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      用于制造嚴(yán)密密封的腔的設(shè)備和方法_2

      文檔序號:8324049閱讀:來源:國知局
      能夠具有出自下述的材料中的材料或者材 料混合物:半導(dǎo)體材料:元素半導(dǎo)體:硅、鍺、a-錫、碳化合物、例如富勒烯、硼、硒、碲;化 合物半導(dǎo)體:銦、鎵、砷、磷、銻、氮、鋅、鎘、鈹、汞;有機(jī)半導(dǎo)體:四苯、并五苯、酞菁、聚噻吩、 PTCDA、MePT⑶T、喹吖啶酮、叮啶酮、陰丹酮、黃烷、紫環(huán)酮、Alq3;以及混合體系:聚乙烯咔 唑、TCNQ絡(luò)合物。
      [0026] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第一載體能夠具有有機(jī)材料或者由其形成。
      [0027] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第一載體的材料能夠具有出自下述材料中的材料或者由其 形成:聚烯烴(例如高密度或者低密度的聚乙烯(PE)或者聚丙烯(PP))、聚氯乙烯(PVC)、 聚苯乙烯(PS)、聚酯、聚碳酸酯(PC)、聚對苯二甲酸乙二酯(PET)、聚醚砜(PES)、聚萘二甲 酸(PEN)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚酰亞胺(PI)、聚醚酮(PEEK)。
      [0028] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第一載體能夠具有有機(jī)無機(jī)混合材料或者由其形成。
      [0029] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第一載體的材料能夠具有由有機(jī)改性的陶瓷構(gòu)成的材料組 中的材料或者由其形成。
      [0030] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第一載體能夠具有材料混合物或者由其形成。
      [0031] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第一載體的材料能夠具有出自下述材料中的材料混合物或 者由其形成:無機(jī)材料、有機(jī)材料和/或混合材料。
      [0032] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第一載體能夠具有從大約1. 0ym至大約5ym的厚度,其中 所述載體是自承式的。
      [0033] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第一載體能夠具有大約5ym至大約200ym的厚度。
      [0034] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第一載體能夠具有大約200ym至大約20cm的厚度。
      [0035]在又一個設(shè)計(jì)方案中,第一載體的表面能夠具有結(jié)構(gòu)化部。
      [0036] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第一載體的表面能夠具有在微觀上改變的表面形貌。
      [0037] 表面形貌在此能夠具有周期性地、任意地或者分離地設(shè)置的隆起部和/或凹陷 部,所述隆起部和/或凹陷部具有大約l〇〇nm至大約5cm的高度或深度和大約100nm至大 約lm的長度和/或?qū)挾?。隆起部或者凹陷部能夠具有任意可以想象的幾何形狀,例如球?或者截球、例如半球或者2/3球、柱形、立方體形、金字塔形或者具有三個或者更多個側(cè)面 的多邊形,或者具有在幾何上復(fù)雜的形狀,例如呈鉤或者環(huán)、例如孔眼的形狀。
      [0038] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第一載體的表面能夠具有不同的ALD前驅(qū)體和/或不同的 MLD前驅(qū)體。
      [0039] 表面的形貌結(jié)構(gòu)化的區(qū)域例如能夠具有其它的ALD前驅(qū)體和/或其它的MLD前驅(qū) 體作為未結(jié)構(gòu)化的區(qū)域。
      [0040] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第二載體能夠具有機(jī)械彈性。
      [0041] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第二載體能夠是面狀的。
      [0042] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第二載體能夠具有在幾何上復(fù)雜的三維形狀,例如罐形、桶 形、管形、翼形、船身形。
      [0043] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第二載體能夠具有關(guān)于有害材料例如水和/或氧的擴(kuò)散阻 擋部。
      [0044] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第二載體的材料或者材料混合物能夠具有關(guān)于有害材料例 如水和/或氧的固有的擴(kuò)散阻擋部。
      [0045] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第二載體能夠具有第二系統(tǒng)載體和第二封裝層或者由其形 成,并且第二載體的關(guān)于有害材料例如水和/或氧的擴(kuò)散阻擋部能夠借助于第二封裝層構(gòu) 成。系統(tǒng)載體在此能夠被理解為自承式的襯底,例如薄膜或者玻璃襯底,其中系統(tǒng)載體也能 夠僅借助于封裝層嚴(yán)密密封從而能夠成為嚴(yán)密密封的載體。
      [0046] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第二載體能夠具有無機(jī)材料或者由其形成。
      [0047] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第二載體的材料能夠具有出自下述材料中的材料或者合 金:鐵、鋼、錯、銅、銀、金、?巴、鎂、鈦、鉬、鎳、錫、鋅。
      [0048] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第二載體的材料能夠具有出自下述材料中的材料:玻璃、石 英玻璃、藍(lán)寶石、碳化硅、石墨烯、金剛石。
      [0049] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第二載體的材料能夠具有出自下述材料中的材料:半導(dǎo)體 材料:硅、鍺、a-錫、碳化合物例如富勒烯、硼、硒、碲;化合物半導(dǎo)體:銦、鎵、砷、磷、銻、氮、 鋅、鎘、鈹、汞;有機(jī)半導(dǎo)體:四苯、并五苯、酞菁、聚噻吩、PTCDA、MePT⑶T、喹吖啶酮、叮啶 酮、陰丹酮、黃烷、紫環(huán)酮、Alq3 ;以及混合體系:聚乙烯咔唑、TCNQ絡(luò)合物。
      [0050] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第二載體能夠具有有機(jī)材料或者由其形成。
      [0051] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第二載體的材料能夠具有出自下述材料中的材料或者由其 形成:聚烯烴(例如高密度或者低密度的聚乙烯(PE)或者聚丙烯(PP))、聚氯乙烯(PVC)、 聚苯乙烯(PS)、聚酯、聚碳酸酯(PC)、聚對苯二甲酸乙二酯(PET)、聚醚砜(PES)、聚萘二甲 酸(PEN)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚酰亞胺(PI)、聚醚酮(PEEK)。
      [0052] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第二載體能夠具有有機(jī)無機(jī)混合材料或者由其形成。
      [0053]在又一個設(shè)計(jì)方案中,第二載體的材料能夠具有由有機(jī)改性的陶瓷構(gòu)成的材料的 組中的材料或者由其形成。
      [0054]在又一個設(shè)計(jì)方案中,第二載體能夠具有材料混合物或者由其形成。
      [0055]在又一個設(shè)計(jì)方案中,第二載體的材料能夠具有出自下述材料中的材料混合物或 者由其形成:無機(jī)材料、有機(jī)材料和/或混合材料。
      [0056] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第二載體能夠具有大約0.lym至大約5ym的厚度,其中所 述載體是自承式的。
      [0057]在又一個設(shè)計(jì)方案中,第二載體能夠具有大約5ym至大約200ym的厚度。
      [0058] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第二載體能夠具有大約200ym至大約20cm的厚度。
      [0059]在又一個設(shè)計(jì)方案中,第二載體的表面能夠具有結(jié)構(gòu)化部。
      [0060] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第二載體的表面能夠具有在微觀上改變的表面形貌。
      [0061] 表面形貌在此能夠具有周期性地、任意地或者分離地設(shè)置的隆起部和/或凹陷 部,所述隆起部和/或凹陷部具有大約l〇〇nm至大約5cm的高度或深度和大約100nm至大 約100m的長度和/或?qū)挾取B∑鸩炕蛘甙枷莶磕軌蚓哂腥我饪梢韵胂蟮膸缀涡螤?,例如?形或者球截、例如半球或者2/3球、柱形、立方體形、金字塔形或者具有三個或者更多個側(cè) 面的多邊形,或者具有在幾何上復(fù)雜的形狀,例如呈鉤或者環(huán)、例如孔眼的形狀。
      [0062] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第二載體的表面能夠具有不同的ALD前驅(qū)體和/或不同的MLD前驅(qū)體。
      [0063] 表面的形貌結(jié)構(gòu)化的區(qū)域例如能夠具有其它的ALD前驅(qū)體和/或其它的MLD前驅(qū) 體作為未結(jié)構(gòu)化的區(qū)域。結(jié)構(gòu)化的或者未結(jié)構(gòu)化的區(qū)域在此涉及表面平面的高度水平,所 述表面平面構(gòu)成載體表面的主要部分。
      [0064] 在又一個設(shè)計(jì)方案中,第一載體的化學(xué)結(jié)構(gòu)化的和/或形貌結(jié)構(gòu)化的表面具有與 第二載體的化學(xué)結(jié)構(gòu)化的和/或形貌結(jié)構(gòu)化的表面互補(bǔ)的結(jié)構(gòu),也就是說,在化學(xué)上、形貌 上滿足鑰匙鎖原理。
      [0065]借助于第一系統(tǒng)載體相對于第二系統(tǒng)載體的在微觀上互補(bǔ)的結(jié)構(gòu)化,能夠在物理 上提高連接層的抗剪和抗拉能力。由此能夠提高腔的機(jī)械持久性,例如當(dāng)正壓或者負(fù)壓對 腔起作用時。互補(bǔ)的結(jié)構(gòu)例如能夠是微觀的鉤和孔眼或者隆起部和凹陷部。
      [0066] 系統(tǒng)載體的表面形貌在此能夠具有周期性地、任意地或者分離地設(shè)置的隆起部和 /或凹陷部,所述隆起部和/或凹陷部具有大約l〇〇nm至大約5cm的高度或深度和從大約 100nm至大約100m的長度和/或?qū)挾?。隆起部或者凹陷部能夠具有任意可以想象的幾何?狀,例如球形或者球截例、如半球或者2/3球、柱形、立方體形、金字塔形或者具有三個或者 更多個側(cè)面的多邊形,或者具有在幾何上復(fù)雜的形狀
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