技術(shù)總結(jié)
本實用新型涉及一種可調(diào)節(jié)式晶圓自中心定位裝置，包括圓盤底座，圓盤底座的上表面均勻布設(shè)有兩組以上的圓柱支撐塊，每組的圓柱支撐塊為兩個，圓盤底座的外緣均勻布設(shè)有兩個以上的加強筋，圓柱支撐塊上固定連接有導(dǎo)軌，所述加強筋的上平面連接導(dǎo)軌的下底面，導(dǎo)軌上部的兩側(cè)面上均標(biāo)注有刻度；導(dǎo)軌的上部滑動式連接有移動滑塊，移動滑塊的底部開設(shè)有與導(dǎo)軌的上部相匹配的等腰梯形滑槽，移動滑塊的前端固定連接有連桿，所述連桿的一端固定連接有定位元件，定位元件的下部開設(shè)有凹槽。本實用新型可以滿足不同直徑晶圓的傳輸，降低了操作人員勞動強度。

技術(shù)研發(fā)人員：楊樂;陳魯;劉濤;馬硯忠;黃有為;張鵬斌;龐芝亮
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳中科飛測科技有限公司
文檔號碼：201720185122
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.28
技術(shù)公布日：2017.09.29