1.一種光伏電池制備方法,其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,在所述第一表面上依次堆疊第一隧穿氧化層、本征多晶硅層以及第一摻雜層之前,所述制備方法,還包括:
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,在所述第三表面的與所述第二區(qū)域相對(duì)應(yīng)的部分上依次堆疊第二隧穿氧化層、第二摻雜多晶硅層之后,去除所述第一摻雜層的與所述第一區(qū)域相對(duì)的部分之前,所述制備方法,還包括:
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,在所述第三表面的與所述第二區(qū)域相對(duì)應(yīng)的部分上依次堆疊第二隧穿氧化層、第二摻雜多晶硅層時(shí),所述制備方法,包括:
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備方法,其特征在于,在所述第二摻雜多晶硅層背離所述襯底的一側(cè)還形成有第二摻雜層;
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法,其特征在于,去除所述第一摻雜層的與所述第一區(qū)域相對(duì)的部分時(shí),所述制備方法,還包括:
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備方法,其特征在于,去除所述第一摻雜層的與所述第一區(qū)域相對(duì)的部分之后,所述制備方法,還包括:
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制備方法,其特征在于,在所述第一摻雜多晶硅層、第二摻雜多晶硅層以及所述第三表面的與所述第三區(qū)域相對(duì)應(yīng)的部分上均堆疊第一鈍化減反層時(shí),所述制備方法,還包括:
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法,其特征在于,所述第一摻雜層為硼硅玻璃層,將所述第一摻雜層的第一摻雜元素?cái)U(kuò)散至所述本征多晶硅層,形成與所述第一區(qū)域相對(duì)的第一摻雜多晶硅層的步驟中,包括:
10.一種光伏電池,其特征在于,采用權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的制備方法制得。