本發(fā)明涉及3c電子清洗，具體的是一種全自動(dòng)真空等離子清洗機(jī)。

背景技術(shù)：

1、等離子清洗是一種全新的高科技技術(shù)，其原理是在真空腔體里，通過(guò)射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無(wú)序的等離子體，通過(guò)等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面，以達(dá)到清洗目的。隨著電子電路集成化程度的提高，芯片特征尺寸變小以及新型材料的研發(fā)與使用，對(duì)其表面處理和清洗的要求也越來(lái)越高，等離子體表面清洗工藝已經(jīng)成為提高產(chǎn)品可靠性和成品率的重要手段，是生產(chǎn)工藝中不可缺少的步驟。

2、現(xiàn)有技術(shù)公開了公開號(hào)為cn?114927442?a(ipc分類號(hào)為h01l21/67)的中國(guó)專利：一種真空等離子清洗機(jī)，并公開了上下料機(jī)械手和上下料移動(dòng)平臺(tái)，通過(guò)上下料機(jī)械手上的氣動(dòng)夾鉗夾取待清洗工件放置于移動(dòng)臺(tái)的底板上，利用清洗工位的底板舉升機(jī)構(gòu)將放置工件的底板推至真空室內(nèi)進(jìn)行等離子清洗。

3、但是，上述的現(xiàn)有技術(shù)仍存在一定的缺陷，即在使用過(guò)程中，放置于底板上的待清洗工件與底板的接觸面處為清洗盲區(qū)，對(duì)該區(qū)域的工件表面清洗效果較差，甚至是無(wú)法進(jìn)行清洗，降低了對(duì)工件的清洗質(zhì)量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種全自動(dòng)真空等離子清洗機(jī)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

2、本發(fā)明的目的可以通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

3、一種全自動(dòng)真空等離子清洗機(jī)，包括機(jī)體、處理腔殼和高頻發(fā)生器，所述處理腔殼固定安裝在機(jī)體內(nèi)部，高頻發(fā)生器固定嵌裝在處理腔殼外側(cè)，處理腔殼前側(cè)鉸接安裝有密封門，且密封門上設(shè)有視窗口，所述處理腔殼內(nèi)部固定設(shè)有兩個(gè)工字導(dǎo)軌，處理腔殼位于兩個(gè)工字導(dǎo)軌相背一側(cè)的位置均安裝有電極板，兩個(gè)工字導(dǎo)軌之間滑動(dòng)安裝有滑移臺(tái)；

4、所述滑移臺(tái)頂部設(shè)有用于對(duì)目標(biāo)產(chǎn)品進(jìn)行托放的托盤機(jī)構(gòu)，且滑移臺(tái)與密封門之間設(shè)有用于帶動(dòng)滑移臺(tái)沿工字導(dǎo)軌進(jìn)行滑動(dòng)的連帶組件；

5、所述處理腔殼頂部連通設(shè)有進(jìn)氣管，機(jī)體內(nèi)部設(shè)有與進(jìn)氣管導(dǎo)通的供氣機(jī)構(gòu)，供氣機(jī)構(gòu)用于向處理腔殼內(nèi)部供送進(jìn)行輝光放電的氣體。

6、在一個(gè)優(yōu)選地實(shí)施方式中，所述托盤機(jī)構(gòu)包括固定在滑移臺(tái)頂部?jī)啥说膬?nèi)架和外架，兩個(gè)外架設(shè)置在兩個(gè)內(nèi)架相背一側(cè)，兩個(gè)內(nèi)架上均呈貫穿式轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有轉(zhuǎn)盤，兩個(gè)轉(zhuǎn)盤邊緣位置均轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有多個(gè)呈環(huán)形均勻分布的軸桿，且兩個(gè)轉(zhuǎn)盤上的軸桿相背一端分別延伸至對(duì)應(yīng)側(cè)的外架內(nèi)部；

7、所述托盤機(jī)構(gòu)還包括設(shè)于兩個(gè)轉(zhuǎn)盤相對(duì)側(cè)之間的框體，框體與呈相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)軸桿對(duì)應(yīng)設(shè)置，且呈相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)軸桿相對(duì)端均與所在位置的框體外側(cè)固定連接，框體頂端鉸接安裝有框蓋，框蓋與框體之間還設(shè)有鎖扣組件。

8、在一個(gè)優(yōu)選地實(shí)施方式中，所述滑移臺(tái)頂部?jī)啥司O(shè)有用于驅(qū)動(dòng)所在側(cè)轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)組件，驅(qū)動(dòng)組件包括固定套設(shè)于轉(zhuǎn)盤靠近所在端外架一端外側(cè)的外齒圈和固定在所在端外架內(nèi)側(cè)的弧形齒條，外架外側(cè)固定安裝有電機(jī)一，電機(jī)一的輸出軸端部固定連接有與所在端外齒圈相嚙合的齒盤；

9、所述框體兩端外側(cè)的軸桿相背一端均固定套接有與所在端外架內(nèi)側(cè)的弧形齒條相嚙合的齒輪一。

10、在一個(gè)優(yōu)選地實(shí)施方式中，所述鎖扣組件包括固定在框蓋和框體外側(cè)的插框一，兩個(gè)插框一之間活動(dòng)貫穿插接有l(wèi)型板，l型板內(nèi)側(cè)底端與框體外側(cè)的插框一之間固定連接有彈簧一。

11、在一個(gè)優(yōu)選地實(shí)施方式中，所述框體和框蓋內(nèi)側(cè)均設(shè)有緩沖組件，緩沖組件由凸起和緩沖彈簧組成，框體以及框蓋與對(duì)應(yīng)位置的凸起之間均通過(guò)緩沖彈簧固定連接；

12、所述框體內(nèi)側(cè)還開設(shè)有u型槽，u型槽內(nèi)部活動(dòng)插接有分隔網(wǎng)板。

13、在一個(gè)優(yōu)選地實(shí)施方式中，所述連帶組件由固定在滑移臺(tái)底部遠(yuǎn)離密封門一端的t型圓柱一、固定在密封門內(nèi)側(cè)的t型圓柱二以及位于t型圓柱一與t型圓柱二之間的連桿組成，連桿兩端分別與t型圓柱一以及t型圓柱二轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

14、在一個(gè)優(yōu)選地實(shí)施方式中，所述供氣機(jī)構(gòu)包括設(shè)于機(jī)體內(nèi)側(cè)扇形托架，扇形托架與機(jī)體之間通過(guò)圓桿轉(zhuǎn)動(dòng)安裝，扇形托架頂部設(shè)有氣瓶，氣瓶的端口位置螺紋連接有套管；

15、所述供氣機(jī)構(gòu)還包括設(shè)于機(jī)體內(nèi)部的供氣管和與供氣管相連通的對(duì)接管，供氣管與進(jìn)氣管之間連通設(shè)有連接軟管，對(duì)接管滑動(dòng)安裝于機(jī)體內(nèi)側(cè)，供氣管與對(duì)接管的連接處安裝有電磁流量計(jì)，對(duì)接管與套管之間設(shè)有供氣控制組件。

16、在一個(gè)優(yōu)選地實(shí)施方式中，所述供氣控制組件包括固定在機(jī)體內(nèi)側(cè)的座塊和固定在對(duì)接管外側(cè)的直齒條，座塊底部固定安裝有電機(jī)二，電機(jī)二的輸出軸端部固定連接有與直齒條相嚙合的齒輪二；

17、所述供氣控制組件還包括固定在套管內(nèi)側(cè)的擋環(huán)和固定在對(duì)接管內(nèi)側(cè)的孔板，孔板底部固定連接有頂柱，套管內(nèi)側(cè)位于擋環(huán)遠(yuǎn)離孔板的一側(cè)設(shè)有堵頭，堵頭外側(cè)固定設(shè)有兩個(gè)耳塊，擋環(huán)底部對(duì)應(yīng)兩個(gè)耳塊的位置處均固定設(shè)有活動(dòng)貫穿對(duì)應(yīng)耳塊的插桿，插桿外側(cè)活動(dòng)套設(shè)有固定連接擋環(huán)與耳塊的彈簧二。

18、在一個(gè)優(yōu)選地實(shí)施方式中，所述扇形托架與機(jī)體之間設(shè)有限位組件，限位組件包括固定在機(jī)體以及扇形托架外側(cè)的插框二，兩個(gè)插框二之間活動(dòng)貫穿插接有插條，插條底端固定設(shè)有座板，限位組件還包括固定在機(jī)體外側(cè)的限位條和開設(shè)于扇形托架外側(cè)的限位槽；

19、所述插條外側(cè)固定設(shè)有定塊，定塊上活動(dòng)貫穿插接有固定在扇形托架外側(cè)的插框二頂部的導(dǎo)桿，導(dǎo)桿外側(cè)活動(dòng)套設(shè)有固定連接定塊與對(duì)應(yīng)插框二的彈簧四。

20、在一個(gè)優(yōu)選地實(shí)施方式中，所述機(jī)體底端設(shè)有散熱機(jī)構(gòu)，散熱機(jī)構(gòu)包括固定在機(jī)體內(nèi)側(cè)的網(wǎng)托，網(wǎng)托與機(jī)體內(nèi)側(cè)底端面之間固定設(shè)有兩個(gè)擋板，機(jī)體底部對(duì)應(yīng)兩個(gè)擋板相背側(cè)的位置均固定嵌裝有防塵網(wǎng)一，且機(jī)體底部對(duì)應(yīng)兩個(gè)擋板之間的位置固定嵌裝有防塵網(wǎng)二；

21、所述機(jī)體內(nèi)側(cè)底部固定安裝有支架，支架頂部固定安裝有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸端部固定連接有葉輪，葉輪外側(cè)底端軸心線位置固定連接有活動(dòng)貫穿防塵網(wǎng)二的轉(zhuǎn)桿；

22、所述機(jī)體外側(cè)底部對(duì)應(yīng)兩個(gè)防塵網(wǎng)一的兩端位置處均固定設(shè)有擋框，且轉(zhuǎn)桿外側(cè)固定套設(shè)有位于機(jī)體外側(cè)底端的凸輪板，呈相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)擋框之間設(shè)有三角架，三角架兩端均固定設(shè)有滑動(dòng)連接對(duì)應(yīng)擋框內(nèi)部的滑塊，擋框內(nèi)部固定設(shè)有活動(dòng)貫穿滑塊的直桿，直桿外側(cè)活動(dòng)套設(shè)有固定連接滑塊與擋框的彈簧三。

23、本發(fā)明的有益效果：

24、1、本發(fā)明通過(guò)利用轉(zhuǎn)動(dòng)的齒盤來(lái)驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)外齒圈的轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)承載目標(biāo)產(chǎn)品的框體轉(zhuǎn)動(dòng)，并驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)的過(guò)程中，利用框體兩端的軸桿端部的齒輪一與外架上的多組弧形齒條依次產(chǎn)生嚙合，用以間歇式驅(qū)動(dòng)齒輪一發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)，從而讓承載目標(biāo)產(chǎn)品的框體發(fā)生翻轉(zhuǎn)，使目標(biāo)產(chǎn)品與等離子體充分接觸，避免出現(xiàn)清洗盲區(qū)；

25、2、本發(fā)明通過(guò)利用連帶組件使得在開啟密封門的過(guò)程中，可以利用發(fā)生擺動(dòng)的連桿拉動(dòng)滑移臺(tái)沿工字導(dǎo)軌滑出處理腔殼，反之，則并推動(dòng)承載托盤機(jī)構(gòu)的滑移臺(tái)回縮至處理腔殼內(nèi)部，方便對(duì)目標(biāo)產(chǎn)品進(jìn)行取放；

26、3、本發(fā)明通過(guò)將扇形托架設(shè)置為可偏擺式結(jié)構(gòu)，方便對(duì)氣瓶進(jìn)行快速更換，同時(shí)，在向處理腔殼內(nèi)部供送氣體的過(guò)程中，可以利用齒輪二與直齒條之間的嚙合設(shè)置來(lái)控制對(duì)接管進(jìn)行升降，實(shí)現(xiàn)控制氣瓶的端口啟閉；

27、4、本發(fā)明通過(guò)利用轉(zhuǎn)動(dòng)的葉輪將設(shè)備運(yùn)作過(guò)程中機(jī)體內(nèi)部的熱空氣排至機(jī)體外部，并自動(dòng)抽吸外界的冷空氣進(jìn)入機(jī)體內(nèi)部，實(shí)現(xiàn)利用氣流的流動(dòng)來(lái)持續(xù)帶走該真空等離子清洗機(jī)運(yùn)作過(guò)程中所產(chǎn)生的熱量，避免積熱量過(guò)大而影響設(shè)備的正常運(yùn)作，此外，還會(huì)利用隨葉輪同步轉(zhuǎn)動(dòng)的凸輪板間歇擠壓三角架，并在三角架發(fā)生往復(fù)運(yùn)動(dòng)以及凸輪板發(fā)生圓周運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中，可以利用其上安裝的清理?xiàng)l來(lái)對(duì)對(duì)應(yīng)位置的防塵網(wǎng)一以及防塵網(wǎng)二上附著的灰塵進(jìn)行實(shí)時(shí)清理。