本技術(shù)涉及光伏和半導(dǎo)體，尤其涉及一種半片產(chǎn)品加工設(shè)備、鈍化產(chǎn)線、太陽能電池片生產(chǎn)線及生產(chǎn)工藝。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體和光伏材料廣泛應(yīng)用于電子、新能源等行業(yè)，且半導(dǎo)體和光伏材料通常都需要經(jīng)過化學(xué)處理才能夠應(yīng)用到產(chǎn)品上。目前行業(yè)內(nèi)針對半導(dǎo)體和光伏材料的尺寸有了更多元化的需求，由于原材料都是標(biāo)準尺寸，因此為了得到更小尺寸的材料會將原標(biāo)準尺寸的材料進行裁切，原標(biāo)準尺寸的材料經(jīng)裁切后得到的半片材料會產(chǎn)生斷面，斷面會對材料的性能產(chǎn)生負面影響，因此需要對斷面進行鍍膜鈍化。原子層沉積(atomic?layerdeposition，ald)是一種鍍膜鈍化技術(shù)，已經(jīng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和光伏材料的加工，針對具體的加工需求需要選擇相應(yīng)的加工裝置。

2、但是，目前半導(dǎo)體和光伏材料的裁切裝置、鍍膜裝置等相互獨立設(shè)置，需要搬運車等機構(gòu)實現(xiàn)材料在各裝置之間流轉(zhuǎn)，同時半片產(chǎn)品加工設(shè)備的自動化程度低，導(dǎo)致半片產(chǎn)品加工設(shè)備的生產(chǎn)效率低。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本技術(shù)實施例提供了一種半片產(chǎn)品加工設(shè)備、鈍化產(chǎn)線、太陽能電池片生產(chǎn)線及生產(chǎn)工藝，解決了半片產(chǎn)品加工設(shè)備的生產(chǎn)效率低的問題。

2、第一方面，本技術(shù)一實施例提供了一種半片產(chǎn)品加工設(shè)備，包括：裂片裝置，被配置為將整片的產(chǎn)品切割為至少兩個待加工的半片產(chǎn)品；成盒裝置，與所述裂片裝置相鄰設(shè)置，所述成盒裝置的至少一側(cè)設(shè)置有料盒放置空間，所述料盒放置空間被配置為容納料盒，所述成盒裝置被配置為將待加工的所述半片產(chǎn)品裝入位于所述料盒放置空間的所述料盒；搬盒裝置，與所述成盒裝置相鄰設(shè)置，所述搬盒裝置的至少一側(cè)設(shè)置有舟結(jié)構(gòu)放置空間，所述舟結(jié)構(gòu)放置空間被配置為容納舟結(jié)構(gòu)，所述搬盒裝置被配置為將位于所述料盒放置空間的裝載有待加工的所述半片產(chǎn)品的所述料盒搬運至位于所述舟結(jié)構(gòu)放置空間的所述舟結(jié)構(gòu)，或者將裝載有已加工的所述半片產(chǎn)品的所述料盒從位于所述舟結(jié)構(gòu)放置空間的所述舟結(jié)構(gòu)卸載下來；反應(yīng)爐，被配置為對所述半片產(chǎn)品進行鍍膜；舟運輸裝置，設(shè)置于所述搬盒裝置和所述反應(yīng)爐之間，被配置為將裝載有待加工的所述半片產(chǎn)品的所述舟結(jié)構(gòu)運輸至所述反應(yīng)爐，以使所述反應(yīng)爐對所述舟結(jié)構(gòu)承載的所述半片產(chǎn)品進行鍍膜，或者將裝載有已加工的所述半片產(chǎn)品的所述舟結(jié)構(gòu)由所述反應(yīng)爐運出。

3、在一些實施例中，所述半片產(chǎn)品加工設(shè)備還包括：至少兩個料盒流轉(zhuǎn)裝置，與所述搬盒裝置相鄰設(shè)置，沿豎直方向間隔設(shè)置，其中，一個所述料盒流轉(zhuǎn)裝置被配置為運輸空載的所述料盒，另一個所述料盒流轉(zhuǎn)裝置被配置為運輸裝載有已加工的所述半片產(chǎn)品的所述料盒；下盒裝置，與所述料盒流轉(zhuǎn)裝置相鄰設(shè)置，被配置為將空載的所述料盒由所述料盒流轉(zhuǎn)裝置搬運至所述料盒放置空間；其中，所述搬盒裝置進一步被配置為，將所述舟結(jié)構(gòu)承載的裝載有已加工的所述半片產(chǎn)品的所述料盒從所述舟結(jié)構(gòu)搬運至所述料盒流轉(zhuǎn)裝置。

4、在一些實施例中，所述反應(yīng)爐的數(shù)量為多個；其中，所述舟運輸裝置包括：至少一個推舟裝置，與多個所述反應(yīng)爐相鄰設(shè)置，被配置為將所述舟結(jié)構(gòu)送入任意一個所述反應(yīng)爐或者將所述舟結(jié)構(gòu)從任意一個所述反應(yīng)爐運出；多個舟結(jié)構(gòu)緩存裝置，與所述推舟裝置相鄰設(shè)置，被配置為緩存所述舟結(jié)構(gòu)；搬舟裝置，與所述推舟裝置、所述舟結(jié)構(gòu)緩存裝置和所述舟結(jié)構(gòu)放置空間相鄰設(shè)置，被配置為將所述舟結(jié)構(gòu)由所述舟結(jié)構(gòu)放置空間搬運至所述舟結(jié)構(gòu)緩存裝置，并將所述舟結(jié)構(gòu)由所述舟結(jié)構(gòu)緩存裝置搬運至所述推舟裝置，或者將所述舟結(jié)構(gòu)由所述推舟裝置搬運至所述舟結(jié)構(gòu)緩存裝置，并將所述舟結(jié)構(gòu)由所述舟結(jié)構(gòu)緩存裝置搬運至所述舟結(jié)構(gòu)放置空間。

5、在一些實施例中，所述推舟裝置的數(shù)量為多個；多個所述反應(yīng)爐沿第一方向排列，多個所述推舟裝置沿所述第一方向排列，多個所述舟結(jié)構(gòu)緩存裝置沿所述第一方向排列，所述舟結(jié)構(gòu)緩存裝置、所述推舟裝置與所述反應(yīng)爐沿第二方向排列，所述第二方向與所述第一方向交叉；和/或，所述搬舟裝置設(shè)置于所述舟結(jié)構(gòu)緩存裝置和所述推舟裝置的上方。

6、在一些實施例中，所述推舟裝置的數(shù)量為多個，多個所述推舟裝置沿第一方向排列；多個所述反應(yīng)爐沿所述第一方向排列，且沿豎直方向排列成多層，所述推舟裝置能夠沿豎直方向運動，以將所述舟結(jié)構(gòu)送入任意一層的所述反應(yīng)爐或者將所述舟結(jié)構(gòu)從任意一層的所述反應(yīng)爐運出。

7、在一些實施例中，所述搬舟裝置包括：第一直線運動機構(gòu)，被配置為能夠沿所述第二方向運動；第二直線運動機構(gòu)，與所述第一直線運動機構(gòu)連接，被配置為能夠沿所述第一方向運動，其中，所述第二直線運動機構(gòu)在所述第一直線運動機構(gòu)的帶動下，還能夠沿所述第二方向運動；抓舟機構(gòu)，與所述第二直線運動機構(gòu)連接，被配置為抓取所述舟結(jié)構(gòu)，其中，所述抓舟機構(gòu)在所述第二直線運動機構(gòu)的帶動下，能夠沿所述第一方向和所述第二方向運動。

8、在一些實施例中，所述半片產(chǎn)品加工設(shè)備還包括：清洗裝置，設(shè)置于所述裂片裝置與所述成盒裝置之間，被配置為接收所述裂片裝置上的待加工的所述半片產(chǎn)品，并對待加工的所述半片產(chǎn)品進行清洗；其中，所述成盒裝置進一步配置為將清洗后的待加工的所述半片產(chǎn)品裝入位于所述料盒放置空間的所述料盒。

9、在一些實施例中，所述裂片裝置包括：至少一個接料機構(gòu)，被配置為接收整片的所述產(chǎn)品；至少兩個裂片機構(gòu)，每個所述接料機構(gòu)與至少一個所述裂片機構(gòu)連接，所述裂片機構(gòu)被配置為接收所述接料機構(gòu)輸送的待加工的所述產(chǎn)品，并將待加工的所述產(chǎn)品切割為至少兩個待加工的所述半片產(chǎn)品；其中，所述清洗裝置包括：至少兩個清洗機構(gòu)，分別與至少兩個所述裂片機構(gòu)連接，被配置為接收所述裂片機構(gòu)上的待加工的所述半片產(chǎn)品，并對待加工的所述半片產(chǎn)品進行清洗；其中，所述成盒裝置包括：至少兩個成盒機構(gòu)，分別與至少兩個所述清洗機構(gòu)連接，被配置為接收所述清洗機構(gòu)上的清洗后的待加工的所述半片產(chǎn)品，并將清洗后的待加工的所述半片產(chǎn)品裝入位于所述料盒放置空間的所述料盒。

10、在一些實施例中，所述半片產(chǎn)品加工設(shè)備還包括：料盒緩存裝置，與所述料盒流轉(zhuǎn)裝置相鄰設(shè)置，被配置為緩存裝載有已加工的所述半片產(chǎn)品的所述料盒；下料裝置，設(shè)置于所述料盒流轉(zhuǎn)裝置和所述料盒緩存裝置的上方，被配置為將裝載有已加工的所述半片產(chǎn)品的所述料盒從所述料盒流轉(zhuǎn)裝置搬運至所述料盒緩存裝置；產(chǎn)品運輸裝置，被配置為運輸已加工的所述半片產(chǎn)品；導(dǎo)片裝置，與所述下料裝置和所述產(chǎn)品運輸裝置相鄰設(shè)置，被配置為獲取所述料盒緩存裝置承載的所述料盒中的已加工的所述半片產(chǎn)品，并將已加工的所述半片產(chǎn)品放置于所述產(chǎn)品運輸裝置。

11、在一些實施例中，所述半片產(chǎn)品加工設(shè)備還包括：光學(xué)檢測裝置，與所述產(chǎn)品運輸裝置相鄰設(shè)置，被配置為接收所述產(chǎn)品運輸裝置輸送的已加工的所述半片產(chǎn)品，并對已加工的所述半片產(chǎn)品進行光學(xué)檢測；電致發(fā)光檢測裝置，與所述光學(xué)檢測裝置相鄰設(shè)置，被配置為接收經(jīng)過光學(xué)檢測后的已加工的所述半片產(chǎn)品，并對光學(xué)檢測后的已加工的所述半片產(chǎn)品進行電致發(fā)光檢測。

12、在一些實施例中，所述半片產(chǎn)品加工設(shè)備還包括：紅外成像檢測裝置，與所述電致發(fā)光檢測裝置相鄰設(shè)置，被配置為接收電致發(fā)光檢測后的已加工的所述半片產(chǎn)品，并對電致發(fā)光檢測后的已加工的所述半片產(chǎn)品進行紅外成像檢測。

13、在一些實施例中，所述半片產(chǎn)品加工設(shè)備還包括：分選裝置，與所述紅外成像檢測裝置相鄰設(shè)置，被配置為接收紅外成像檢測后的已加工的所述半片產(chǎn)品，并將紅外成像檢測后的已加工的所述半片產(chǎn)品分選為多個等級；多個下片裝置，與所述分選裝置相鄰設(shè)置，分別被配置為接收多個等級的所述半片產(chǎn)品。

14、在一些實施例中，運輸裝載有已加工的所述半片產(chǎn)品的所述料盒的所述料盒流轉(zhuǎn)裝置包括：料盒流轉(zhuǎn)機構(gòu)，運輸裝載有已加工的所述半片產(chǎn)品的所述料盒；第一料盒轉(zhuǎn)向機構(gòu)，與所述料盒流轉(zhuǎn)機構(gòu)相鄰設(shè)置，被配置為接收裝載有已加工的所述半片產(chǎn)品的所述料盒，并在水平面內(nèi)對所述料盒進行旋轉(zhuǎn)；其中，所述下料裝置進一步被配置為，將裝載有已加工的所述半片產(chǎn)品的所述料盒從所述第一料盒轉(zhuǎn)向機構(gòu)搬運至所述料盒緩存裝置。

15、在一些實施例中，所述成盒裝置包括：成盒機構(gòu)，與所述裂片裝置相鄰設(shè)置，被配置為將待加工的所述半片產(chǎn)品裝入位于所述料盒放置空間的所述料盒；第二料盒轉(zhuǎn)向機構(gòu)，與所述成盒機構(gòu)相鄰設(shè)置，被配置為獲取位于所述料盒放置空間的所述料盒，并在水平面內(nèi)對所述料盒進行旋轉(zhuǎn)；其中，所述搬盒裝置進一步被配置為將位于所述第二料盒轉(zhuǎn)向機構(gòu)的裝載有待加工的所述半片產(chǎn)品的所述料盒搬運至位于所述舟結(jié)構(gòu)放置空間的所述舟結(jié)構(gòu)。

16、第二方面，本技術(shù)一實施例提供了一種鈍化產(chǎn)線，包括：至少一個如第一方面所述的半片產(chǎn)品加工設(shè)備；其中，在所述鈍化產(chǎn)線包括多個所述半片產(chǎn)品加工設(shè)備的情況下，多個所述半片產(chǎn)品加工設(shè)備在水平面內(nèi)呈矩陣排列，和/或，多個所述半片產(chǎn)品加工設(shè)備在豎直平面內(nèi)呈矩陣排列。

17、第三方面，本技術(shù)一實施例提供了一種太陽能電池片生產(chǎn)線，包括：至少一個如第一方面所述的半片產(chǎn)品加工設(shè)備。

18、第四方面，本技術(shù)一實施例提供了一種太陽能電池片生產(chǎn)工藝，所述太陽能電池片生產(chǎn)工藝采用：至少一個如第一方面所述的半片產(chǎn)品加工設(shè)備。

19、本技術(shù)實施例提供的半片產(chǎn)品加工設(shè)備將裂片裝置、成盒裝置、搬盒裝置、反應(yīng)爐和舟運輸裝置集成在一起，實現(xiàn)了對半片產(chǎn)品的自動化加工，無需自動導(dǎo)航(automaticguided?vehicle，agv)小車流轉(zhuǎn)搬運，集成化設(shè)備大大提高了空間利用率，提高了生產(chǎn)效率。