1.一種晶圓干燥機(jī)的晶圓支架總成，晶圓干燥機(jī)包括主體、連接于所述主體的干燥槽體、連接于所述干燥槽體且用于向所述干燥槽體內(nèi)注入清洗液的進(jìn)液管、連接于所述干燥槽體且用于向所述干燥槽體內(nèi)注入異丙醇蒸汽的溶液箱、連接于所述干燥槽體且用于排出所述干燥槽體內(nèi)的清洗液的排液管、連接于所述主體且用于將多個晶圓升降至所述干燥槽體內(nèi)的提升機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述晶圓支架總成包括連接于所述干燥槽體的內(nèi)底壁且用于承載多個晶圓的晶圓支架和連接于所述干燥槽體的內(nèi)側(cè)壁且用于配合所述晶圓支架限制多個晶圓的姿態(tài)的限位組件，所述晶圓支架包括連接于所述干燥槽體的支撐組件、多個連接于所述支撐組件的支撐梳板，所述支撐梳板遠(yuǎn)離所述支撐組件的端部沿自身長度方向開設(shè)有多個支撐槽，所述支撐槽形成有兩個分別用于抵靠于晶圓兩側(cè)的支撐斜邊，以使所述支撐斜邊與晶圓點接觸，多個所述支撐梳板間隔連接于所述支撐組件，以使多個支撐梳板沿晶圓邊沿的弧形延伸方向支撐于晶圓的底側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓支架總成，其特征在于，所述支撐組件連接于所述干燥槽體的內(nèi)底壁的支撐部、連接于所述支撐部遠(yuǎn)離所述干燥槽體的內(nèi)底壁的支撐柱、連接于所述支撐柱遠(yuǎn)離所述支撐部的一端的支撐板，多個所述支撐梳板連接于支撐板，所述干燥槽體的內(nèi)底壁開設(shè)有配合所述排液管的排液口，所述排液口位于所述支撐部的底部，所述支撐部通過多個連接柱連接于所述干燥槽體的內(nèi)底壁，以使所述支撐部與所述排液口間隔布置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓支架總成，其特征在于，所述支撐板開設(shè)有多個貫穿自身的排液槽，所述支撐板遠(yuǎn)離所述支撐梳板的一側(cè)連接有導(dǎo)流弧板，所述導(dǎo)流弧板開設(shè)有避讓所述支撐柱的導(dǎo)流孔，所述導(dǎo)流孔與所述支撐柱間隙配合，所述導(dǎo)流孔位于所述導(dǎo)流弧板的最低點，以使所述支撐板上殘留的液體通過所述排液槽、所述導(dǎo)流孔滴流入所述干燥槽體內(nèi)；兩個所述支撐斜邊交匯以使所述支撐槽形成為v型槽，所述支撐梳板的一側(cè)形成為配合v型槽的豎平面，另一側(cè)分別形成兩個配合所述支撐斜邊的導(dǎo)流斜面，兩個所述導(dǎo)流斜面和兩個所述支撐斜邊一一對應(yīng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓支架總成，其特征在于，所述支撐部包括連接于多個所述連接柱的第一連接板、連接于所述第一連接板遠(yuǎn)離所述連接柱的一側(cè)的第二連接板、連接于所述第二連接板遠(yuǎn)離所述第一連接板的一側(cè)的第三連接板、連接于所述第三連接板遠(yuǎn)離所述第二連接板的一側(cè)的第四連接板，所述支撐柱的一端連接于所述第四連接板；
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓支架總成，其特征在于，所述第一連接板的兩個相對的側(cè)邊均螺紋連接有多個用于抵靠于所述干燥槽體的內(nèi)側(cè)壁的第一限位螺栓，所述第一限位螺栓的長度延伸方向與所述第一長圓孔的長度延伸方向同向；
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓支架總成，其特征在于，所述支撐梳板通過螺栓可拆連接于支撐板，所述支撐梳板為三個，三個所述支撐梳板相互平齊，且中間的支撐梳板的支撐槽低于兩側(cè)的支撐梳板的支撐槽；
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓支架總成，其特征在于，所述支撐板的兩個側(cè)邊均開設(shè)有多個第五螺紋孔，安裝于所述支撐板的兩個側(cè)邊的支撐梳板開設(shè)有多個配合所述第五螺紋孔的第六螺紋孔，所述支撐板的兩側(cè)向外延伸形成安裝臺階，所述安裝臺階螺紋連接有多個一端用于抵靠于支撐梳板的底壁的第五限位螺栓。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的晶圓支架總成，其特征在于，所述限位組件包括轉(zhuǎn)動連接于所述干燥槽體的內(nèi)側(cè)壁的旋轉(zhuǎn)件、連接于所述旋轉(zhuǎn)件的限位梳板和連接于所述干燥槽體的外壁且用于驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)件旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動組件，所述限位梳板沿自身長度方向開設(shè)有多個配合所述支撐槽的限位槽，所述限位槽形成有兩個分別用于抵靠于晶圓兩側(cè)的支撐斜面，多個所述限位槽和多個所述支撐槽一一對應(yīng)，所述驅(qū)動組件用于驅(qū)動所述限位梳板靠近所述支撐梳板。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶圓支架總成，其特征在于，所述驅(qū)動組件為兩個，兩個所述驅(qū)動組件分別連接于所述干燥槽體的兩個相對的外壁，所述旋轉(zhuǎn)件包括兩個分別連接于所述驅(qū)動組件的旋轉(zhuǎn)桿、連接于兩個所述旋轉(zhuǎn)桿之間的旋轉(zhuǎn)板組，所述旋轉(zhuǎn)板組包括連接有限位梳板的第五連接板、兩個分別一體成型于所述第五連接板的一端且垂直于所述第五連接板的延伸板、兩個分別連接于兩個所述旋轉(zhuǎn)桿的一端且垂直于所述旋轉(zhuǎn)桿的第六連接板和連接于所述延伸板與所述第六連接板之間的調(diào)節(jié)板；
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶圓支架總成，其特征在于，所述驅(qū)動組件包括連接于所述干燥槽體的外壁的安裝殼、連接于所述安裝殼內(nèi)的安裝板架、連接于所述安裝板架的旋轉(zhuǎn)氣缸，所述旋轉(zhuǎn)件連接于所述旋轉(zhuǎn)氣缸的輸出軸。
11.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓支架總成，其特征在于，所述第一連接板連接有多個用于支撐所述提升機(jī)構(gòu)的托板的定位柱，四個所述定位柱的一端均穿出至所述第二連接板的頂部，四個所述定位柱的高度從高到低依次減小。
12.一種晶圓干燥機(jī)的提升機(jī)構(gòu)，晶圓干燥機(jī)包括主體、連接于所述主體的干燥槽體、連接于所述主體且用于將多個晶圓升降至所述干燥槽體內(nèi)的提升機(jī)構(gòu)，所述干燥槽體連接有根據(jù)權(quán)利要求1-11任意一項所述的晶圓支架總成，其特征在于，所述提升機(jī)構(gòu)包括連接于所述主體的電動滑臺、連接于所述電動滑臺的滑塊的第一安裝板組、連接于所述第一安裝板組遠(yuǎn)離所述滑塊的一端的第二安裝板組、連接于所述第二安裝板組遠(yuǎn)離所述第一安裝板組的一端的牽拉板、連接于所述牽拉板遠(yuǎn)離所述第二安裝板組的支撐框、連接于所述支撐框內(nèi)且用于支撐晶圓盒的托板，所述托板的一側(cè)連接有多個配合所述晶圓盒的定位件。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的提升機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述支撐框的兩個相對的內(nèi)側(cè)壁分別連接有用于支撐所述托板的支撐件，所述支撐件包括通過緊固件連接于支撐框的支撐塊和連接于所述支撐塊的定位塊，所述托板開設(shè)有貫穿自身且配合所述定位塊的定位槽，所述托板遠(yuǎn)離所述定位件的一側(cè)開設(shè)有多個配合晶圓支架的定位柱的定位孔。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的提升機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第二安裝板組包括連接于所述第一安裝板組的第一安裝板、連接于所述第一安裝板遠(yuǎn)離所述第一安裝板組的一端的第二安裝板和連接于所述第二安裝板遠(yuǎn)離所述第一安裝板的一端的第三安裝板，所述牽拉板連接于所述第三安裝板；
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的提升機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第三安裝板通過多個緊固件連接于所述第二安裝板，所述第三安裝板螺紋連接有多個一端抵靠于所述第二安裝板的第六限位螺栓，以調(diào)節(jié)所述第三安裝板和所述第二安裝板之間的間距，所述第三彎折板螺紋連接有多個一端抵靠于所述第二彎折板的外壁的第七限位螺栓，以調(diào)節(jié)所述第三彎折板和所述第二彎折板之間的間距。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的提升機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第三安裝板與所述第二安裝板之間連接有萬向軸承。
17.一種晶圓干燥機(jī)，其特征在于，包括主體、連接于所述主體的干燥槽體、連接于所述主體且用于將多個晶圓升降至所述干燥槽體內(nèi)的提升機(jī)構(gòu)，所述干燥槽體連接有根據(jù)權(quán)利要求1-11任意一項所述的晶圓支架總成，所述提升機(jī)構(gòu)為根據(jù)權(quán)利要求12-16任意一項所述的提升機(jī)構(gòu)。