一種用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于半導(dǎo)體元件的壓裝技術(shù)，具體涉及一種用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置及方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著平板型半導(dǎo)體器件的發(fā)展，對(duì)于平板型半導(dǎo)體元件(以下簡(jiǎn)稱半導(dǎo)體元件)的壓裝要求也隨之增高。然而，傳統(tǒng)的用于壓裝半導(dǎo)體元件的壓裝組件都是操作人員使用力矩扳手來緊固螺栓，通過控制力矩來控制該壓裝組件對(duì)半導(dǎo)體元件施加的壓力，即壓裝力。
[0003]然而，由于材料和機(jī)械加工等因素都可導(dǎo)致螺栓、螺母之間存在差異，使得傳統(tǒng)的壓裝組件很難保證壓裝力的均勻。當(dāng)壓裝力不均時(shí)，半導(dǎo)體元件將不能與散熱器緊密接觸，造成導(dǎo)電面積減小，接觸電阻增加，導(dǎo)致半導(dǎo)體元件工作時(shí)的壓降大，溫升高，影響半導(dǎo)體元件的正常工作。同時(shí)，操作不當(dāng)很有可能壓壞半導(dǎo)體元件。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了解決上述問題，本發(fā)明的目的是提供一種用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置及方法，其可以有效地控制傳統(tǒng)的壓裝組件對(duì)半導(dǎo)體元件施加的壓力，保證壓裝力的均勻，確保半導(dǎo)體元件可正常運(yùn)行，同時(shí)也可避免因操作不當(dāng)而造成的損壞。
[0005]根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供了一種用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置。其中，壓裝組件包括頂板和底板以及能夠調(diào)整兩板之間間距的第一調(diào)整機(jī)構(gòu)。本發(fā)明的裝置包括:設(shè)于底板的底面上的底座，設(shè)于頂板上方的施壓板，設(shè)置在施壓板與頂板之間的用于檢測(cè)施壓板與頂板之間的壓力的測(cè)壓件，以及用于調(diào)整施壓板與底座之間的距離的第二調(diào)整機(jī)構(gòu)。
[0006]在一個(gè)實(shí)施例中，第二調(diào)整機(jī)構(gòu)包括從壓裝組件的外側(cè)貫穿底座與施壓板的螺栓，以及設(shè)置在施壓板的頂部上與螺栓相配合的螺母。
[0007]在一個(gè)實(shí)施例中，底座包括本體和設(shè)在本體上的凹槽，以及分別開設(shè)在本體的兩端并位于凹槽內(nèi)的用于容納螺栓的第一通孔。
[0008]在一個(gè)實(shí)施例中，施壓板包括板狀本體和開設(shè)在板狀本體上的兩個(gè)彼此間隔開的第二通孔，第一通孔的間距等于第二通孔的間距。
[0009]在一個(gè)實(shí)施例中，測(cè)壓件為壓力傳感器，上述裝置還包括用于顯示壓力傳感器所檢測(cè)的壓力的顯示構(gòu)件。其中，顯示構(gòu)件優(yōu)選為數(shù)字顯示儀或計(jì)算機(jī)
[0010]在一個(gè)實(shí)施例中，在測(cè)壓件與頂板之間設(shè)有第一墊片，在底座與底板之間設(shè)有第二墊片。
[0011]在一個(gè)實(shí)施例中，裝置還包括可拆卸式連接壓裝組件上并用于固定壓裝組件的各個(gè)散熱器的輔助固定件。
[0012]在一個(gè)實(shí)施例中，輔助固定件包括:U形結(jié)構(gòu)，其包括底壁和垂直于底壁的兩個(gè)側(cè)壁；設(shè)在各側(cè)壁的外表面上且垂直向外延伸的耳。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供了一種用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的方法，其步驟包括:通過根據(jù)本發(fā)明第一方面所述的裝置的第二調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)整所述裝置的施壓板與底座之間的距離，使所述裝置的測(cè)壓件的檢測(cè)值為設(shè)定值；通過壓裝組件的第一調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)整所述壓裝組件的頂板和底板之間距離，直至所述測(cè)壓件的檢測(cè)值為零。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置及方法，能夠有效控制壓裝組件對(duì)半導(dǎo)體元件所施加的壓力，避免壓裝力不均，有效確保半導(dǎo)體元件能夠正常運(yùn)行。同時(shí)，該裝置和方法均可避免因操作不當(dāng)而導(dǎo)致的損壞。
[0015]另外，根據(jù)本發(fā)明的用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作簡(jiǎn)單快速，使用安全可靠，便于實(shí)施推廣應(yīng)用。
【附圖說明】
[0016]在下文中將基于實(shí)施例并參考附圖來對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)的描述。其中:
[0017]圖1顯示了根據(jù)本發(fā)明的用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置和現(xiàn)有的壓裝組件；
[0018]圖2顯示了根據(jù)本發(fā)明的用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置的底座；
[0019]圖3顯示了根據(jù)本發(fā)明的用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置的施壓板；
[0020]圖4顯示了根據(jù)本發(fā)明的用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置的輔助固定板；以及
[0021]圖5顯示了根據(jù)本發(fā)明的用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置的墊片。
[0022]在附圖中相同的部件使用相同的附圖標(biāo)記。附圖并未按照實(shí)際的比例繪制。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。
[0024]圖1顯示了根據(jù)本發(fā)明的用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置10及現(xiàn)有的壓裝組件20。如圖1所示，該壓裝組件20主要包括頂板21和底板22以及能夠調(diào)整兩板之間間距的第一調(diào)整機(jī)構(gòu)23。第一調(diào)整機(jī)構(gòu)23包括貫穿頂板21和底板22的螺栓和設(shè)置在頂板21的頂面上的用于與螺栓相配合的螺母。除此之外，該第一調(diào)整機(jī)構(gòu)23選擇成其他結(jié)構(gòu)，例如選為相互配合的絲杠與螺紋結(jié)構(gòu)。由多個(gè)半導(dǎo)體元件組成的串式結(jié)構(gòu)設(shè)在頂板21和底板22之間，并且任意兩個(gè)半導(dǎo)體元件均通過散熱器25隔開。半導(dǎo)體元件可選為平板型半導(dǎo)體器件，而平板型半導(dǎo)體器件包括平板型二極管和晶閘管。
[0025]根據(jù)本發(fā)明，該裝置10能夠輔助壓裝組件20對(duì)半導(dǎo)體元件進(jìn)行壓裝，并且能夠控制或監(jiān)控壓裝組件20對(duì)半導(dǎo)體元件所施加的壓力。如圖1所示，該裝置10包括設(shè)于底板22的底面上的底座2、設(shè)于頂板21的上方的施壓板3和設(shè)于施壓板3與頂板21之間的用于檢測(cè)兩板之間壓力的測(cè)壓件5。其中，該測(cè)壓件5可選為壓力傳感器或重力傳感器，當(dāng)然也可選為質(zhì)量較高的彈簧。但測(cè)壓件5優(yōu)選為重量傳感器，以便快速準(zhǔn)確檢測(cè)壓力。為了方便地獲知的測(cè)壓件5的檢測(cè)值，該裝置10還包括與測(cè)壓件5相連的顯示構(gòu)件，以用于及時(shí)顯示測(cè)壓件5的檢測(cè)值。優(yōu)選地，顯示構(gòu)件可選擇成數(shù)字顯示儀或計(jì)算機(jī)。
[0026]與此同時(shí)，該裝置10還包括用于調(diào)整施壓板3與底座2之間距離的第二調(diào)整機(jī)構(gòu)6。在壓裝時(shí)，首先把未緊固螺栓的壓裝組件20安裝到該裝置10內(nèi)，通過第二調(diào)整機(jī)構(gòu)6調(diào)整施壓板3與底座2之間的距離，直到測(cè)壓件5的檢測(cè)值為設(shè)定值后停止。然后，通過第一調(diào)整機(jī)構(gòu)23調(diào)整頂板21和底板22之間距離，直至測(cè)壓件5的檢測(cè)值為零停后停止。通過這種方式，能夠有效地控制壓裝組件20對(duì)半導(dǎo)體元件所施加的壓力，避免壓裝力不均，確保半導(dǎo)體元件能夠正常運(yùn)行，同時(shí)也可避免因操作不