本實用新型是與搬運設(shè)備有關(guān)，特別是指一種多搬運系統(tǒng)的搬運設(shè)備。

背景技術(shù)：

目前無論是面板、晶圓或各種半導(dǎo)體都可分成多個制程埠，各制程埠分別對被加工物(玻璃及晶圓等)進(jìn)行對應(yīng)的加工，但在各制程埠之間往往需藉由搬運手臂將被加工物搬運至裝載埠，以將被加工物置入裝載埠的匣盒內(nèi)，然后再由搬運設(shè)備將匣盒搬運至下一制程埠來進(jìn)行下一次加工。

這種搬運方式通常需要兩套不同功能的搬運設(shè)備，一種是搬運被加工物，另一種是搬運匣盒，因此兩套不同功能的搬運設(shè)備需要較大的裝設(shè)空間。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

有鑒于上述缺失，本實用新型的目的在于提供一種具有多搬運系統(tǒng)的搬運設(shè)備，以減少設(shè)備數(shù)量及縮小運作所需的空間與面積。

為達(dá)成上述目的，本實用新型的搬運設(shè)備包括一搬運裝置、一轉(zhuǎn)向裝置即一水平移動裝置。轉(zhuǎn)向裝置連接搬運裝置及水平移動裝置。搬運裝置包括一框架、一升降系統(tǒng)、一第一搬運系統(tǒng)及一第二搬運系統(tǒng)。升降系統(tǒng)連接框架，且具有一升降臺。升降臺有兩相對面。第一搬運系統(tǒng)及第二搬運系統(tǒng)連接該升降臺，且分別位在兩相對面。第一搬運系統(tǒng)有兩搬運手臂。

上述的搬運設(shè)備的一實施例中，該升降臺的兩相對面分別是一頂面及一底面，該第一搬運系統(tǒng)位在該頂面，該第二搬運系統(tǒng)位在該底面。

上述的搬運設(shè)備的一實施例中，該兩搬運手臂的承載面是上下間隔排列，且保持一間隔。

上述的搬運設(shè)備的一實施例中，該升降系統(tǒng)還包括至少一傳動裝置，該升降臺連接該傳動裝置。

上述的搬運設(shè)備的一實施例中，該轉(zhuǎn)向裝置包括一馬達(dá)。如此，本實用新型的搬運設(shè)備可藉由第一搬運系統(tǒng)來搬運匣盒，及藉由第二搬運系統(tǒng)來搬運匣盒內(nèi)的被加工物，以減少搬運設(shè)備裝機(jī)及運作所需的空間。再者，第二搬運系統(tǒng)有兩搬運手臂，因此，可提高被加工物的轉(zhuǎn)換效率。

以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型進(jìn)行詳細(xì)描述，但不作為對本實用新型的限定。

附圖說明

圖1是本實用新型的搬運設(shè)備的實施例的示意圖。

圖2是圖1中搬運設(shè)備水平旋轉(zhuǎn)的示意圖。

圖3是本實用新型的搬運設(shè)備的局部剖視的示意圖。

圖4是本實用新型的搬運設(shè)備的搬運裝置的第一搬運系統(tǒng)伸出升降臺，且承載匣盒的示意圖。

圖5是本實用新型的搬運設(shè)備的搬運裝置的第二搬運系統(tǒng)的其中一搬運手臂伸出升降臺的示意圖。

圖6是本實用新型的搬運設(shè)備、裝載埠及制程埠配置及運作的示意圖。

其中，附圖標(biāo)記

10搬運設(shè)備 11搬運裝置

111框架 113升降系統(tǒng)

1131升降臺 1131a頂面

1131b底面 1133傳動裝置

115第一搬運系統(tǒng) 1151第一搬運手臂

117第二搬運系統(tǒng) 1171、1173第二搬運手臂

13轉(zhuǎn)向裝置 131馬達(dá)

15水平移動裝置 30路徑

50裝載埠 51匣盒

70制程埠 71基板

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)的描述，以更進(jìn)一步了解本實用新型的目的、方案及功效，但并非作為本實用新型所附權(quán)利要求保護(hù)范圍的限制。

如圖1及圖2所示，本實用新型的搬運設(shè)備10包括一搬運裝置11、一轉(zhuǎn)向裝置13及一水平移動裝置15。轉(zhuǎn)向裝置13連接搬運裝置10及水平移動裝置15。其中，搬運裝置11藉由轉(zhuǎn)向裝置13水平旋轉(zhuǎn)，水平移動裝置15可沿一路徑30水平移動，本實施例中，路徑30是軌道，但實際上，路徑30不以軌道為限。水平移動裝置15的動力已為業(yè)界周知，于此不贅述。

如圖3所示，搬運裝置11包括一框架111、一升降系統(tǒng)113、一第一搬運系統(tǒng)115及一第二搬運系統(tǒng)117。升降系統(tǒng)113連接框架111，且有一升降臺1131，升降臺1131在框架111內(nèi)向上及向下移動。第一搬運系統(tǒng)115連接升降臺1131，且位在升降臺1131的一頂面1131a。第二搬運系統(tǒng)117連接升降臺1131，且位在升降臺1131的一底面1131b。

雖然本實施例中，第一搬運系統(tǒng)115及第二搬運系統(tǒng)117分別位在頂面1131a及底面1131b，但實際上，第一搬運系統(tǒng)115也可以配置在底面1131a，第二搬運系統(tǒng)117也可以配置在頂面1131b，因此，第一搬運系統(tǒng)115及第二搬運系統(tǒng)117的配置是限制在升降臺1131的兩相對面，而不以本實施例所述為限。

第二搬運系統(tǒng)117具有兩第二搬運手臂1171、1173，兩第二搬運手臂1171、1173的承載面是上下間隔排列，且保持一間隔，承載面用以承載基板。如此，第二搬運手臂1173承載基板，且可避免基板擦撞第二搬運手臂1171。換言之，兩第二搬運手臂1171、1173可加速基板的搬運，來提高基板轉(zhuǎn)換效率。此外，第二搬運系統(tǒng)117也可以有更多搬運手臂，例如三個或三個以上，這也仍是本實用新型的保護(hù)范圍。

升降系統(tǒng)113還包括兩傳動裝置1133，升降臺1131連接兩傳動裝置1133，且隨兩傳動裝置1133運轉(zhuǎn)而上升及下降。傳動裝置1133用以提供線性移動，傳動裝置的組成例如滾珠螺桿、齒輪、齒條及電動缸等，這些組成及其他替代的組成方案都是本實用新型所述的傳動裝置，本實用新型主要提供線性移動是藉由滾珠螺桿。本實施例中選用兩傳動裝置1133，但實際上，也可以只采用一傳動裝置1133，因此，傳動裝置1133的數(shù)量不以本實施例所述為限。

請續(xù)參照圖3，前述轉(zhuǎn)向裝置13包括一馬達(dá)131，馬達(dá)131帶動搬運裝置11水平旋轉(zhuǎn)。

如圖4及圖5所示，第一搬運系統(tǒng)115具有一第一搬運手臂1151，第一搬運手臂1151可伸出升降臺1131外及退回升降臺1131內(nèi)。兩第二搬運手臂1171、1173分別可伸出升降臺1131外及退回升降臺1131內(nèi)。

其中，升降臺1131內(nèi)是升降臺1131邊緣所形成的范圍。

如圖6所示，本實用新型的搬運設(shè)備10通常設(shè)置在裝載埠50及制程埠70之間，以搬運匣盒(cassette)51及轉(zhuǎn)運基板71。其中，匣盒51是位在裝載埠50，且通常有多個，每一匣盒51有多個存放基板71的位置，匣盒51的結(jié)構(gòu)已為業(yè)界所周知，于此不作贅述?；?1則在制程埠70進(jìn)行各種制程加工，例如曝光、測試及蝕刻等?；?1在制程埠70進(jìn)行的制程是隨著不同產(chǎn)品而提供對應(yīng)的制程，且各基板71對應(yīng)的制程已為業(yè)界所周知，且未來不同新穎制程仍適用本實用新型的搬運設(shè)備，因此，不再贅述各制程。

搬運設(shè)備的第二搬運系統(tǒng)117可分別從裝載埠50的匣盒51內(nèi)取出基板71，并搬運至制程埠70以進(jìn)行相關(guān)制程加工。相同地，第二搬運系統(tǒng)117也可從制程埠70搬運已加工完成的基板71，并轉(zhuǎn)送至裝載埠50的匣盒51，而將加工完成的基板71放入匣盒51。

最后，搬運設(shè)備10可藉由第一搬運系統(tǒng)115從裝載埠50搬運匣盒51，并藉由水平移動裝置沿著路徑30移動至轉(zhuǎn)運埠90以供下一道制程的搬運設(shè)備10搬運匣盒51，或者直接搬運置下一道制程的裝載埠50。

其中，本實用新型的搬運設(shè)備的轉(zhuǎn)向裝置可適時地讓搬運裝置旋轉(zhuǎn)，以便進(jìn)行下一次轉(zhuǎn)運匣盒及基板的作業(yè)。

如此，本實用新型的搬運設(shè)備不僅可減少設(shè)備數(shù)量，還可減少搬運設(shè)備裝設(shè)所需的空間。雖然本實施例中，搬運設(shè)備以搬運匣盒及基板為例，但實務(wù)中，搬運設(shè)備也可以搬運其他物品，因此，搬運的項目不以本實施例所述為限。

當(dāng)然，本實用新型還可有其它多種實施例，在不背離本實用新型精神及其實質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員當(dāng)可根據(jù)本實用新型作出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本實用新型所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。