本實用新型涉及太陽電池濕制程生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域中的槽體蓋板結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種匹配鏈?zhǔn)綌U散的濕制程抽風(fēng)蓋板結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

太陽能電池片普遍使用濕法制絨、濕法刻蝕等工序，制絨通常用來去除損傷層和降低反射率，刻蝕工序用于腐蝕硅片側(cè)面邊緣PN結(jié)，防止邊緣導(dǎo)通漏電。濕制程槽體通常采用功能槽與水槽相鄰，功能槽與功能槽相間隔的方式排布，槽體上方采用槽蓋覆蓋防止氣體揮發(fā)入空氣中。

現(xiàn)在擴散技術(shù)有管式和鏈?zhǔn)絻煞N，其中鏈?zhǔn)綌U散對比管式擴散，即使去除硅片表面的PSG(磷硅玻璃)，PN結(jié)表面仍然有一層富磷層。鏈?zhǔn)綌U散形的PN結(jié)一般不能直接用于太陽能電池，需要利用刻蝕步驟進行方阻提升和邊緣隔離，匹配現(xiàn)在的行業(yè)內(nèi)普遍使用的高方阻工藝。

為了去除鏈?zhǔn)綌U散表面形成的較厚的PSG及富磷層，在不增加槽體長度的情況下，通常采用增加藥液濃度的方法來解決。但是藥液濃度的增加會導(dǎo)致藥液的揮發(fā)增強，在抽風(fēng)不好的情況下會引起藥品串槽、風(fēng)刀堵塞等異常，最終導(dǎo)致電性能降低、電池片色斑等不良情況。

濕制程蓋板通常只是采用增強抽風(fēng)的方法來防止以上情況，可是對需要采用氣象腐蝕的鏈?zhǔn)綌U散是不可取的，因為抽風(fēng)增強會導(dǎo)致道與道之間硅片氧化情況差異增大，方阻不均勻。

因此，亟待解決上述問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

實用新型目的：本實用新型的目的是提供一種氣流穩(wěn)定且可有效收集滴落的液滴的匹配鏈?zhǔn)綌U散的濕制程抽風(fēng)蓋板結(jié)構(gòu)。

技術(shù)方案：為實現(xiàn)以上目的，本實用新型所述的一種匹配鏈?zhǔn)綌U散的濕制程抽風(fēng)蓋板結(jié)構(gòu)，包括由頂板和四面?zhèn)劝褰M成的用于封閉槽體的箱型槽蓋，該箱型槽蓋的頂板上設(shè)有兩個與外部抽風(fēng)管道相連通的抽風(fēng)管接頭，該箱型槽蓋的內(nèi)腔中設(shè)有均布有若干個抽風(fēng)孔的勻流板，該勻流板與箱型槽蓋的頂板之間垂直設(shè)有冷凝板。該抽風(fēng)蓋板結(jié)構(gòu)利用冷凝板和勻流板提高抽風(fēng)效率，使箱型槽蓋下部氣流更加均勻；在冷凝板上形成的液滴可以順著冷凝板流下被有效的收集，降低了滴液導(dǎo)致的產(chǎn)品不良率。

其中，所述勻流板是由兩個相互連接且成一定角度傾斜設(shè)置的板片構(gòu)成的倒V型板。該勻流板與槽蓋內(nèi)壁為斜角連接結(jié)構(gòu)使得抽風(fēng)過程中湍流更小，氣流更加穩(wěn)定；同時勻流板指向功能槽與水槽的交界處，使得抽風(fēng)效率進一步得到提升，大大減低了槽蓋對氣流的影響，不會對氣流產(chǎn)生擾動，即可保障硅片表面氧化均勻。

優(yōu)選的，所述勻流板為一體折彎成型結(jié)構(gòu)。

再者，所述冷凝板位于倒V型勻流板的折線交界處。

進一步，所述冷凝板由便于抽取廢氣的抽氣區(qū)域和便于液滴滴落的冷凝區(qū)域構(gòu)成，所述抽氣區(qū)域為位于冷凝板上部靠近抽風(fēng)管接頭處且開設(shè)有若干個抽風(fēng)孔的弧形區(qū)域。該冷凝板上靠近抽風(fēng)管接頭處的弧形抽氣區(qū)域使得兩側(cè)氣流可均勻從抽風(fēng)管接頭處抽出，同時冷熱氣流在下部空間混合生成液滴時，液滴亦可以順著冷凝區(qū)域的板片流下，從而被有效收集。

其中，所述抽風(fēng)管接頭關(guān)于箱型槽蓋的橫向中心面對稱，且其中心線與箱型槽蓋的縱向中心面相重合。抽風(fēng)管接頭的空間合理分布位置可保障抽風(fēng)的氣流均勻，提高抽風(fēng)效率。

優(yōu)選的，相鄰的所述抽風(fēng)管接頭沿箱型槽蓋長度方向的間距為箱型槽蓋長度的 1/2～5/6。該抽風(fēng)口的距離設(shè)置合理，在保障整體箱型槽蓋結(jié)構(gòu)強度的基礎(chǔ)上，最大化增強了抽風(fēng)能力。

進一步，所述箱型槽蓋的側(cè)板上還設(shè)有便于冷凝液排出的導(dǎo)出口。本實用新型中抽到的廢氣將會在箱型槽蓋中被混合收集，低落的液滴也能被有效收集，不會低落在水槽，影響清洗效果，收集到的液滴可由導(dǎo)出口倒出。

有益效果：與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下優(yōu)點：首先該抽風(fēng)蓋板結(jié)構(gòu)利用勻流板實現(xiàn)從兩側(cè)功能槽均勻抽風(fēng)，有效避免串槽，還利用冷凝板和勻流板提高抽風(fēng)效率，使箱型槽蓋下部氣流更加均勻；在冷凝板上形成的液滴可以順著冷凝板流下被有效的收集，降低了滴液導(dǎo)致的產(chǎn)品不良率；其次該勻流板與槽蓋內(nèi)壁為斜角連接結(jié)構(gòu)使得抽風(fēng)過程中湍流更小，氣流更加穩(wěn)定；同時勻流板指向功能槽與水槽的交界處，使得抽風(fēng)效率進一步得到提升，大大減低了槽蓋對氣流的影響，不會對氣流產(chǎn)生擾動，即可保障硅片表面氧化均勻；再者該冷凝板上靠近抽風(fēng)管接頭處的弧形抽氣區(qū)域使得兩側(cè)氣流可均勻從抽風(fēng)管接頭處抽出，同時冷熱氣流在下部空間混合生成液滴時，液滴亦可以順著冷凝區(qū)域的板片流下，從而被有效收集；還有抽風(fēng)管接頭的空間合理分布位置可保障抽風(fēng)的氣流均勻，提高抽風(fēng)效率，且該抽風(fēng)口的距離設(shè)置合理，在保障整體箱型槽蓋結(jié)構(gòu)強度的基礎(chǔ)上，最大化增強了抽風(fēng)能力；最后該抽風(fēng)蓋板結(jié)構(gòu)與原機臺兼容性高，更換簡易、結(jié)構(gòu)簡單，更耐用，有效防止鏈?zhǔn)綌U散藥液濃度高引起的藥品串槽、風(fēng)刀堵塞等異常，避免異常導(dǎo)致電性能降低、電池片色斑等不良情況，同時降低由于抽風(fēng)過大引起的不同生產(chǎn)軌道間硅片的差異，使生產(chǎn)出的電池片電性能擁有較高的集中度，提高良率及可出貨比例。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型的側(cè)視圖；

圖3為本實用新型中勻流板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實用新型中冷凝板的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型的技術(shù)方案作進一步說明。

如圖1和圖2所示，本實施新型一種匹配鏈?zhǔn)綌U散的濕制程抽風(fēng)蓋板結(jié)構(gòu)，包括由頂板和四面?zhèn)劝褰M成的用于封閉槽體的箱型槽蓋1，該箱型槽蓋1的頂板上設(shè)有兩個與外部抽風(fēng)管道相連通的抽風(fēng)管接頭2，本實用新型中硅片經(jīng)由箱型槽1下方經(jīng)過，其行進方向垂直于兩抽風(fēng)接頭連線方向。該箱型槽蓋1沿長度方向的縱向中心截面定義為縱向中心面，其沿寬度方向的橫向中心截面定義為橫向中心面，且上述兩個抽風(fēng)管接頭2 關(guān)于箱型槽蓋1的橫向中心面對稱，且與箱型槽蓋1的縱向中心面相重合。兩個抽風(fēng)管接頭2沿箱型槽蓋1長度方向的間距為箱型槽蓋長度的1/2～5/6。上述抽風(fēng)管接頭的空間合理分布位置可保障抽風(fēng)的氣流均勻，提高抽風(fēng)效率，且該抽風(fēng)口的距離設(shè)置合理，在保障整體箱型槽蓋結(jié)構(gòu)強度的基礎(chǔ)上，最大化增強了抽風(fēng)能力。

如圖1和圖3所示，箱型槽蓋的內(nèi)腔中設(shè)有均布有若干個抽風(fēng)孔3的勻流板4，該勻流板4與箱型槽蓋的頂板之間垂直設(shè)有冷凝板5。該抽風(fēng)蓋板結(jié)構(gòu)利用勻流板實現(xiàn)從兩側(cè)功能槽均勻抽風(fēng)，有效避免串槽，還利用冷凝板和勻流板提高抽風(fēng)效率，使箱型槽蓋下部氣流更加均勻；在冷凝板上形成的液滴可以順著冷凝板流下被有效的收集，降低了滴液導(dǎo)致的產(chǎn)品不良率。

其中，勻流板4是由兩個相互連接且成一定角度傾斜設(shè)置的板片構(gòu)成的倒V型板。且該述勻流板4為一體折彎成型結(jié)構(gòu)。該勻流板與槽蓋內(nèi)壁為斜角連接結(jié)構(gòu)使得抽風(fēng)過程中湍流更小，氣流更加穩(wěn)定；同時勻流板指向功能槽與水槽的交界處，使得抽風(fēng)效率進一步得到提升，大大減低了槽蓋對氣流的影響，不會對氣流產(chǎn)生擾動，即可保障硅片表面氧化均勻。

如圖1和圖4所示，冷凝板5位于倒V型勻流板4的折線交界處。同時冷凝板5 由便于抽取廢氣的抽氣區(qū)域和便于液滴滴落的冷凝區(qū)域構(gòu)成，所述抽氣區(qū)域為位于冷凝板上部靠近抽風(fēng)管接頭2處且開設(shè)有若干個抽風(fēng)孔3的弧形區(qū)域。該冷凝板上靠近抽風(fēng)管接頭處的弧形抽氣區(qū)域使得兩側(cè)氣流可均勻從抽風(fēng)管接頭處抽出，同時冷熱氣流在下部空間混合生成液滴時，液滴亦可以順著冷凝區(qū)域的板片流下，從而被有效收集。

如圖2所示，箱型槽蓋1的側(cè)板上還設(shè)有便于冷凝液排出的導(dǎo)出口6。本實用新型中抽到的廢氣將會在箱型槽蓋中被混合收集，低落的液滴也能被有效收集，不會低落在水槽，影響清洗效果，收集到的液滴可由導(dǎo)出口倒出。

該抽風(fēng)蓋板結(jié)構(gòu)與原機臺兼容性高，更換簡易、結(jié)構(gòu)簡單，更耐用，有效防止鏈?zhǔn)綌U散藥液濃度高引起的藥品串槽、風(fēng)刀堵塞等異常，避免異常導(dǎo)致電性能降低、電池片色斑等不良情況，同時降低由于抽風(fēng)過大引起的不同生產(chǎn)軌道間硅片的差異，使生產(chǎn)出的電池片電性能擁有較高的集中度，提高良率及可出貨比例。