1.一種基于ld泵浦翠綠寶石晶體的高重頻193nm激光器，其特征在于，包括：ld泵浦源、翠綠寶石激光振蕩器和非線性頻率變換模塊；
2.如權(quán)利要求1所述的基于ld泵浦翠綠寶石晶體的高重頻193nm激光器，其特征在于，所述非線性頻率變換模塊包括沿光路設(shè)置的倍頻非線性晶體、三倍頻非線性晶體、四倍頻非線性晶體及分光棱鏡。
3.如權(quán)利要求1所述的基于ld泵浦翠綠寶石晶體的高重頻193nm激光器，其特征在于，所述ld泵浦源輸出的激光依次經(jīng)過準(zhǔn)直透鏡和聚焦透鏡打在翠綠寶石晶體上。
4.如權(quán)利要求1所述的基于ld泵浦翠綠寶石晶體的高重頻193nm激光器，其特征在于，所述翠綠寶石晶體的切割方式為沿晶體c軸切割和布儒斯特角切割中的一種，鉻離子摻雜濃度為0.2-0.22at.％，晶體端面鍍有對(duì)6xxnm、700nm-800nm波段增透膜。
5.一種基于ld泵浦翠綠寶石晶體的高重頻193nm激光器，其特征在于，包括：ld泵浦源、翠綠寶石再生放大器和非線性頻率變換模塊；
6.如權(quán)利要求5所述的基于ld泵浦翠綠寶石晶體的高重頻193nm激光器，其特征在于，所述諧振腔還包括第二反射鏡、第二雙色鏡、第三反射鏡、第四反射鏡、第五反射鏡、第六反射鏡和第二四分之一波片；
7.如權(quán)利要求6所述的基于ld泵浦翠綠寶石晶體的高重頻193nm激光器，其特征在于，第二雙色鏡為平面鏡，對(duì)638nm激光高透，透過率大于95％，對(duì)700nm-800nm激光高反，反射率大于99.9％；
8.如權(quán)利要求5所述的基于ld泵浦翠綠寶石晶體的高重頻193nm激光器，其特征在于，第一薄膜偏振片消光比大于500:1，以與腔內(nèi)激光傳輸方向呈布儒斯特角的角度插入；
9.如權(quán)利要求5所述的基于ld泵浦翠綠寶石晶體的高重頻193nm激光器，其特征在于，種子光的中心波長(zhǎng)為773.6nm。
10.如權(quán)利要求5所述的基于ld泵浦翠綠寶石晶體的高重頻193nm激光器，其特征在于，所述非線性頻率變換模塊包括沿光路設(shè)置的倍頻非線性晶體、三倍頻非線性晶體、四倍頻非線性晶體及分光棱鏡。