具有多臂的搬運機器人的制作方法
【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及具有多臂的搬運機器人，尤其涉及一種能夠進行多臂的個別驅動，并 能夠同時裝載及提起按既定節(jié)距單位上下裝載的貨物（基板或晶片等）的具有多臂的搬運 機器人。
【背景技術】
[0002] 在半導體設備或液晶顯示裝置等制造工藝中，對半導體晶片或液晶顯示裝置用玻 璃基板等的基板執(zhí)行引入及提起過程。
[0003] 基板處理裝置（搬運機器人）為研發(fā)并使用雙臂機器人、由多臂構成的搬運機器 人等，并且，一般包括：搬運器支撐部，支撐多個搬運器；基板處理部，處理基板；旋轉單元， 在搬運器支撐部和基板處理部之間上下層疊；分度器機器人（indexerrobot)，在各個旋轉 單元和搬運器支撐部之間搬運基板；主搬運機器人，在各個旋轉單元和基板處理部之間搬 運基板。
[0004] 該搬運機器人用于從根本上更有效地輸送晶片、基板或貨物，由此，以縮短作業(yè)節(jié) 拍時間（TackTime)，提高工藝效率為研發(fā)方向。
[0005] 由從用于搬運一個基板的具有一只臂的搬運機器人研發(fā)了具有雙臂的搬運 機器人，并以改善雙臂的結構而進行更有效的工藝為目的，公開有韓國公開專利文獻 10-2008-0047205號（搬運基板機器人）及韓國公開專利文獻10-2012-0007449號（基板 處理裝置及基板搬運方法）。
[0006] 韓國公開專利文獻10-2008-0047205號公開有能夠獨立旋轉移動并同時上下移 動的具有多臂而能夠有效實現(xiàn)搬運基板的搬運基板機器人。
[0007] 韓國公開專利文獻10-2008-0047205號，在設置于東西南北四個方向而從各個方 向能夠搬運貨物的結構這一層面上具有優(yōu)點，但因向東西南北四個方向獨立地運行，因此， 在直線式工藝或向一個方向進行的工藝中，具有不便于使用的缺點。
[0008] 韓國公開專利文獻10-2012-0007449號提供一種用于增加基板處理裝置的吞吐 量（throughput，單位時間的基板的處理數(shù)量），縮短分度器機器人及主搬運機器人的待機 時間的搬運機器人。
[0009] 韓國公開專利文獻10-2012-0007449號具有縮短工藝時間的優(yōu)點，但具有如下缺 點，因是單臂上附著有多只機械手的結構，而必須同時驅動，并且通過多只機械手的結構， 只有處于既定間距的情況下，才能搬運多個貨物。
[0010] 現(xiàn)有技術文獻
[0011] 專利文獻
[0012] 專利文獻1 韓國公開專利文獻第10-2008-0047205號
[0013] 專利文獻2 韓國公開專利文獻第10-2012-0007449號

【發(fā)明內容】

[0014] 發(fā)明要解決的問題
[0015] 本發(fā)明的目的為提供一種通過相同水平方向的直線運動，能夠同時或個別地搬運 貨物的具有多臂的搬運機器人。
[0016] 并且，本發(fā)明的目的為提供一種在直線式（In-Line)工藝及一個方向連續(xù)的工藝 中，通過同時輸送一張至四張貨物，引導進行快速的工藝流程，縮短工藝時間并能夠提高工 藝效率的具有多臂的搬運機器人。
[0017] 用于解決問題的方案
[0018] 為了解決如上所述的問題，本發(fā)明的具有多臂的搬運機器人包括第1至第4機器 人臂，該第1至第4機器人臂分別具有分別搬運貨物的第1至第4機械手，該第1至第4機 械手具有相同的運動路徑并排列成"口"字形狀，通過所述第1至第4機器人臂，能夠將所 述貨物同時或分別從一個相同位置提起、搬運或裝載至另一個相同位置，由此能夠同時搬 運多個貨物，從而縮短作業(yè)節(jié)拍時間（TACTTME)。
[0019] 在此，在所述第1至第4機器人臂各自的外側面通過導軌接合有"n"字形狀或 "字形狀的機械手底座。
[0020] 在此，所述第1至第4機器人臂各自的內側面通過導軌與水平引導器接合，從而進 行水平直線運動。
[0021] 在此，所述水平引導器的上端水平引導器和下端水平引導器上下排列，位于上側 的第1及第2機器人臂分別通過導軌接合至所述上端水平引導器的兩側面，位于下側的第 3及第4機器人臂分別通過導軌接合至所述下端水平引導器的兩側面。
[0022] 在此，上端垂直滑動器及下端垂直滑動器分別借助連接部件連接至所述上端水平 引導器的上側面及所述下端水平引導器的下側面。
[0023] 在此，所述上端垂直滑動器及下端垂直滑動器連接于垂直部件，在上下垂直方向 上進行往復運動。
[0024] 在此，所述垂直部件在下端部與旋轉部件連接，通過所述旋轉部件使所述機器人 臂進行旋轉。
[0025] 在此，所述旋轉部件在下端部與滑動器底座連接，所述滑動器底座在兩端與導軌 接合，進行左右水平直線運動。
[0026] 在此，所述第1至第4機器人臂通過旋轉部件，能夠進行旋轉，當所述第1至第4機 器人臂及所述第1至第4機械手在不進行水平直線移動的位置裝載有所述貨物的狀態(tài)時， 所述貨物的中心點和所述旋轉部件的旋轉中心軸線位于相同線上，由此能夠縮短搬運機器 人的旋轉半徑，而提高作業(yè)空間的效率。
[0027] 在此，優(yōu)選的是，當通過所述第1至第4機器人臂，同時提起、搬運或裝載所述貨物 時，所述貨物的中心點成為在相同線上上下垂直排列的狀態(tài)。
[0028] 并且，本發(fā)明的具有多臂的搬運機器人包括第1至第3機器人臂，該第1至第3機 器人臂分別具有分別搬運貨物的第1至第3機械手，該第1至第3機械手具有相同的運動 路徑并排列成" 字形狀或"n"字形狀，通過所述第1至第3機器人臂，能夠將所述貨物 同時或分別從一個相同位置提起、搬運或裝載至另一個相同位置。
[0029] 發(fā)明效果
[0030] 上述本發(fā)明的結構具有如下優(yōu)點，能夠按照相同的水平方向的直線運動，同時或 個別搬運貨物，在直線式（In-Line)工藝及一個方向連續(xù)的工藝中，通過同時輸送三張或 四張貨物，引導進行快速工藝流程，從而縮短工藝時間而提高工藝效率。
【附圖說明】
[0031] 圖1為本發(fā)明的具有多臂的搬運機器人的剖視圖；
[0032] 圖2為本發(fā)明的具有多臂的搬運機器人的正面圖；
[0033] 圖3為本發(fā)明的具有多臂的搬運機器人的第1機器人臂的水平前進的狀態(tài)圖；
[0034] 圖4為本發(fā)明的具有多臂的搬運機器人的第2機器人臂的水平前進的狀態(tài)圖；
[0035] 圖5為本發(fā)明的具有多臂的搬運機器人的第3機器人臂的水平前進的狀態(tài)圖；
[0036] 圖6為本發(fā)明的具有多臂的搬運機器人的第4機器人臂的水平前進的狀態(tài)圖；
[0037] 圖7為本發(fā)明的具有多臂的搬運機器人的多臂整體水平前進的狀態(tài)圖；
[0038] 圖8為本發(fā)明的另一實施例的具有多臂的搬運機器人的結構圖。
[0039] 附圖標記說明
[0040] 10:多臂機器人 11:底座框架
[0041] 12:滑動器底座 13:導軌盒子
[0042] 14:導軌 15a:旋轉部件
[0043] 15b:垂直部件 16:旋轉中心軸
[0044] 17a、17b:垂直滑動器 18a、18b:連接部件
[0045] 19a、19b:水平引導器 20a、20b、20c、20d:機器人臂
[0046] 21a、21b、21c、21d:機械手底座
[0047] 22a、22b、22c、22d:機械手
[0048] 23:貨物 24:固定裝置
[0049] 25:限位器
【具體實施方式】
[0050] 下面，參照附圖對本發(fā)明的具有多臂（MultipleArm)的搬運機器人的結構及作用 效果進行說明。
[0051] 圖1為本發(fā)明的具有多臂的搬運機器人的剖視圖，圖2為本發(fā)明的具有多臂的搬 運機器人的正面圖，圖1(A)和（B)為分別從不同的角度顯示的剖視圖。
[0052] 如圖1及圖2所示，本發(fā)明的具有多臂的搬運機器人（10)包括：底座框架（11)、 滑動器底座（12)、導軌盒子（13)、導軌（14)、旋轉部件（15a)、垂直部件（15b)、上下端垂直 滑動器（17a、17b)、上下端連接部件（18a、18b)、上下端水平引導器（19a、19b)、第1至第4 機器人臂（20a至20d)、上下端機械手底座（21a、21b)及第1至第4機械手（22a至22d)。
[0053] 底座框架（11)支撐多臂機器人（10)，并由四個框架形狀形成，根據(jù)需要，安裝便 于移動的滑輪，并安裝有多個固定裝置（24)，以防止機器人運轉時發(fā)生移動。并且，為了確 認多臂機器人（10)的左右移動距離，底座框架（11)安裝有限位器（25)。
[0054] 滑動器底座（12)形成至底座框架（11)的內側，底座框架（11)的兩側上形成有用 于水平移動滑動器底座（12)的導軌（14)。
[0055] 導軌（14)通過導軌盒子（13)覆蓋，安裝有向導軌盒子（13)內傳輸電源及控制信 號的線纜（未圖示）。
[0056] 滑動器底座（12)與兩側的導軌（14)連接，能夠進行左右水平移動，旋轉部件 (15a)形成于中心上端，旋轉部件（15a)的前端形成有垂直部件（15b)。旋轉部件（15a)的 中心形成有旋轉中心軸（16)。
[0057] 旋轉部件（15a)以旋轉中心軸（16)為基準，使第1至第4機器人臂（20a至20d) 旋轉360度，垂直部件（15b)能夠使第1至第4機器人臂（20a至20d)進行上下往復直線 運動。
[0058] 垂直部件（15b)的一側面形成有導軌，該導軌接合有上端垂直滑動器（17a)和下 端垂直滑動器（17b)，上下端垂直滑動器（17a、17b)同時進行上下往復直線運動。
[0059] 在上下端垂直滑動器（17a、17b)的前端，上端連接部件（18a)和下端連接部件 (18b)以分別相對的方向形成，并且，上端水平引導器（19a)被連接至上端連接部件（18a) 的下側，下端水平引導器（19b)被連接至下端連接部件（18b)的上側。
[0060] 上端水平引導器（18a)的兩側面形成有導軌，該導軌接合有第1及第2機器人臂 (20a、20b)，下端水平引導器（18b)的兩側面形成有導軌，該導軌接合有第3及第4機器人 臂（20c、20d)。
[0061] 第1至第4機器人臂（20a至20d)成方格式排列，即第1及第4機器人臂（20a、 20d)和第2及第3機器人臂（20b、20c)分別以相互對角方向配置，第1及第2機