圖案的形成方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及布線圖案或電極圖案等圖案的形成方法。
【背景技術(shù)】
[0002]作為形成布線?電極的工藝，存在利用絲網(wǎng)印刷法印刷導(dǎo)電膏、絕緣膏的工藝。例如，在太陽能電池的布線.電極、觸摸面板的邊框電極、疊層陶瓷電容器的電極、或者多層印刷電路板等的制作中，通過利用絲網(wǎng)印刷法將導(dǎo)電膏、絕緣膏刷在對象物上，從而進(jìn)行印刷。另外，在半導(dǎo)體電極、半導(dǎo)體氣體傳感器等中，使用氧化物半導(dǎo)體膏進(jìn)行絲網(wǎng)印刷來在基板表面形成氧化物半導(dǎo)體層。
[0003]這些方法中所使用的絲網(wǎng)版在不需要印刷的部位涂布有乳劑，導(dǎo)電膏、絕緣膏不從該乳劑涂布部位透過。即，能夠?qū)⑴c網(wǎng)眼所開口的部分對應(yīng)的圖案描繪在對象物上。
[0004]另外，代替上述的利用絲網(wǎng)印刷法進(jìn)行印刷的方法，還公知有如下方法(專利文獻(xiàn)1、2):在撓性片上涂布預(yù)定膜厚的導(dǎo)電金屬膏并使其干燥而預(yù)先制造形成有轉(zhuǎn)印用電極的轉(zhuǎn)印片，從該轉(zhuǎn)印片向陶瓷電子零件轉(zhuǎn)印導(dǎo)電金屬膏的電極圖案來形成電極。然而，在對轉(zhuǎn)印片上的由導(dǎo)電金屬膏構(gòu)成的電極進(jìn)行壓接并轉(zhuǎn)印時，需要利用對電極加熱或者對電極噴霧導(dǎo)電膏用溶劑而使電極成為半干燥狀態(tài)等的方法，來恢復(fù)電極表面的粘性。
[0005]另一方面，在專利文獻(xiàn)3中，涉及一種在復(fù)印機(jī)、打印機(jī)等所使用的色粉承載體的制造方法，經(jīng)由絲網(wǎng)印刷版將印刷膏轉(zhuǎn)印于偏置鼓，并通過將由該被轉(zhuǎn)印的印刷膏構(gòu)成的布線圖案轉(zhuǎn)印.形成于絕緣層的周面，從而能夠形成與現(xiàn)有的絲網(wǎng)印刷法相比接縫精度良好的電極圖案，該絕緣層設(shè)于圓筒狀基板表面。
[0006]另外，在對被印刷物的兩面實(shí)施印刷時，通常使用如下工藝:i)最初，在被印刷物的單側(cè)的表面印刷圖案；ii)然后，將被印刷物翻過來而調(diào)換反面與正面后對未印刷有圖案的另一面印刷圖案。對此，例如在專利文獻(xiàn)4中公開有如下一種印刷單元:能夠一邊利用輥輸送被印刷物，一邊一次性地對其正面與反面這兩面實(shí)施印刷。
_7] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0008]專利f獻(xiàn)
[0009]專利文獻(xiàn)1:日本特開2000-276944號公報(bào)
[0010]專利文獻(xiàn)2:日本特開平11-219845號公報(bào)
[0011]專利文獻(xiàn)3:日本特開2010-250196號公報(bào)
[0012]專利文獻(xiàn)4:日本特表2001-518409號公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

_3] 發(fā)明要解決的問題
[0014]如前述那樣，作為形成布線、電極等的工藝，存在使用導(dǎo)電膏、絕緣膏或半導(dǎo)體膏等并利用絲網(wǎng)印刷法進(jìn)行印刷的工藝，但在利用絲網(wǎng)印刷法來形成了布線、電極等的圖案的情況下，在膏逐漸干燥的過程中，存在在圖案的側(cè)壁部產(chǎn)生塌邊、線寬變大這樣的問題。例如，若在形成用于太陽能電池的布線.電極時產(chǎn)生該塌邊，則導(dǎo)致開口率低下。另外，若在形成觸摸面板的邊框電極時產(chǎn)生塌邊，則存在不得不減小操作輸入部位的面積等問題。
[0015]另外，在被印刷了的布線.電極等的圖案的表面殘留有因絲網(wǎng)而產(chǎn)生的凹凸(網(wǎng)痕)。例如，在使用該電極來制作疊層型的電容器的情況下，在熱壓時，產(chǎn)生由上述凹凸而引起電極被切斷而發(fā)生斷線、或者夾持電介質(zhì)的電極間短路這樣的問題。而且，在被印刷了的布線.電極圖案作為天線使用的情況下，圖案表面的粗糙度與通信距離的減小相關(guān)，成為使接收發(fā)送特性變差的主要原因。
[0016]另一方面，在上述專利文獻(xiàn)I?3中，代替絲網(wǎng)印刷法，公開有使用轉(zhuǎn)印片的方法、使用偏置鼓的方法，但均沒有提及有關(guān)側(cè)壁部的塌邊、殘留網(wǎng)痕這樣的問題及其解決方法。
[0017]另外，在進(jìn)行對被印刷物的兩面進(jìn)行印刷的情況下，如前所述，需要對被印刷物的一個面進(jìn)行印刷了之后，將被印刷物翻過來對另一個面進(jìn)行印刷的步驟，因此存在工序數(shù)較多，生產(chǎn)節(jié)拍增大這樣的問題。對此，也有如專利文獻(xiàn)4所公開的技術(shù)那樣的技術(shù)，但在該情況下，由于具有需要用于輸送的機(jī)構(gòu)而裝置大型化的缺點(diǎn)，因此在絲網(wǎng)印刷法中不能使用該技術(shù)。
[0018]本發(fā)明是鑒于上述的現(xiàn)狀而完成的，其目的在于提供如下方法和裝置:減少在使用導(dǎo)電膏、絕緣膏或者半導(dǎo)體膏并利用絲網(wǎng)印刷法來印刷布線.電極等的圖案時所產(chǎn)生的圖案側(cè)壁部的塌邊并且減少上述布線.電極等的圖案、全面固體膜(日文:全面< 夕膜)上的網(wǎng)痕，從而制造高品質(zhì)的電子零件；以及提供一種能夠用于絲網(wǎng)印刷并能夠以比現(xiàn)有技術(shù)少的工序數(shù)來進(jìn)行雙面印刷的圖案的形成方法。
_9] 用于解決問題的方案
[0020]本發(fā)明人為了解決上述技術(shù)課題，經(jīng)過反復(fù)研宄后得到如下見解:作為橡皮布，使用表面的平滑性較高、且被印刷物與膏之間的親和性比橡皮布與膏之間的親和性高的橡皮布，并利用絲網(wǎng)印刷法將圖案印刷于該橡皮布，將該圖案轉(zhuǎn)印于對象物，從而能夠解決問題。
[0021]本發(fā)明是基于上述見解完成的，根據(jù)本發(fā)明，提供以下的發(fā)明。
[0022][I] 一種圖案的形成方法，其特征在于，在該圖案的形成方法中，使用導(dǎo)電膏、絕緣膏或者半導(dǎo)體膏，并利用絲網(wǎng)印刷法在具有由聚二甲基硅氧烷構(gòu)成的表面的橡皮布上印刷圖案，將該圖案自該橡皮布轉(zhuǎn)印至被印刷物。
[0023][2]根據(jù)[I]所述的圖案的形成方法，其特征在于，所述橡皮布為片狀。
[0024][3]根據(jù)[I]所述的圖案的形成方法，其特征在于，所述橡皮布為卷狀。
[0025][4]根據(jù)[I]所述的圖案的形成方法，其特征在于，使用導(dǎo)電膏形成電極圖案。
[0026][5]根據(jù)[4]所述的圖案的形成方法，其特征在于，所述電極圖案是用于觸摸面板、太陽能電池、疊層陶瓷電容器、天線、多層印刷電路板的布線電極。
[0027][6]根據(jù)[I]所述的圖案的形成方法，其特征在于，在使用導(dǎo)電膏、絕緣膏或者半導(dǎo)體膏、并利用絲網(wǎng)印刷法對所述橡皮布印刷了第一圖案之后，在印刷有該第一圖案的橡皮布上配置所述被印刷物，進(jìn)而對該被印刷物的、與同該橡皮布相對的面相反的一側(cè)的面印刷了第二圖案之后，將該被印刷物自該橡皮布上剝離而將所述第一圖案轉(zhuǎn)印于該被印刷物。
[0028][7]根據(jù)[6]所述的圖案的形成方法，其特征在于，利用絲網(wǎng)印刷法印刷所述第二圖案。
[0029][8]根據(jù)[6]所述的圖案的形成方法，其特征在于，所述第一圖案和所述第二圖案是用于觸摸面板、太陽能電池、疊層陶瓷電容器、天線、多層印刷電路板的布線電極。
[0030][9]根據(jù)[6]所述的圖案的形成方法，其特征在于，該圖案的形成方法用于制造靜電電容型器件。
[0031][10] 一種圖案的形成裝置，該圖案的形成裝置具有絲網(wǎng)印刷機(jī)構(gòu)以及利用該絲網(wǎng)印刷機(jī)構(gòu)印刷圖案的橡皮布，該圖案的形成裝置用于將印刷于該橡皮布上的圖案轉(zhuǎn)印于被印刷物，其特征在于，該橡皮布具有由聚二甲基硅氧烷構(gòu)成的表面。
[0032]發(fā)明的效果
[0033]根據(jù)本發(fā)明，能夠減少在利用絲網(wǎng)印刷法進(jìn)行印刷時產(chǎn)生的圖案塌邊，并能夠使圖案的側(cè)壁形成尖銳(日文:、>々一7°)的形狀。其結(jié)果，能夠?qū)崿F(xiàn)圖案的細(xì)線化，也能夠降低圖案的表面粗糙度。另外，從原理上講，本發(fā)明不僅能夠適用于細(xì)線圖案，也能夠適用于具有數(shù)μπι以上的尺寸的任何圖案。而且，根據(jù)本發(fā)明，不需要進(jìn)行將被印刷物翻過來的工序，因此能夠以比現(xiàn)有少的工序數(shù)進(jìn)行在被印刷物的兩面形成圖案，不使用輥版、輸送機(jī)構(gòu)就能夠?qū)Ρ挥∷⑽镞M(jìn)行雙面印刷。
【附圖說明】
[0034]圖1是剛利用絲網(wǎng)印刷法在陶瓷生片(ceramic green sheet)印刷導(dǎo)電膏之后的電極圖案的光學(xué)立體顯微鏡圖像。
[0035]圖2是利用絲網(wǎng)印刷法印刷的陶瓷生片上的導(dǎo)電膏在大氣中充分干燥后的光學(xué)立體顯微鏡圖像。
[0036]圖3是利用絲網(wǎng)印刷法在聚二甲基硅氧烷(PDMS)膜上印刷導(dǎo)電膏來形成電極圖案、并剛剛將該電極圖案轉(zhuǎn)印到陶瓷生片上之后的光學(xué)立體顯微鏡圖像。
[0037]圖4是利用絲網(wǎng)印刷法在聚二甲基硅氧烷(PDMS)膜上印刷導(dǎo)電膏來形成電極圖案、且使該電極圖案轉(zhuǎn)印