本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，具體地，涉及一種電極引入裝置和半導(dǎo)體加工設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、太陽能電池發(fā)電是解決能源問題和環(huán)境問題的一個重要途徑。現(xiàn)在大多數(shù)的太陽能電池是由晶體硅材料做成的，而鍍膜是制造高效硅電池片的重要步驟之一，通常采用的方法是采用板式或管式等離子體增強化學(xué)氣相沉積(plasma?enhanced?chemical?vapordeposition，簡稱pecvd)設(shè)備鍍氮化硅。

2、相關(guān)技術(shù)中，pecvd設(shè)備包括工藝腔體和設(shè)置在工藝腔體中的承載裝置，該承載裝置用于承載至少一個載片舟(即石墨舟)，載片舟包括依次排列的多個舟片，且各相鄰兩個舟片之間具有一定的間隔，各相鄰兩個舟片在該間隔兩側(cè)承載有晶片(例如硅片)。載片舟的底部具有四個舟腳，載片舟的兩側(cè)均具有電連接結(jié)構(gòu)，多個舟片劃分為兩組舟片組，且各相鄰兩個舟片位于不同的舟片組，該電連接結(jié)構(gòu)用于將各組舟片組中的舟片電導(dǎo)通。四個舟腳與上述電連接結(jié)構(gòu)電導(dǎo)通，并且在載片舟被放置于承載裝置上時，四個舟腳會與工藝腔體中的電極引入結(jié)構(gòu)電接觸，該電極引入結(jié)構(gòu)用于將射頻電源的正極和負極，依次通過四個舟腳和電連接結(jié)構(gòu)分別與兩組舟片組電導(dǎo)通，以實現(xiàn)各相鄰的兩個舟片的極性相反。在進行工藝時，射頻電源向載片舟的各相鄰舟片之間加載射頻電場，使反應(yīng)氣體(例如包括sih4和nh3)發(fā)生輝光放電，分解形成si和n的離子，并相結(jié)合形成sinx分子，沉積在硅片表面，形成薄膜。

3、現(xiàn)有技術(shù)中，上述電極引入結(jié)構(gòu)是采用從工藝腔體的爐門處引入兩個傳輸桿至工藝腔體中，每個傳輸桿通過電極塊與載片舟的相應(yīng)舟腳電接觸。但是，由于電極塊是箍緊在傳輸桿上，在使用過程中很容易相對于傳輸桿轉(zhuǎn)動，導(dǎo)致電極塊產(chǎn)生角度偏轉(zhuǎn)，這使得在載片舟的舟腳放置于電極塊上之后，在電極塊與舟腳的接觸位置存在間隙，該間隙的存在還會在工藝過程中在電極塊暴露的表面生成一層氮化硅薄膜，造成射頻傳輸異常，導(dǎo)致載片舟無法正常進行工藝，從而造成電極引入結(jié)構(gòu)的可靠性和穩(wěn)定性較低。而且，發(fā)生射頻傳輸異常還需要降溫停機維護，嚴重影響生產(chǎn)節(jié)奏。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提出了一種電極引入裝置和半導(dǎo)體加工設(shè)備，其可以解決現(xiàn)有技術(shù)中因電極塊產(chǎn)生角度偏轉(zhuǎn)而引起的在電極塊與舟腳的接觸位置存在間隙的問題。

2、為實現(xiàn)本發(fā)明的目的而提供一種電極引入裝置，應(yīng)用于半導(dǎo)體加工設(shè)備，包括第一電極組件和第二電極組件；所述第一電極組件和第二電極組件均包括導(dǎo)電支撐件和電極連接件，其中，所述導(dǎo)電支撐件用于可相對轉(zhuǎn)動的套設(shè)于所述半導(dǎo)體加工設(shè)備的工藝腔體內(nèi)的用于承載載片舟的支撐柱上，且具有用于支撐并電接觸所述載片舟對應(yīng)的舟腳的支撐面；在所述載片舟對應(yīng)的所述舟腳置于所述支撐面時，所述導(dǎo)電支撐件能夠自適應(yīng)性地轉(zhuǎn)動，以使所述支撐面與所述舟腳相貼合；

3、所述電極連接件設(shè)置于所述工藝腔體中，且所述電極連接件的一端用于與射頻電源的正極或負極電連接，所述電極連接件的另一端與所述導(dǎo)電支撐件電導(dǎo)通，且接觸配合，用以將所述導(dǎo)電支撐件限制在預(yù)設(shè)角度范圍內(nèi)。

4、在一些實施例中，所述導(dǎo)電支撐件包括環(huán)形支撐件和第一絕緣支撐套，其中，所述環(huán)形支撐件套設(shè)于所述第一絕緣支撐套上；所述第一絕緣支撐套套設(shè)于所述支撐柱上；

5、所述環(huán)形支撐件、所述第一絕緣支撐套和所述支撐柱中的至少兩者能夠相對轉(zhuǎn)動。

6、在一些實施例中，所述環(huán)形支撐件與所述第一絕緣支撐套相對固定，且所述第一絕緣支撐套與所述支撐柱相對轉(zhuǎn)動。

7、在一些實施例中，所述導(dǎo)電支撐件還包括軸向限位件，所述軸向限位件設(shè)置于所述第一絕緣支撐套和/或所述支撐柱，用于限制所述第一絕緣支撐套沿所述支撐柱的軸向的位置。

8、在一些實施例中，所述軸向限位件包括設(shè)置于所述支撐柱的外周壁，且位于所述第一絕緣支撐套沿所述支撐柱的軸向的兩側(cè)的多個定位凸起。

9、在一些實施例中，所述電極連接件包括電極絕緣套和導(dǎo)電線纜，其中，所述電極絕緣套的一端固定于所述工藝腔體，所述電極絕緣套的另一端與所述導(dǎo)電支撐件接觸配合；

10、所述導(dǎo)電線纜穿設(shè)于所述電極絕緣套中，且所述導(dǎo)電線纜的一端用于與所述射頻電源的正極或負極電連接，另一端與所述導(dǎo)電支撐件電連接。

11、在一些實施例中，所述電極絕緣套包括多段絕緣套段，多段所述絕緣套段依次插接。

12、在一些實施例中，每個所述絕緣套段均包括第一子柱狀套段和設(shè)置于所述第一子柱狀套段一端的第二子柱狀套段；

13、各相鄰的兩段所述絕緣套段中，其中一段絕緣套段的所述第一子柱狀套段插設(shè)于另一段絕緣套段的所述第二子柱狀套段中。

14、在一些實施例中，所述導(dǎo)電支撐件包括上導(dǎo)電分體和下導(dǎo)電分體，所述上導(dǎo)電分體和下導(dǎo)電分體對接構(gòu)成環(huán)體；

15、所述上導(dǎo)電分體具有所述支撐面；所述上導(dǎo)電分體和下導(dǎo)電分體可拆卸地連接。

16、在一些實施例中，所述上導(dǎo)電分體或者下導(dǎo)電分體設(shè)置有第一連接部，所述第一連接部上設(shè)置有通孔；所述導(dǎo)電線纜的另一端設(shè)置有具有外螺紋的第二連接部，所述第二連接部穿過所述通孔，并與一螺母螺紋配合；所述螺母與所述第一連接部電接觸。

17、作為另一個技術(shù)方案，本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，包括工藝腔體，在所述工藝腔體中設(shè)置有在水平方向上相對設(shè)置的兩個支撐柱，用于共同承載至少一個載片舟，還包括本發(fā)明提供的上述電極引入裝置，所述第一電極組件和所述第二電極組件中的所述導(dǎo)電支撐件分別可相對轉(zhuǎn)動的套設(shè)于兩個所述支撐柱上。

18、在一些實施例中，所述電極連接件至少部分由所述工藝腔體支撐。

19、在一些實施例中，所述載片舟具有導(dǎo)電的第一前舟腳、導(dǎo)電的第一后舟腳、絕緣的第二前舟腳和絕緣的第二后舟腳；

20、兩個所述支撐柱分別為第一支撐柱和第二支撐柱，其中，所述第一電極組件中的所述導(dǎo)電支撐件可相對轉(zhuǎn)動的套設(shè)于所述第一支撐柱，用于支撐并電接觸所述第一前舟腳；所述第二電極組件中的所述導(dǎo)電支撐件可相對轉(zhuǎn)動的套設(shè)于所述第二支撐柱，用于支撐并電接觸所述第一后舟腳；

21、所述第一支撐柱和所述第二支撐柱上均還套設(shè)有第二絕緣支撐套，所述第一支撐柱上的所述第二絕緣支撐套用于支撐所述第二后舟腳；所述第二支撐柱上的所述第二絕緣支撐套用于支撐所述第二前舟腳。

22、在一些實施例中，所述第一絕緣支撐套的厚度小于所述第二絕緣支撐套的厚度，以使所述導(dǎo)電支撐件與舟腳的接觸位置的高度平齊于所述第二絕緣支撐套與舟腳的接觸位置的高度。

23、本發(fā)明具有以下有益效果：

24、本發(fā)明提供的電極引入裝置，其第一電極組件和第二電極組件均包括導(dǎo)電支撐件和電極連接件，其中，通過使導(dǎo)電支撐件可相對轉(zhuǎn)動的套設(shè)于工藝腔體內(nèi)的用于承載載片舟的支撐柱上，在載片舟對應(yīng)的舟腳置于導(dǎo)電支撐件的支撐面時，導(dǎo)電支撐件能夠在載片舟的重力作用下自適應(yīng)性地轉(zhuǎn)動，以使支撐面與舟腳相貼合。在此基礎(chǔ)上，結(jié)合使用用于實現(xiàn)射頻引入的電極連接件，并且通過使電極連接件與導(dǎo)電支撐件接觸配合，可以將導(dǎo)電支撐件限制在預(yù)設(shè)角度范圍內(nèi)，從而可以對導(dǎo)電支撐件的角度進行預(yù)定位，保證使載片舟的舟腳能夠順利接觸到支撐面。本發(fā)明提供的電極引入裝置可以避免現(xiàn)有技術(shù)中因電極塊產(chǎn)生角度偏轉(zhuǎn)而引起的在電極塊與舟腳的接觸位置存在間隙的問題，從而不僅可以提高電極引入裝置的可靠性和穩(wěn)定性，而且還可以減少降溫停機維護的頻率，提高產(chǎn)能。

25、本發(fā)明提供的半導(dǎo)體加工設(shè)備，其通過采用本發(fā)明提供的上述電極引入裝置，不僅可以提高電極引入裝置的可靠性和穩(wěn)定性，而且還可以減少降溫停機維護的頻率，提高產(chǎn)能。