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      一種用于提高光電轉(zhuǎn)換效率的單晶硅片的制作方法

      文檔序號:11449801閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種用于提高光電轉(zhuǎn)換效率的單晶硅片,包括單晶硅層(2)和二氧化碳鈍化層(1),其特征在于,所述單晶硅層(2)的下表面設(shè)有第二二氧化硅層(4),且二氧化碳鈍化層(1)設(shè)在第二二氧化硅層(4)的底面,所述單晶硅層(2)的上表面設(shè)有第一二氧化硅層(3),所述第一二氧化硅層(3)的上表面設(shè)有鎵晶體硅層(8),所述鎵晶體硅層(8)的上表面設(shè)有單晶硅絨面層(10)。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于提高光電轉(zhuǎn)換效率的單晶硅片,其特征在于,所述單晶硅絨面層(10)的上表面還粘接有氮化硅薄膜(5)。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于提高光電轉(zhuǎn)換效率的單晶硅片,其特征在于,所述單晶硅絨面層(10)的上表面還開設(shè)有交錯排列第一格柵槽(6)和第二格柵槽(9),且第一格柵槽(6)和第二格柵槽(9)的數(shù)量至少有十條,并以平行等距的方式進行排列。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于提高光電轉(zhuǎn)換效率的單晶硅片,其特征在于,所述單晶硅層(2)的外部設(shè)有橡膠層(7),且橡膠層(7)的頂端與鎵晶體硅層(8)處于水平直線上,橡膠層(7)的底端與二氧化碳鈍化層(1)處于同一水平直線上。

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