短光脈沖產(chǎn)生裝置、太赫茲波產(chǎn)生裝置、照相機(jī)、成像裝置及測量裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及短光脈沖產(chǎn)生裝置、太赫茲波產(chǎn)生裝置、照相機(jī)、成像裝置、以及測量 裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 近年，具有100GHz以上30THZ以下的頻率的電磁波亦即太赫茲波受到注目。太赫 茲波例如能夠使用于成像、分光測量等各種測量、無損檢查等。
[0003] 產(chǎn)生該太赫茲波的太赫茲波產(chǎn)生裝置例如具有產(chǎn)生具有亞皮秒（數(shù)百飛秒）左右 的脈沖寬度的光脈沖的短光脈沖產(chǎn)生裝置、和被照射在短光脈沖產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的光脈沖從 而產(chǎn)生太赫茲波的光導(dǎo)天線。一般來說，作為產(chǎn)生亞皮秒左右的脈沖寬度的光脈沖的短光 脈沖產(chǎn)生裝置，使用飛秒光纖激光器、鈦藍(lán)寶石激器、以及半導(dǎo)體激光器等。
[0004]例如專利文獻(xiàn)1記載了直接調(diào)制半導(dǎo)體激光使光脈沖的頻率線性調(diào)頻之后，在由 光纖構(gòu)成的光脈沖壓縮部（群速度色散部）壓縮脈沖寬度的光脈沖產(chǎn)生裝置。
[0005] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開平11 一 40889號(hào)公報(bào)
[0006] 然而，在專利文獻(xiàn)1的光脈沖產(chǎn)生裝置中，直接調(diào)制半導(dǎo)體激光使光脈沖的頻率 線性調(diào)頻，所以線性調(diào)頻量較小，在群速度色散部中，不能夠充分地壓縮脈沖寬度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007] 本發(fā)明的幾個(gè)方式所涉及的目的之一在于提供能夠產(chǎn)生脈沖寬度較小的光脈沖 的短光脈沖產(chǎn)生裝置。另外，本發(fā)明的幾個(gè)方式所涉及的目的之一在于提供包含上述短光 脈沖產(chǎn)生裝置的太赫茲波產(chǎn)生裝置、照相機(jī)、成像裝置、以及測量裝置。
[0008] 本發(fā)明所涉及的短光脈沖產(chǎn)生裝置包含：
[0009] 光脈沖生成部，其生成光脈沖；
[0010] 頻率線性調(diào)頻部，其使上述光脈沖的頻率線性調(diào)頻；以及
[0011] 群速度色散部，其使在上述頻率線性調(diào)頻部進(jìn)行了線性調(diào)頻的上述光脈沖產(chǎn)生與 波長對應(yīng)的群速度差，
[0012] 上述群速度色散部包含：
[0013] 群速度色散介質(zhì)，其供在上述頻率線性調(diào)頻部進(jìn)行了線性調(diào)頻的上述光脈沖射 入；以及
[0014] 第一反射鏡以及第二反射鏡，它們以將上述群速度色散介質(zhì)夾著的方式設(shè)置，
[0015] 射入至上述群速度色散介質(zhì)的上述光脈沖被上述第一反射鏡和上述第二反射鏡 多次反射并在上述群速度色散介質(zhì)中行進(jìn)。
[0016] 在這樣的短光脈沖產(chǎn)生裝置中，在頻率線性調(diào)頻部中，能夠使光脈沖線性調(diào)頻。因 此，例如與不具有頻率線性調(diào)頻部的情況相比，能夠增大光脈沖的線性調(diào)頻量，能夠在群速 度色散部中充分地壓縮脈沖寬度。因此，這樣的短光脈沖產(chǎn)生裝置能夠產(chǎn)生脈沖寬度較小 的光脈沖。
[0017] 并且，在這樣的短光脈沖產(chǎn)生裝置中，射入至群速度色散介質(zhì)的光脈沖被第一反 射鏡以及第二反射鏡多次反射而在群速度色散介質(zhì)中行進(jìn)，因此能夠使群速度色散部小型 化。另外，例如即使在群速度色散介質(zhì)的每個(gè)單位長度的群速度色散值小的情況下，通過增 加光脈沖在第一反射鏡以及第二反射鏡的反射次數(shù)，也能夠增大群速度色散部的群速度色 散值。
[0018] 在本發(fā)明所涉及的短光脈沖產(chǎn)生裝置中，
[0019] 也可以在上述群速度色散介質(zhì)的供上述光脈沖射入的面以及上述群速度色散介 質(zhì)的射出上述光脈沖的面設(shè)有防反射膜。
[0020] 在這樣的短光脈沖產(chǎn)生裝置中，能夠降低光脈沖在群速度色散介質(zhì)的供光脈沖射 入的面以及群速度色散介質(zhì)的射出光脈沖的面的反射率。
[0021] 在本發(fā)明所涉及的短光脈沖產(chǎn)生裝置中，
[0022] 也可以包括能夠改變上述光脈沖相對于上述第一反射鏡的入射角度的可變機(jī)構(gòu)。
[0023] 在這樣的短光脈沖產(chǎn)生裝置中，能夠改變光脈沖在第一以及第二反射鏡的反射次 數(shù)。其結(jié)果，在這樣的短光脈沖產(chǎn)生裝置中，能夠改變?nèi)核俣壬⒉康娜核俣壬⒅怠Ｓ纱耍?能夠改變在短光脈沖產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的光脈沖的脈沖寬度。
[0024] 在本發(fā)明所涉及的短光脈沖產(chǎn)生裝置中，
[0025] 也可以包括將射入至上述群速度色散介質(zhì)的上述光脈沖轉(zhuǎn)換為平行光的準(zhǔn)直透 鏡。
[0026] 在這樣的短光脈沖產(chǎn)生裝置中，能夠抑制射入至群速度色散介質(zhì)的光脈沖發(fā)散。
[0027] 在本發(fā)明所涉及的短光脈沖產(chǎn)生裝置中，
[0028] 也可以構(gòu)成為，上述群速度色散介質(zhì)是玻璃基板。
[0029] 在這樣的短光脈沖產(chǎn)生裝置中，能夠?qū)崿F(xiàn)低成本化。并且，玻璃基板并不極度地吸 收在光脈沖生成部生成的光脈沖。因此，在這樣的短光脈沖產(chǎn)生裝置中，能夠抑制在群速度 色散介質(zhì)中光脈沖的強(qiáng)度降低這一情況。
[0030] 本發(fā)明所涉及的太赫茲波產(chǎn)生裝置包括：
[0031] 本發(fā)明所涉及的短光脈沖產(chǎn)生裝置；以及
[0032] 光導(dǎo)天線，其被照射由上述短光脈沖產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的短光脈沖而產(chǎn)生太赫茲波。
[0033] 在這樣的太赫茲波產(chǎn)生裝置中，能夠包含能夠產(chǎn)生脈沖寬度小的光脈沖的短光脈 沖產(chǎn)生裝置。
[0034] 本發(fā)明所涉及的照相機(jī)包括：
[0035] 本發(fā)明所涉及的短光脈沖產(chǎn)生裝置；
[0036] 光導(dǎo)天線，其被照射由上述短光脈沖產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的短光脈沖而產(chǎn)生太赫茲波；
[0037] 太赫茲波檢測部，其檢測從上述光導(dǎo)天線射出并透過對象物的上述太赫茲波或者 被對象物反射的上述太赫茲波；以及
[0038] 存儲(chǔ)部，其存儲(chǔ)上述太赫茲波檢測部的檢測結(jié)果。
[0039] 在這樣的照相機(jī)中，能夠包括能夠產(chǎn)生脈沖寬度較小的光脈沖的短光脈沖產(chǎn)生裝 置。
[0040] 本發(fā)明所涉及的成像裝置包括：
[0041] 本發(fā)明所涉及的短光脈沖產(chǎn)生裝置；
[0042] 光導(dǎo)天線，其被照射由上述短光脈沖產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的短光脈沖而產(chǎn)生太赫茲波；
[0043] 太赫茲波檢測部，其檢測從上述光導(dǎo)天線射出并透過對象物的上述太赫茲波或者 被對象物反射的上述太赫茲波；以及
[0044] 圖像形成部，其基于上述太赫茲波檢測部的檢測結(jié)果，生成上述對象物的圖像。
[0045] 這樣的成像裝置能夠包括能夠產(chǎn)生脈沖寬度小的光脈沖的短光脈沖產(chǎn)生裝置。
[0046] 本發(fā)明所涉及的測量裝置包括：
[0047] 本發(fā)明所涉及的短光脈沖產(chǎn)生裝置；
[0048] 光導(dǎo)天線，其被照射由上述短光脈沖產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的短光脈沖而產(chǎn)生太赫茲波；
[0049] 太赫茲波檢測部，其檢測從上述光導(dǎo)天線射出并透過對象物的上述太赫茲波或者 被對象物反射的上述太赫茲波；以及
[0050] 測量部，其基于上述太赫茲波檢測部的檢測結(jié)果，測量上述對象物。
[0051] 這樣的測量裝置能夠包含能夠產(chǎn)生脈沖寬度小的光脈沖的短光脈沖產(chǎn)生裝置。
【附圖說明】
[0052] 圖1是本實(shí)施方式所涉及的短光脈沖產(chǎn)生裝置的功能框圖。
[0053] 圖2是示意地表示本實(shí)施方式所涉及的短光脈沖產(chǎn)生裝置的圖。
[0054] 圖3是示意地表示本實(shí)施方式所涉及的短光脈沖產(chǎn)生裝置的光脈沖生成部的發(fā) 光元件以及頻率線性調(diào)頻部的光波導(dǎo)的立體圖。
[0055] 圖4是示意地表示本實(shí)施方式所涉及的短光脈沖產(chǎn)生裝置的光脈沖生成部的發(fā) 光元件以及頻率線性調(diào)頻部的光波導(dǎo)的剖視圖。
[0056] 圖5是表示在光脈沖生成部生成的光脈沖的一個(gè)例子的曲線圖。
[0057]圖6是表示頻率線性調(diào)頻部的線性調(diào)頻特性的一個(gè)例子的曲線圖。
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