gòu)2設(shè)置在所述上噴淋機(jī)構(gòu)61和下噴淋機(jī)構(gòu)62之間。
由上述描述可知，蝕刻機(jī)構(gòu)包括上、下噴淋機(jī)構(gòu)，可同時(shí)對(duì)工件的上下兩面進(jìn)行蝕刻，提高了蝕刻效率。
請(qǐng)參照?qǐng)D，本實(shí)用新型的實(shí)施例一為：
本實(shí)施例的蝕刻裝置，包括機(jī)體1和吸水機(jī)構(gòu)2，所述吸水機(jī)構(gòu)2設(shè)置在所述機(jī)體1內(nèi)，還包括風(fēng)機(jī)3和氣液分離器4，所述吸水機(jī)構(gòu)2與所述氣液分離器4管道連接(管道內(nèi)為氣體和液態(tài)的藥水)，所述氣液分離器4與所述風(fēng)機(jī)3管道連接(管道內(nèi)為氣體)。所述風(fēng)機(jī)3與所述機(jī)體1管道連接(管道內(nèi)為氣體)。所述氣液分離器4與所述機(jī)體1管道連接(管道內(nèi)為液體)。氣體及液體藥水的流向如圖1中箭頭方向所示。還包括回收槽，所述回收槽設(shè)置在所述機(jī)體1內(nèi)并位于機(jī)體1的底部，所述氣液分離器4通過管道與所述回收槽連通設(shè)置。還包括輸送機(jī)構(gòu)5，所述輸送機(jī)構(gòu)5設(shè)置在所述機(jī)體內(nèi)，所述吸水機(jī)構(gòu)2設(shè)置在所述輸送機(jī)構(gòu)5的上方并朝向輸送機(jī)構(gòu)5設(shè)置。還包括蝕刻機(jī)構(gòu)6，所述蝕刻機(jī)構(gòu)6包括上噴淋機(jī)構(gòu)61和下噴淋機(jī)構(gòu)62，所述上噴淋機(jī)構(gòu)61和下噴淋機(jī)構(gòu)62分別設(shè)置在所述機(jī)體1內(nèi)，所述上噴淋機(jī)構(gòu)61設(shè)于所述下噴淋機(jī)構(gòu)62的上方，所述吸水機(jī)構(gòu)2設(shè)置在所述上噴淋機(jī)構(gòu)61和下噴淋機(jī)構(gòu)62之間。
抽真空效率測試
將本實(shí)用新型的蝕刻裝置與背景技術(shù)中的現(xiàn)有技術(shù)的包括射流器和水泵的蝕刻裝置分別進(jìn)行抽真空效率試驗(yàn)。
具體操作為為：在抽吸15℃空氣，排氣壓力為1013mbar的工況下，允差±10％，吸入空氣和環(huán)境溫度不超過25℃，進(jìn)行試驗(yàn)抽真空效率測試。測試結(jié)果如下表1所示。標(biāo)1為本實(shí)用新型的蝕刻裝置的風(fēng)機(jī)產(chǎn)生的真空與現(xiàn)有技術(shù)的蝕刻裝置的水泵產(chǎn)生的真空的數(shù)據(jù)對(duì)比表。
表1
根據(jù)表1，可明顯看出，在功率小于水泵功率的情況下，本實(shí)用新型的蝕刻裝置的風(fēng)機(jī)產(chǎn)生的真空壓力及空氣流量均大于現(xiàn)有技術(shù)的蝕刻裝置的水泵產(chǎn)生的真空壓力及空氣流量。經(jīng)等量計(jì)算，產(chǎn)生相同的抽真空效果下，風(fēng)機(jī)可比水泵節(jié)約45％的能量。
綜上所述，本實(shí)用新型提供的蝕刻裝置，通過風(fēng)機(jī)產(chǎn)生真空，無需使用水泵，不僅可節(jié)省能源，而且可顯著的提高抽真空效率，使得吸水機(jī)構(gòu)可及時(shí)地將工件上的藥水排出，不僅使蝕刻的均勻性大大提高，而且可提高整體的蝕刻速度。
以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等同變換，或直接或間接運(yùn)用在相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。