本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓搬送機(jī)的晶圓卡匣裝置。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體晶圓由于需經(jīng)過(guò)各種不同流程的處理且需配合工藝設(shè)備，因此會(huì)被搬運(yùn)到不同的工作站。為了方便晶圓的搬運(yùn)且避免受到外力碰撞，會(huì)將多個(gè)晶圓收納于晶圓暫存卡匣中。

一般來(lái)說(shuō)，晶圓暫存卡匣內(nèi)設(shè)置有逐層排列的多個(gè)插槽可水平容置多個(gè)晶圓，且其一側(cè)面具有一開(kāi)口可供晶圓的載出及載入。再者，于開(kāi)口處亦設(shè)置有可防止晶圓于搬運(yùn)時(shí)滑出的止擋構(gòu)件。然而，當(dāng)將存放晶圓的晶圓暫存卡匣搬運(yùn)至下一工作站時(shí)，作業(yè)人員常會(huì)忘記解除止擋構(gòu)件對(duì)晶圓的限位，而導(dǎo)致機(jī)械手臂強(qiáng)行從開(kāi)口將晶圓取出，造成晶圓撞擊止擋構(gòu)件而破裂及損壞。此外，晶圓暫存卡匣的插槽間距大于晶圓厚度，且晶圓暫存卡匣的容置空間會(huì)大于晶圓面積，因此晶圓于搬運(yùn)過(guò)程中仍會(huì)在晶圓暫存卡匣內(nèi)晃動(dòng)，而與晶圓暫存卡匣相互碰撞，此也會(huì)造成晶圓的破裂及損壞。因此，如何有效降低作業(yè)人員誤動(dòng)作的機(jī)會(huì)及降低搬運(yùn)過(guò)程中晶圓暫存卡匣與晶圓間相互碰撞的機(jī)率是業(yè)界亟欲解決的課題之一。

而，現(xiàn)在針對(duì)全自動(dòng)晶圓搬送機(jī)的卡匣放置需要一個(gè)穩(wěn)定且快捷安裝的卡匣裝置來(lái)配合。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種晶圓搬送機(jī)的晶圓卡匣裝置。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是：一種晶圓搬送機(jī)的晶圓卡匣裝置，其特征在于：所述晶圓卡匣裝置包括用于放置晶圓的卡匣載臺(tái)、用于控制卡匣載臺(tái)升降的升降軸傳動(dòng)裝置和用于安裝升降軸傳動(dòng)裝置的升降軸固定座，其中：

所述升降軸傳動(dòng)裝置包括用于提供卡匣載臺(tái)升降的滑行導(dǎo)軌、用于控制卡匣載臺(tái)升降的絲桿和用于控制絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)的伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)的主軸和絲桿一端均設(shè)有相同的同步皮帶輪，并通過(guò)同步帶連接；

升降軸固定座背面安裝有伺服電機(jī)安裝板，升降軸固定座正面設(shè)有用于固定滑行導(dǎo)軌的安裝孔、滑行道軌的限位塊和絲桿安裝座，升降軸側(cè)面分別設(shè)有延伸支架，延伸支架上分別設(shè)有光纖傳感器；

進(jìn)一步的，所述卡匣載臺(tái)分為卡匣工作面和卡匣安裝面，所述卡匣工作面設(shè)有針對(duì)卡匣的安裝槽位，所述卡匣安裝面設(shè)有與滑行道軌匹配的導(dǎo)軌座。

進(jìn)一步的，所述升降軸固定座截面為“L”型，底部設(shè)有用于將卡匣裝置固定在晶圓搬送機(jī)上的螺栓孔。

進(jìn)一步的，所述卡匣載臺(tái)呈“L”型，所述導(dǎo)軌座通過(guò)螺栓固定在卡匣安裝面上。

進(jìn)一步的，所述卡匣工作面上分別設(shè)有用于檢測(cè)卡匣存放位置的光電檢知傳感器和用于檢測(cè)卡匣存放的光電點(diǎn)位感應(yīng)傳感器。

進(jìn)一步的，所述光纖傳感器用于確定晶圓的存放數(shù)量及相對(duì)應(yīng)的存放 層數(shù)位置。

進(jìn)一步的，所述升降軸固定座正面還設(shè)有用于限定卡匣載臺(tái)Z軸極限行程的位置傳感器。

最后，所述絲桿上下兩端設(shè)有用于限定卡匣載臺(tái)Z軸物理極限行程的限位塊。

由上述對(duì)本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)的描述可知，和現(xiàn)有技術(shù)相比，本設(shè)計(jì)中，伺服電機(jī)、光纖傳感器、位置傳感器、光電檢知傳感器和光電點(diǎn)位感應(yīng)傳感器為現(xiàn)有市場(chǎng)中的國(guó)標(biāo)組件，本實(shí)用新型具有如下優(yōu)點(diǎn)：

1、本實(shí)用新型采用伺服電機(jī)、絲桿和同步帶來(lái)聯(lián)動(dòng)，保證了卡匣在Z軸上升和下降過(guò)程中的穩(wěn)定性，能較大程度的確保其Z軸方向上的穩(wěn)定性，為機(jī)械手對(duì)晶圓的提取和存放保證了機(jī)械手的動(dòng)作間隙精度。

2、本實(shí)用新型通過(guò)光纖傳感器來(lái)對(duì)卡匣內(nèi)的晶圓進(jìn)行存放的精確層數(shù)和存放數(shù)量進(jìn)行檢測(cè)、掃描，并反饋到電腦數(shù)據(jù)平臺(tái)中，能從不同方面來(lái)進(jìn)行對(duì)晶圓提取和存放的操作。

3、本實(shí)用新型卡匣工作面上的光電檢知傳感器和光電點(diǎn)位傳感器是針對(duì)是否存放卡匣、卡匣位置是否精確的保證，以防止在提取和存放晶圓的過(guò)程中對(duì)晶圓造成損壞。

4、本實(shí)用新型通過(guò)采用伺服電機(jī)、光纖傳感器、位置傳感器、光電檢知傳感器和光電點(diǎn)位感應(yīng)傳感器為現(xiàn)有市場(chǎng)中的國(guó)標(biāo)組件，能保證其組件的穩(wěn)定性，使得本裝置使用穩(wěn)定，使用壽命長(zhǎng)。

附圖說(shuō)明

構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1為本實(shí)用新型一種晶圓搬送機(jī)的晶圓卡匣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型一種晶圓搬送機(jī)的晶圓卡匣裝置的錯(cuò)位結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型一種晶圓搬送機(jī)的晶圓卡匣裝置的左視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型一種晶圓搬送機(jī)的晶圓卡匣裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實(shí)用新型一種晶圓搬送機(jī)的晶圓卡匣裝置的同步帶結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。

實(shí)施例

參考圖1、圖2、圖3、圖4和圖5，一種晶圓搬送機(jī)的晶圓卡匣裝置，晶圓卡匣裝置包括用于放置晶圓的卡匣載臺(tái)1、用于控制卡匣載臺(tái)升降的升降軸傳動(dòng)裝置2和用于安裝升降軸傳動(dòng)裝置的升降軸固定座3，其中：

升降軸傳動(dòng)裝置2包括用于提供卡匣載臺(tái)升降的滑行導(dǎo)軌4、用于控制卡匣載臺(tái)升降的絲桿5和用于控制絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)的伺服電機(jī)，伺服電機(jī)的主軸和絲桿一端均設(shè)有相同的同步皮帶輪6，并通過(guò)同步帶7連接；

升降軸固定座3背面安裝有伺服電機(jī)安裝板20，升降軸固定座正面設(shè)有用于固定滑行導(dǎo)軌4的安裝孔、滑行道軌的限位塊8和絲桿安裝座9，升降軸側(cè)面分別設(shè)有延伸支架10，延伸支架上分別設(shè)有光纖傳感器11；

卡匣載臺(tái)1分為卡匣工作面19和卡匣安裝面12，卡匣工作面設(shè)有針對(duì)卡匣的安裝槽位13，卡匣安裝面設(shè)有與滑行道軌匹配的導(dǎo)軌座14。

升降軸固定座3截面為“L”型，底部設(shè)有用于將卡匣裝置固定在晶圓搬送機(jī)上的螺栓孔。

卡匣載臺(tái)1呈“L”型，導(dǎo)軌座14通過(guò)螺栓固定在卡匣安裝面12上。

卡匣工作面19上分別設(shè)有用于檢測(cè)卡匣存放位置的光電檢知傳感器15和用于檢測(cè)卡匣存放的光電點(diǎn)位感應(yīng)傳感器16。

光纖傳感器11用于確定晶圓的存放數(shù)量及相對(duì)應(yīng)的存放層數(shù)位置。

升降軸固定座3正面還設(shè)有用于限定卡匣載臺(tái)Z軸極限行程的位置傳感器17。

絲桿5上下兩端設(shè)有用于限定卡匣載臺(tái)Z軸物理極限行程的限位塊18。

其中伺服電機(jī)、光纖傳感器、位置傳感器、光電檢知傳感器和光電點(diǎn)位感應(yīng)傳感器為現(xiàn)有市場(chǎng)中的國(guó)標(biāo)組件，伺服電機(jī)的功率依據(jù)搬送機(jī)選取。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。