傳輸系統(tǒng)及半導(dǎo)體加工設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域，具體涉及一種傳輸系統(tǒng)及半導(dǎo)體體加工設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體加工設(shè)備是應(yīng)用比較廣泛的加工設(shè)備，主要通過等離子體對基片等的被加工工件進(jìn)行鍍膜、刻蝕等工藝。在半導(dǎo)體設(shè)備中，往往需要借助傳輸系統(tǒng)將未進(jìn)行工藝的被加工工件傳入至反應(yīng)腔室內(nèi)，以及將完成工藝的被加工工件傳出反應(yīng)腔室。
[0003]圖1為現(xiàn)有的傳輸系統(tǒng)中機(jī)械手的結(jié)構(gòu)示意圖。請參閱圖1，傳輸系統(tǒng)包括機(jī)械手11。其中，在機(jī)械手11的上表面上設(shè)置有至少三個(gè)小凸起12，至少三個(gè)小凸起12的頂端用于承載被加工工件S，而且，每個(gè)小凸起12采用橡膠或者石英材料制成，且每個(gè)小凸起12的直徑在3mm左右，高度在Imm左右。容易理解，被加工工件S的下表面與機(jī)械手11的上表面之間存在的間隙，可以作為將二者之間的氣流導(dǎo)出的通道。
[0004]然而，采用上述傳輸系統(tǒng)在實(shí)際應(yīng)用中不可避免的存在以下問題:由于機(jī)械手11通過至少三個(gè)小凸起12支撐被加工工件S，使得被加工工件S與機(jī)械手11的接觸面積和摩擦力小，因此，在機(jī)械手11加速或者減速運(yùn)動(dòng)的過程中、以及被加工工件S與其他零部件發(fā)生擦碰時(shí)，容易導(dǎo)致被加工工件S在機(jī)械手11上的位置發(fā)生移動(dòng)甚至從機(jī)械手11上脫落，這會(huì)對后續(xù)工作造成不良影響，甚至造成碎片率高，從而造成經(jīng)濟(jì)效益低。而且，當(dāng)被加工工件為翹曲大、材質(zhì)軟的鍵合片時(shí)，被加工工件容易發(fā)生翹曲，從而造成工藝質(zhì)量差。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題，提供了一種傳輸系統(tǒng)及半導(dǎo)體加工設(shè)備，其不僅可以有效地防止被加工工件相對機(jī)械手滑動(dòng)，從而可以提高傳輸系統(tǒng)的穩(wěn)定性；而且可以提高傳輸系統(tǒng)的傳輸質(zhì)量，還可以提高傳輸系統(tǒng)的適用性。
[0006]本發(fā)明提供一種傳輸系統(tǒng)，包括機(jī)械手，所述機(jī)械手的上表面用于承載被加工工件，在所述機(jī)械手的上表面上分布有至少一個(gè)凹道，每個(gè)所述凹道的至少一端沿所述機(jī)械手的徑向延伸至所述機(jī)械手的邊界處，每個(gè)所述凹道與所述被加工工件的下表面形成氣流通道，用以使位于所述機(jī)械手與所述被加工工件之間的氣流經(jīng)由該氣流通道排出。
[0007]其中，所述至少一個(gè)凹道在所述機(jī)械手的上表面上均勻分布。
[0008]其中，所述至少一個(gè)凹道中包括至少兩個(gè)環(huán)形凹道和至少一個(gè)直凹道，其中所述至少兩個(gè)環(huán)形凹道以所述機(jī)械手上表面的中心為圓心，且半徑不同；所述至少一個(gè)直凹道的一端位于所述機(jī)械手的上表面的中心位置處，另一端沿所述機(jī)械手的徑向延伸至所述機(jī)械手的邊界處。
[0009]其中，至少兩個(gè)環(huán)形凹道在所述機(jī)械手的徑向上間隔且均勻設(shè)置。
[0010]其中，所述直凹道的數(shù)量為多個(gè)，且多個(gè)所述直凹道沿所述機(jī)械手的周向間隔且均勻設(shè)置。
[0011]其中，每個(gè)所述凹道由彼此獨(dú)立的至少兩條凹道段組成，且所述至少兩條凹道段在所述機(jī)械手上表面上形成的形狀包括折線、曲線或者折線與曲線串接的形狀。
[0012]其中，每個(gè)所述凹道為在所述機(jī)械手上表面上纏繞的螺旋狀結(jié)構(gòu)。
[0013]其中，每個(gè)所述凹道的寬度范圍為I?2mm。
[0014]每個(gè)所述凹道的深度范圍為I?2mm。
[0015]本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，包括傳輸系統(tǒng)和反應(yīng)腔室，其中，所述傳輸系統(tǒng)用于將未完成工藝的被加工工件傳入所述反應(yīng)腔室內(nèi)，以及將完成工藝的被加工工件自所述反應(yīng)腔室內(nèi)傳出，所述傳輸系統(tǒng)采用本發(fā)明提供的上述傳輸系統(tǒng)。
[0016]本發(fā)明具有下述有益效果:
[0017]本發(fā)明提供的傳輸系統(tǒng)，其通過在機(jī)械手的上表面上分布有至少一個(gè)凹道，且每個(gè)凹道的至少一端沿機(jī)械手的徑向延伸至機(jī)械手的邊界處，每個(gè)凹道與被加工工件形成氣流通道，用以使位于機(jī)械手與被加工工件之間的氣流經(jīng)由該氣流通道排出。由上可知，被加工工件位于機(jī)械手的上表面上，這與現(xiàn)有技術(shù)中借助三個(gè)小凸起承載被加工工件相比，可以增加被加工工件與機(jī)械手的接觸面積和摩擦力，從而不僅可以有效地防止被加工工件相對機(jī)械手滑動(dòng)，進(jìn)而可以提高傳輸系統(tǒng)的穩(wěn)定性；而且，由于被加工工件與機(jī)械手的接觸面積變大，因而可以防止在傳輸被加工工件的過程中翹曲大或材質(zhì)軟的被加工工件翹曲嚴(yán)重，從而可以提高傳輸系統(tǒng)的傳輸質(zhì)量，還可以提高傳輸系統(tǒng)的適用性。
[0018]本發(fā)明提供的半導(dǎo)體加工設(shè)備，其采用本發(fā)明提供的傳輸系統(tǒng)，不僅可以有效地防止被加工工件相對機(jī)械手滑動(dòng)，進(jìn)而可以提高傳輸系統(tǒng)的穩(wěn)定性；而且可以提高傳輸系統(tǒng)的傳輸質(zhì)量，還可以提高傳輸系統(tǒng)的適用性。
【附圖說明】
[0019]圖1為現(xiàn)有的傳輸系統(tǒng)中機(jī)械手的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為本發(fā)明提供的傳輸系統(tǒng)中機(jī)械手的第一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021 ]圖3為圖2中的機(jī)械手的側(cè)視圖；
[0022]圖4為圖3中I區(qū)域的局部放大圖；
[0023]圖5為本發(fā)明提供的傳輸系統(tǒng)中機(jī)械手的第二種結(jié)構(gòu)示意圖；以及
[0024]圖6為本發(fā)明提供的傳輸系統(tǒng)中機(jī)械手的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明提供的傳輸系統(tǒng)及半導(dǎo)體加工設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0026]圖2為本發(fā)明提供的傳輸系統(tǒng)中機(jī)械手的第一種結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為圖2中的機(jī)械手的側(cè)視圖。圖4為圖3中I區(qū)域的局部放大圖。請一并參閱圖2、圖3和圖4，本實(shí)施例提供的傳輸系統(tǒng)包括機(jī)械手20,機(jī)械手20的上表面用于承載被加工工件S,且在機(jī)械手20的上表面上分布有至少一個(gè)凹道21，每個(gè)凹道21的至少一端沿機(jī)械手20的徑向延伸至機(jī)械手20的邊界處，每個(gè)凹道21與被加工工件S的上表面形成氣流通道，用以使位于機(jī)械手20與被加工工件S之間的氣流經(jīng)由該氣流通道排出。
[0027]在本實(shí)施例中，如圖3所示，至少一個(gè)凹道21中包括至少兩個(gè)環(huán)形凹道211和至少一個(gè)直凹道212，其中，至少兩個(gè)環(huán)形凹道211以機(jī)械手20上表面的中心為圓心，且半徑不同；至少一個(gè)直凹道212的一端位于機(jī)械手20的上表面的中心位置處，另一端沿機(jī)械手20的徑向延伸至機(jī)械手20的邊界處。容易理解，由于直凹道212的設(shè)置，可以將環(huán)形凹道211與被加工工件S下表面之間的氣流排出，并且，優(yōu)選地，直凹道212在機(jī)械手20上表面的形狀為直線，其與被加工工件S下表面之間形成了直氣流通道，這使得氣流的流動(dòng)途徑相對較短，從而可以使得氣流快速地排出，進(jìn)而可以提高傳輸系統(tǒng)的穩(wěn)定性。當(dāng)然，在實(shí)際應(yīng)用中，直凹道212在機(jī)械手20上表面的形狀也可以包括折線、曲線或者折線與曲線串接的形狀。
[0028]優(yōu)選地，至少一個(gè)凹道21在機(jī)械手20的上表面上均勻分布，這可以使得位于機(jī)械手20上表面與被加工工件S下表面之間不同位置處的氣流均勻且快速地排出，因而可以減小氣流對位于機(jī)械手20上表面的被加工工件產(chǎn)生影響，從而可以提高傳輸系統(tǒng)的穩(wěn)定性。在本實(shí)施中，至少兩個(gè)環(huán)形凹道211在機(jī)械手20的徑向上間隔且均勻設(shè)置。
[0029]進(jìn)一步優(yōu)選地，直凹道212的數(shù)量為多個(gè)，且多個(gè)直凹道212沿機(jī)械手20的周向間隔且均勻設(shè)置，這不僅可以將環(huán)形凹道211與被加工工件S下表面之間的氣流從不同位置處均勻且快速地排出，而且可以進(jìn)一步將位于機(jī)械手20上表面與被加工工件S下表面之間不同位置處的氣流均勻且快速地排出，從而可以進(jìn)一步提高傳輸系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
[0030]在本實(shí)施例中，如圖2所示，環(huán)形凹道211數(shù)量為4個(gè)，直凹道212的數(shù)量為12個(gè)，但是，在實(shí)際應(yīng)用中，可以根據(jù)機(jī)械手20上表面的面積大小、被加工工件S的特性以及為避免被加工工件S相對機(jī)械手滑動(dòng)二者之間所需的最小摩擦力等因素具體設(shè)定環(huán)形凹