>[0107] 將該絕緣性硅橡膠組合物片材貼合在前面的一體化制品的導(dǎo)電性硅橡膠制電極 圖案面上后，使用50噸熱壓成型機(jī)在壓力5MPa、溫度160°C的條件下加壓、加熱10分鐘，從 而使絕緣性硅橡膠組合物固化。將聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯制膜剝離，在干燥機(jī)中溫度200°C 下熱處理4小時(shí)，使揮發(fā)成分除去后，在圖1和圖2的A和B位置的絕緣性硅橡膠中開孔， 使導(dǎo)電性娃橡膠面露出。
[0108] 通過以上的工序，制作在厚0? 2mm和厚0? 5mm的絕緣性硅橡膠中埋設(shè)了導(dǎo)電性硅 橡膠制電極圖案的全硅橡膠制的簡便的靜電吸盤。
[0109][實(shí)施例3]
[0110] 在將有機(jī)硅樹脂質(zhì)共聚物配合的液體的絕緣性硅橡膠材料KE-1934A/B[商品名、 信越化學(xué)工業(yè)（株）制]的A和B以1 :1的比率混合的100質(zhì)量份中，添加混合作為導(dǎo)電 性填料的使玻璃珠被覆有銀的銀玻璃珠S-5000-S3[商品名、7夕一文' ?A口于〃一二 (株）制]250質(zhì)量份，調(diào)制液體的未固化的導(dǎo)電性硅橡膠組合物。
[0111] 將該導(dǎo)電性硅橡膠組合物脫泡后，在聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯制的厚1〇〇ym的工 序膜的噴砂面上排出規(guī)定量。設(shè)置厚〇. 2mm的不銹鋼制的框體，從上放置聚對(duì)苯二甲酸乙 二醇酯制的厚100Um的膜的光澤面?zhèn)龋?片厚3mm的不銹鋼板夾持它們的上下。使用50 噸熱壓成型機(jī)，在壓力5MPa、溫度120°C的條件下加壓、加熱10分鐘，從而使導(dǎo)電性硅橡膠 組合物固化后，將光澤面?zhèn)鹊木蹖?duì)苯二甲酸乙二醇酯制膜剝離。該導(dǎo)電性硅橡膠片材的厚 度為0.2mm，體積電阻率為0.0001Q.m。
[0112] 接下來，使用切割繪圖儀，不切割聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯制工序膜而將導(dǎo)電性硅 橡膠片材切割為圖1的電極寬〇. 6mm、電極間0. 5mm的雙極結(jié)構(gòu)的梳齒電極圖案形狀。將電 極間、電極圖案外周部的不需要的導(dǎo)電性硅橡膠部分從聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯制工序膜剝 離除去，制作導(dǎo)電性硅橡膠制電極圖案。
[0113] 除了導(dǎo)電性硅橡膠制電極圖案的制作以外，采用與實(shí)施例1、2同樣的工序，制作 在厚0. 2mm和厚0. 5mm的絕緣性娃橡膠中埋設(shè)了導(dǎo)電性娃橡膠制電極圖案的全娃橡膠制的 簡便的靜電吸盤。
[0114][比較例1]
[0115] 在絕緣性硅橡膠材料KE-561-U[前述]100質(zhì)量份中，添加作為固化劑的有機(jī)過氧 化物糊C-8 [前述]2質(zhì)量份，用雙輥混煉后，分出為厚0. 5mm后，在聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯 制的厚100Um的膜的噴砂面上層疊，調(diào)制未固化的絕緣性硅橡膠組合物片材。
[0116] 將該絕緣性硅橡膠組合物片材設(shè)置在厚0. 5mm的不銹鋼制的框體內(nèi)，從上放置聚 對(duì)苯二甲酸乙二醇酯制的厚100um的膜的光澤面?zhèn)?，?片厚3_的不銹鋼板夾持它們的 上下。接下來，使用50噸熱壓成型機(jī)，在壓力5MPa、溫度160°C的條件下加壓、加熱10分 鐘，從而使絕緣性硅橡膠組合物固化后，將兩面的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯制膜剝離，得到了 絕緣性硅橡膠片材。
[0117] 在該絕緣性硅橡膠片材的光澤面上，使用圖1的圖案形狀的150目的絲網(wǎng)印刷版， 將實(shí)施例3中調(diào)制的液體的未固化的導(dǎo)電性硅橡膠組合物絲網(wǎng)印刷后，在120°C的干燥機(jī) 中放置10分鐘，使導(dǎo)電性硅橡膠組合物固化，制作厚0. 〇4_的導(dǎo)電性硅橡膠制電極圖案。 該導(dǎo)電性硅橡膠的體積電阻率為0.0002Q?m。由于加壓、加熱成型時(shí)電極圖案崩塌，因此 在無加壓下加熱，因此比實(shí)施例3的導(dǎo)電性硅橡膠的體積電阻率高。此外，在電極圖案的外 周看到網(wǎng)眼痕跡的微細(xì)的凹凸。有可能從該凸部的突起部產(chǎn)生放電，電極間的耐電壓降低。
[0118] 在絕緣性硅橡膠材料KE-561-U[前述]100質(zhì)量份中，添加作為固化劑的有機(jī)過氧 化物糊C-8 [前述]2質(zhì)量份，用雙輥混煉后，分出為厚0. 2mm后，在聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯 制的厚100Um的膜的噴砂面上層疊，調(diào)制未固化的絕緣性硅橡膠組合物片材。
[0119] 采用與實(shí)施例1、2同樣的工序?qū)⒃摻^緣性硅橡膠組合物片材貼合到導(dǎo)電性硅橡 膠制電極圖案面上，加壓、加熱固化，制作在厚〇. 2_和厚0. 5_的絕緣性硅橡膠中埋設(shè)了 導(dǎo)電性硅橡膠制電極圖案的全硅橡膠制的簡便的靜電吸盤。
[0120] [比較例2]
[0121] 在絕緣性硅橡膠材料KE-561-U[前述]100質(zhì)量份中，添加作為固化劑的有機(jī)過氧 化物糊C-8 [前述]2質(zhì)量份，用雙輥混煉后，分出為厚0. 5mm后，在聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯 制的厚100Um的膜的噴砂面上層疊，調(diào)制未固化的絕緣性硅橡膠組合物片材。
[0122] 在厚40iim的電解銅箔涂布7 5 4 ^ -No. 34T[商品名、信越化學(xué)工業(yè)（株）制]， 在室溫下風(fēng)干30分鐘。將未固化的絕緣性硅橡膠組合物片材貼合于銅箔的底漆涂布面，使 用50噸熱壓成型機(jī)，在壓力5MPa、溫度160°C的條件下加壓、加熱10分鐘，從而使絕緣性硅 橡膠組合物固化，與銅箔一體化后，將聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯制膜剝離。
[0123] 接下來，以圖1中所示的圖案形狀，將抗蝕劑涂布于銅箔后，通過化學(xué)蝕刻將無抗 蝕劑的銅箔除去。將抗蝕劑洗凈除去，在絕緣性硅橡膠片材上形成了銅箔制電極圖案。
[0124] 在絕緣性硅橡膠材料KE-561-U[前述]100質(zhì)量份中，添加作為固化劑的有機(jī)過氧 化物糊C-8 [前述]2質(zhì)量份，用雙輥混煉后，分出為厚0. 2mm后，在聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯 制的厚100Um的膜的噴砂面上層疊，調(diào)制未固化的絕緣性硅橡膠組合物片材。
[0125] 在上述絕緣性硅橡膠片材上的銅箔制電極圖案表面涂布^ 4 7 -No. 34T[前 述]，在室溫下風(fēng)干30分鐘后，將未固化的絕緣性硅橡膠組合物片材貼合，使用50噸熱壓成 型機(jī)，在壓力5MPa、溫度160°C的條件下加壓、加熱10分鐘，從而使絕緣性硅橡膠組合物固 化，將聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯制膜剝離。在干燥機(jī)中溫度200°C下熱處理4小時(shí)，將揮發(fā)成 分除去后，在圖1的A和B位置的絕緣性硅橡膠中開孔，使銅箔面露出。
[0126] 通過以上的工序，制作在厚0? 2mm和厚0? 5mm的絕緣性娃橡膠中埋設(shè)了銅箔制電 極圖案的簡便的靜電吸盤。
[0127][吸附力的顯現(xiàn)程度的評(píng)價(jià)方法]
[0128] 從直流電源向各靜電吸盤的A的端子部施加直流電壓+2kV，向B的端子部施加直 流電壓-2kV，對(duì)于厚0. 2_的絕緣性硅橡膠面?zhèn)群秃?. 5_的絕緣性硅橡膠面?zhèn)雀髯源_認(rèn) 相對(duì)于厚50ym的銅箔（導(dǎo)電性被粘附體）和厚50ym的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯（PET)制 膜（絕緣性被粘附體）的吸附力的顯現(xiàn)程度，按照下述標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行評(píng)價(jià)。進(jìn)而，將各靜電吸盤 在A-B的方向拉伸50%的狀態(tài)下保持，同樣地確認(rèn)吸附力的顯現(xiàn)程度，按照下述標(biāo)準(zhǔn)評(píng)價(jià)。 將結(jié)果不于表1和表2。
[0129] ◎:顯現(xiàn)強(qiáng)的吸附力
[0130] 〇：顯現(xiàn)吸附力
[0131]A:顯現(xiàn)弱的吸附力
[0132] X:沒有顯現(xiàn)吸附力
[0133][表1]
[0134]
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 導(dǎo)電性娃橡膠制電極圖案的制作方法，其特征在于，將導(dǎo)電性娃橡膠組合物制成片 材、與工序膜層疊后，使導(dǎo)電性娃橡膠組合物的片材固化，沒有切割工序膜而只將導(dǎo)電性娃 橡膠片材切割為電極圖案形狀后，將多余的導(dǎo)電性娃橡膠片材從工序膜剝離除去。
2. 權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電性娃橡膠制電極圖案的制作方法，其特征在于，采用切割繪 圖儀將導(dǎo)電性娃橡膠片材切割為電極圖案形狀。
3. 權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電性娃橡膠制電極圖案的制作方法，其特征在于，工序膜是具 有耐熱性和柔軟性的樹脂膜。
4. 權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電性娃橡膠制電極圖案的制作方法，其特征在于，將導(dǎo)電性娃 橡膠組合物的片材層疊于對(duì)工序膜進(jìn)行噴砂加工而粗面化的面。
5. 權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電性娃橡膠制電極圖案的制作方法，其特征在于，導(dǎo)電性娃橡 膠是配合炭黑而成的導(dǎo)電性娃橡膠組合物的固化物，其體積電阻率為0. 001?1 Q ?m的范 圍。
6. 權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電性娃橡膠制電極圖案的制作方法，其特征在于，導(dǎo)電性娃橡 膠片材的厚度為0. 03?2. 0mm的范圍。
7. 全娃橡膠制靜電吸盤，特征在于，其是將采用權(quán)利要求1?6的任一項(xiàng)所述的方法得 到的導(dǎo)電性娃橡膠制電極圖案埋設(shè)在絕緣性娃橡膠的內(nèi)部而成的，具有伸縮性。
8. 全娃橡膠制靜電吸盤的制造方法，其特征在于，在采用權(quán)利要求1?6的任一項(xiàng)所述 的方法得到的導(dǎo)電性娃橡膠制電極圖案的與工序膜相反的面上，層疊絕緣性娃橡膠組合物 后，使該絕緣性娃橡膠組合物固化而一體化，進(jìn)而將工序膜剝離，在剝離面的導(dǎo)電性娃橡膠 制電極圖案上層疊絕緣性娃橡膠組合物后使絕緣性娃橡膠組合物固化而一體化。
【專利摘要】本發(fā)明提供能夠用導(dǎo)電性硅橡膠加工細(xì)密的電極圖案形狀的導(dǎo)電性硅橡膠制電極圖案的制作方法、將該導(dǎo)電性硅橡膠制電極圖案埋設(shè)在絕緣性硅橡膠的內(nèi)部而成的具有伸縮性的全硅橡膠制靜電吸盤及其制造方法。導(dǎo)電性硅橡膠制電極圖案的制作方法，其特征在于，將導(dǎo)電性硅橡膠組合物制成片材，與工序膜層疊后使導(dǎo)電性硅橡膠組合物的片材固化，沒有切割工序膜而只將導(dǎo)電性硅橡膠片材切割為電極圖案形狀后，將多余的導(dǎo)電性硅橡膠片材從工序膜剝離除去。
【IPC分類】H02N13-00, H01L21-683
【公開號(hào)】CN104576485
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410444513
【發(fā)明人】中野昭生, 依田昌弘
【申請(qǐng)人】株式會(huì)社信科模具
【公開日】2015年4月29日
【申請(qǐng)日】2014年9月3日