技術(shù)特征：

1.一種激光器，其特征在于，所述激光器包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器，其特征在于，所述第一溝道所在區(qū)域包括緊鄰所述第一波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的第一區(qū)域和緊鄰所述脊波導(dǎo)的第二區(qū)域；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光器，其特征在于，所述激光器還包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光器，其特征在于，所述激光器還包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光器，其特征在于，所述第一模式轉(zhuǎn)換器包括交替排列的第一高階模耗散溝道和第一耗散波導(dǎo)；

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光器，其特征在于，所述第一模式轉(zhuǎn)換器和所述第二模式轉(zhuǎn)換器均包含用于改變光的傳播方向和模式的傾斜面；

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光器，其特征在于，所述第一耗散波導(dǎo)和所述第二耗散波導(dǎo)采用表面等離子體結(jié)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器，其特征在于，所述激光器還包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光器，其特征在于，所述激光器還包括：

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器，其特征在于，所述有源區(qū)的寬度范圍為0.6微米至10微米；

11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光器，其特征在于，所述脊波導(dǎo)，所述第一波導(dǎo)結(jié)構(gòu)和所述第二波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的厚度范圍均為0.2微米至0.5微米；或，所述脊波導(dǎo)，所述第一波導(dǎo)結(jié)構(gòu)和所述第二波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的厚度范圍均為1.5微米至4微米；

12.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光器，其特征在于，所述脊波導(dǎo)，所述第一波導(dǎo)結(jié)構(gòu)和所述第二波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的材料包括硅、氮化硅、銦鎵砷磷、聚合物中的其中之一或組合；

13.一種如權(quán)利要求1至12任一項(xiàng)所述激光器的制備方法，其特征在于，包括：

14.一種光模塊，其特征在于，包括：電路板，與所述電路板電性連接的光發(fā)射部件；其中，所述光發(fā)射部件包括如權(quán)利要求1至12任一項(xiàng)所述的激光器。

15.一種電子設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求14所述的光模塊。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及光電子器件技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種激光器及其制備方法、光模塊、電子設(shè)備，包括：襯底；層疊設(shè)置在襯底上的有源區(qū)和脊波導(dǎo)；位于脊波導(dǎo)兩側(cè)的第一溝道和第二溝道；位于第一溝道遠(yuǎn)離脊波導(dǎo)一側(cè)的第一波導(dǎo)結(jié)構(gòu)；位于第二溝道遠(yuǎn)離脊波導(dǎo)一側(cè)的第二波導(dǎo)結(jié)構(gòu)；第一波導(dǎo)結(jié)構(gòu)和第二波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，用于將高階模耦合至輸出端口之外的光路。這樣利用雙溝道脊波導(dǎo)中的兩側(cè)的溝道和波導(dǎo)結(jié)構(gòu)可以對激光器基膜以外的光模式進(jìn)行過濾，實(shí)現(xiàn)高階模過濾，增加高階模光能量的損耗，防止高階模光能量對脊波導(dǎo)的影響，進(jìn)而提高激光器的單模性能，增加激光器輸出光的穩(wěn)定性，避免了在制備工藝中脊波導(dǎo)尺寸一旦偏離設(shè)計(jì)值就出現(xiàn)部分高階模無法消除的缺陷。

技術(shù)研發(fā)人員：張峰,趙坤,冬翊喬,左乙喬,戚大偉,朱科建
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浪潮計(jì)算機(jī)科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19