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      用于長波光通信的光電探測器的制作方法

      文檔序號(hào):12317322閱讀:來源:國知局
      技術(shù)總結(jié)
      本實(shí)用新型涉及一種用于長波光通信的光電探測器,其中,所述光電探測器包括:襯底層;依次層疊于所述襯底層的Ge緩沖層、GeSn緩沖層、GeSn/Ge多量子阱有源層和GeSn接觸層;位于所述GeSn接觸層和所述GeSn緩沖層上的氧化層;位于所述GeSn接觸層和所述GeSn緩沖層上的金屬電極;本實(shí)用新型提供的用于長波光通信的光電探測器測器克服了暗電流大,低于1800nm連續(xù)波段探測問題,高效,且能夠在GeSn量子阱中引入不同的應(yīng)變,調(diào)節(jié)量子阱的帶隙結(jié)構(gòu)以擴(kuò)展光電探測器的吸收波長范圍和吸收系數(shù)。

      技術(shù)研發(fā)人員:王穎
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:陜西學(xué)前師范學(xué)院
      文檔號(hào)碼:201720118749
      技術(shù)研發(fā)日:2017.02.10
      技術(shù)公布日:2017.10.27

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