本發(fā)明涉及半導(dǎo)體清洗，具體是涉及一種半導(dǎo)體硅片酸腐蝕機(jī)的循環(huán)清洗裝置及其使用方法。

背景技術(shù)：

1、硅片是半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，在硅晶片上可以加工成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而硅片半導(dǎo)體生產(chǎn)加工過程中，為了使硅片半導(dǎo)體的表面潔凈度達(dá)到工藝要求，幾乎每道工序完成后都需要對硅片半導(dǎo)體進(jìn)行沖洗，而且集成電路的集成度越高，加工工序就越多，清洗的次數(shù)就越多。

2、中國專利公開了一種半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)用清洗裝置cn202023205836.5，包括水箱、滑套、頂架和濾板，所述水箱外部一側(cè)的底端設(shè)置有排水閥，且水箱內(nèi)部頂端的兩側(cè)皆固定連接有放置板，所述水箱的頂端設(shè)置有頂架，且頂架底端的中間位置固定連接有連接箱，所述頂架底端的兩側(cè)皆滑動連接有滑套，所述水箱外部一側(cè)的中間位置安裝有控制面板。本發(fā)明通過在連接齒輪的一側(cè)活動連接的半齒輪，電機(jī)可以帶動連接齒輪轉(zhuǎn)動，則連接齒輪可以帶動半齒輪轉(zhuǎn)動，使半齒輪可以帶動雙向噴頭進(jìn)行轉(zhuǎn)動，使其噴水位置得到調(diào)節(jié)，當(dāng)連接齒輪與半齒輪的無齒部分接觸時，則雙向噴頭停止轉(zhuǎn)動，如此循環(huán)可以實(shí)現(xiàn)雙向噴頭間斷性角度的調(diào)節(jié)，則可以實(shí)現(xiàn)噴水角度不斷的調(diào)節(jié)，提高了清洗效率。

3、因此可看出，上述裝置在對晶圓半導(dǎo)體進(jìn)行加工清洗時，通常現(xiàn)將晶圓半導(dǎo)體進(jìn)行夾緊固定，但是當(dāng)需要對晶圓半導(dǎo)體的另一面進(jìn)行沖洗時，還需要將晶圓半導(dǎo)體的固定解除，然后重新固定再進(jìn)行沖洗，操作十分的麻煩，大大增加了工人的勞動強(qiáng)度。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為解決上述技術(shù)問題，提供一種半導(dǎo)體硅片酸腐蝕機(jī)的循環(huán)清洗裝置及其使用方法，本技術(shù)方案解決了上述背景技術(shù)中提出的當(dāng)需要對晶圓半導(dǎo)體的另一面進(jìn)行沖洗時，還需要將晶圓半導(dǎo)體的固定解除，然后重新固定再進(jìn)行沖洗，操作十分麻煩的問題。

2、為達(dá)到以上目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為：

3、一種半導(dǎo)體硅片酸腐蝕機(jī)的循環(huán)清洗裝置，包括：

4、底座，所述底座的頂端左右兩側(cè)分別通過螺栓固定連接有框架和支撐板，所述底座的頂端中部貫穿開設(shè)有進(jìn)水槽；

5、推進(jìn)機(jī)構(gòu)，所述推進(jìn)機(jī)構(gòu)安裝于框架的內(nèi)部；

6、翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)置在支撐板的右側(cè)，用于對夾持的半導(dǎo)體進(jìn)行翻面；

7、夾持機(jī)構(gòu)，所述夾持機(jī)構(gòu)設(shè)置有兩組，一組所述夾持機(jī)構(gòu)連接在推進(jìn)機(jī)構(gòu)上，另一組所述夾持機(jī)構(gòu)安裝在翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上；

8、沖洗機(jī)構(gòu)，所述沖洗機(jī)構(gòu)固定安裝于底座的頂端后側(cè)，用于對半導(dǎo)體進(jìn)行沖洗；

9、收集機(jī)構(gòu)，所述收集機(jī)構(gòu)固定連接在底座的頂端中部，用于收集清洗后的半導(dǎo)體。

10、優(yōu)選的，所述推進(jìn)機(jī)構(gòu)包括第一螺紋桿、第一活動件、第二活動件、推進(jìn)板、第一連接臂和第二連接臂，所述第一螺紋桿轉(zhuǎn)動連接在框架內(nèi)部靠近左側(cè)的位置處，所述第一螺紋桿兩端開設(shè)的螺紋旋向相反，且所述第一活動件和第二活動件分別螺紋連接于第一螺紋桿的兩端，所述推進(jìn)板的左側(cè)焊接有滑軌，所述滑軌的前后兩端分別滑動連接有第一滑動件和第二滑動件，所述第一連接臂的一端轉(zhuǎn)動連接于第一活動件的內(nèi)部，所述第一連接臂的另一端轉(zhuǎn)動連接于第二滑動件的內(nèi)部，且所述第二活動件的內(nèi)部轉(zhuǎn)動連接有第二連接臂，所述第二連接臂遠(yuǎn)離第二活動件的一端轉(zhuǎn)動連接在第一滑動件的內(nèi)部，所述推進(jìn)板的右側(cè)中部固定安裝有連接桿，且所述連接桿遠(yuǎn)離推進(jìn)板的一端與一組所述夾持機(jī)構(gòu)固定連接。

11、優(yōu)選的，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動桿、從動齒輪和驅(qū)動齒輪，所述支撐板的內(nèi)部通過軸承轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)動桿，所述轉(zhuǎn)動桿的一端與另一組所述夾持機(jī)構(gòu)固定連接，且所述轉(zhuǎn)動桿的另一端固定安裝有從動齒輪，所述支撐板的右側(cè)靠近底端的位置處轉(zhuǎn)動連接有驅(qū)動齒輪，所述驅(qū)動齒輪通過齒輪傳送帶與驅(qū)動齒輪傳動連接，所述驅(qū)動齒輪的右側(cè)中部固定連接在驅(qū)動電機(jī)的輸出端，所述驅(qū)動電機(jī)通過電機(jī)安裝板固定安裝在底座的頂端右側(cè)。

12、優(yōu)選的，所述夾持機(jī)構(gòu)包括固定框，所述連接桿和轉(zhuǎn)動桿相互靠近的一端均固定連接有固定框，所述固定框內(nèi)部的中間位置處轉(zhuǎn)動連接有第二螺紋桿，所述第二螺紋桿的兩端開設(shè)的螺紋旋向相反，且所述第二螺紋桿的兩端分別螺紋連接有第一夾持板和第二夾持板，所述第一夾持板和第二夾持板相互靠近的一側(cè)均安裝有橡膠墊，所述固定框的內(nèi)部還固定安裝有兩組固定桿，兩組所述固定桿分別位于第二螺紋桿的兩側(cè)，且所述第一夾持板和第二夾持板均滑動連接于固定桿的表面，所述固定框的頂端固定安裝有防護(hù)框，所述防護(hù)框的內(nèi)部固定連接有步進(jìn)電機(jī)，所述第二螺紋桿的一端固定連接在步進(jìn)電機(jī)的輸出端。

13、優(yōu)選的，所述沖洗機(jī)構(gòu)包括l型板，所述l型板焊接在底座的頂端后側(cè)，所述l型板的橫板底端固定安裝有噴頭，所述框架的頂端中部固定安裝有循環(huán)泵，所述底座的底端與進(jìn)水槽相對應(yīng)的位置處設(shè)置有水箱，所述水箱、循環(huán)泵和噴頭均通過水管依次連通。

14、優(yōu)選的，所述收集機(jī)構(gòu)包括固定塊，所述底座的頂端前后兩側(cè)均通過螺栓固定連接有兩組固定塊，左右兩側(cè)所述固定塊之間轉(zhuǎn)動連接有絲桿，所述絲桿的一端貫穿左側(cè)所述固定塊的內(nèi)側(cè)，并固定連接有第一錐齒輪，所述絲桿的外表面上螺紋連接有活動塊，兩組所述活動塊之間固定安裝有收集箱。

15、優(yōu)選的，所述收集機(jī)構(gòu)還包括雙軸電機(jī)，所述雙軸電機(jī)固定安裝在底座的頂端，所述雙軸電機(jī)的兩輸出端均固定連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸遠(yuǎn)離雙軸電機(jī)輸出端的一端固定安裝有與第一錐齒輪嚙合的第二錐齒輪，所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接在固定板的內(nèi)部，且所述固定板的底端固定連接于底座的頂端。

16、優(yōu)選的，所述框架內(nèi)部靠近左側(cè)的位置處還固定連接有導(dǎo)向軌，所述第一活動件和第二活動件均滑動連接在導(dǎo)向軌的表面，所述框架的前側(cè)固定安裝有伺服電機(jī)，所述第一螺紋桿的一端固定連接在伺服電機(jī)的輸出端。

17、優(yōu)選的，所述框架內(nèi)部的前后兩側(cè)均開設(shè)有滑槽，所述推進(jìn)板的前后兩側(cè)均固定安裝有與滑槽相適配的滑塊，且所述滑塊滑動連接于滑槽的內(nèi)部，所述滑軌的兩側(cè)均固定連接有限位板。

18、一種半導(dǎo)體硅片酸腐蝕機(jī)的循環(huán)清洗裝置的使用方法，包括：

19、s1：將半導(dǎo)體的右側(cè)固定在右側(cè)的夾持機(jī)構(gòu)內(nèi)，其次通過伺服電機(jī)的輸出端帶動第一螺紋桿轉(zhuǎn)動，使得第一活動件和第二活動件相互遠(yuǎn)離，進(jìn)而第一滑動件和第二滑動件相互遠(yuǎn)離，使得推進(jìn)板向右側(cè)運(yùn)動，帶動左側(cè)的夾持機(jī)構(gòu)向右側(cè)運(yùn)動，接著左側(cè)的夾持機(jī)構(gòu)對半導(dǎo)體的左側(cè)進(jìn)行夾持固定；

20、s2：清洗機(jī)構(gòu)對半導(dǎo)體的正面進(jìn)行清洗，接著通過驅(qū)動電機(jī)的輸出端帶動驅(qū)動齒輪轉(zhuǎn)動，驅(qū)動齒輪通過齒輪傳送帶帶動驅(qū)動齒輪轉(zhuǎn)動，使得轉(zhuǎn)動桿轉(zhuǎn)動，從而實(shí)現(xiàn)對半導(dǎo)體進(jìn)行翻轉(zhuǎn)，再通過清洗機(jī)構(gòu)對半導(dǎo)體的反面進(jìn)行清洗；

21、s3：通過通雙軸電機(jī)的兩輸出端均可帶動兩組轉(zhuǎn)軸同步轉(zhuǎn)動，使得兩組第二錐齒輪均同步轉(zhuǎn)動，帶動兩組第一錐齒輪均同步轉(zhuǎn)動，使得兩組絲桿均同步轉(zhuǎn)動，帶動收集箱水平向右側(cè)運(yùn)動，解除對半導(dǎo)體的夾持，半導(dǎo)體落入下方的收集箱中對半導(dǎo)體收集。

22、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供了一種可循環(huán)利用水資源的半導(dǎo)體生產(chǎn)用清洗裝置及其使用方法，具備以下有益效果：

23、1、本發(fā)明設(shè)置有夾持機(jī)構(gòu)，通過步進(jìn)電機(jī)的輸出端帶動第二螺紋桿轉(zhuǎn)動，使得第一夾持板和第二夾持板相互靠近或者遠(yuǎn)離，從而便于對半導(dǎo)體進(jìn)行夾持固定或者解除夾持。

24、2、本發(fā)明其次設(shè)置有翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，通過驅(qū)動電機(jī)的輸出端帶動驅(qū)動齒輪轉(zhuǎn)動，驅(qū)動齒輪通過齒輪傳送帶帶動驅(qū)動齒輪轉(zhuǎn)動，使得轉(zhuǎn)動桿轉(zhuǎn)動，從而實(shí)現(xiàn)對夾持固定的半導(dǎo)體進(jìn)行翻轉(zhuǎn)。

25、3、本發(fā)明還設(shè)置有收集機(jī)構(gòu)，通過雙軸電機(jī)的兩輸出端均可帶動兩組轉(zhuǎn)軸同步轉(zhuǎn)動，使得兩組第二錐齒輪均同步轉(zhuǎn)動，帶動兩組第一錐齒輪均同步轉(zhuǎn)動，使得兩組絲桿均同步轉(zhuǎn)動，帶動收集箱水平向右側(cè)運(yùn)動，解除對半導(dǎo)體的夾持，半導(dǎo)體落入下方的收集箱中對半導(dǎo)體收集。

26、綜上所述，本發(fā)明在對半導(dǎo)體的另一面進(jìn)行沖洗時，不需要將半導(dǎo)體的固定解除，然后重新固定再進(jìn)行沖洗，方便快捷，極大地降低了工人的勞動強(qiáng)度，滿足了工作人員的需求。