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      一種光伏電池及其制備方法與流程

      文檔序號(hào):40443649發(fā)布日期:2024-12-24 15:18閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種光伏電池制備方法,其特征在于,包括:

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,在所述第一表面上依次堆疊第一隧穿氧化層、本征多晶硅層以及第一摻雜層之前,所述制備方法,還包括:

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,在所述第三表面的與所述第二區(qū)域相對(duì)應(yīng)的部分上依次堆疊第二隧穿氧化層、第二摻雜多晶硅層之后,去除所述第一摻雜層的與所述第一區(qū)域相對(duì)的部分之前,所述制備方法,還包括:

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,在所述第三表面的與所述第二區(qū)域相對(duì)應(yīng)的部分上依次堆疊第二隧穿氧化層、第二摻雜多晶硅層時(shí),所述制備方法,包括:

      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備方法,其特征在于,在所述第二摻雜多晶硅層背離所述襯底的一側(cè)還形成有第二摻雜層;

      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法,其特征在于,去除所述第一摻雜層的與所述第一區(qū)域相對(duì)的部分時(shí),所述制備方法,還包括:

      7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備方法,其特征在于,去除所述第一摻雜層的與所述第一區(qū)域相對(duì)的部分之后,所述制備方法,還包括:

      8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制備方法,其特征在于,在所述第一摻雜多晶硅層、第二摻雜多晶硅層以及所述第三表面的與所述第三區(qū)域相對(duì)應(yīng)的部分上均堆疊第一鈍化減反層時(shí),所述制備方法,還包括:

      9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法,其特征在于,所述第一摻雜層為硼硅玻璃層,將所述第一摻雜層的第一摻雜元素?cái)U(kuò)散至所述本征多晶硅層,形成與所述第一區(qū)域相對(duì)的第一摻雜多晶硅層的步驟中,包括:

      10.一種光伏電池,其特征在于,采用權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的制備方法制得。


      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明提供了一種光伏電池及其制備方法,涉及光伏技術(shù)領(lǐng)域。該光伏電池制備方法包括:提供一襯底,襯底具有相對(duì)的第一表面和第二表面,第一表面包括第一區(qū)域、第二區(qū)域以及位于第一區(qū)域與第二區(qū)域之間的第三區(qū)域;在第一表面上依次堆疊第一隧穿氧化層、本征多晶硅層以及第一摻雜層;去除第二區(qū)域上和第三區(qū)域上的第一隧穿氧化層、本征多晶硅層以及第一摻雜層,形成襯底的第三表面;將第一摻雜層的第一摻雜元素?cái)U(kuò)散至本征多晶硅層,形成與第一區(qū)域相對(duì)的第一摻雜多晶硅層;在第三表面的與第二區(qū)域相對(duì)應(yīng)的部分上依次堆疊第二隧穿氧化層、第二摻雜多晶硅層;去除第一摻雜層的與第一區(qū)域相對(duì)的部分。該制備方法可以降低襯底的損耗。

      技術(shù)研發(fā)人員:毛靜,陳斌,蔣秀林
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:晶澳(揚(yáng)州)太陽(yáng)能科技有限公司
      技術(shù)研發(fā)日:
      技術(shù)公布日:2024/12/23
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