一種陣列基板及其制備方法、顯示裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種陣列基板及其制備方法、顯示裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]薄膜晶體管液晶顯示器是目前最主流的顯示器件，手機屏幕、監(jiān)視器屏幕、電視絕大多數(shù)都是薄膜晶體管液晶顯示器。良好的薄膜晶體管液晶顯示器顯示品質(zhì)，能夠使客戶有好的觀看體驗，并且在激烈的市場競爭處于有利地位。雙柵薄膜晶體管液晶顯示器具有成本較低，在競爭中有一定優(yōu)勢。但是，由于公共電極的布局不合理，造成公共電極的電阻較大，公共電極容易受到其他信號的影響而引起的電壓波動，從而影響顯示器的品質(zhì)，例如，屏幕顯示產(chǎn)生閃爍。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]解決上述問題所采用的技術(shù)方案是一種陣列基板及其制備方法、顯示裝置。
[0004]本發(fā)明提供的一種陣列基板，包括:多個在基板上呈矩陣排列的像素單元，每個所述像素單元分別連接兩條柵線和一條數(shù)據(jù)線，每個所述像素單元包括兩個子像素，每個所述子像素分別連接相對應的柵線和數(shù)據(jù)線，相鄰兩行之間的像素單元設有兩條柵線；相鄰兩列像素單元設有一條數(shù)據(jù)線；
[0005]所述像素單元包括設置在基板上的第三公共電極，與柵線同層設置的第二公共電極，與源漏極金屬同層設置的第一公共電極；所述第一公共電極、所述第二公共電極和第三公共電極之間電連接。
[0006]優(yōu)選的，所述第一公共電極包括:與所述柵線平行設置的位于同列相鄰行像素單元之間的第一部分；和位于像素單元的兩個子像素之間的與所述數(shù)據(jù)線平行的第二部分；所述第一公共電極的第一部分和第二部分電連接。
[0007]優(yōu)選的，所述像素單元還包括:設置于所述源漏極金屬層上的第一絕緣層以及設置在所述第一絕緣層上的導電層，所述導電層通過與所述第一公共電極的第二部分對應的位于第一絕緣層的第三過孔的第一部分，和與所述第一公共電極的第一部分對應的位于第一絕緣層的第二過孔將所述第一公共電極的第一部分和第二部分電連接。
[0008]優(yōu)選的，所述第三過孔的第一部分位于第一絕緣層上與所述第一公共電極的第二部分的端部對應的位置；所述第二過孔位于第一絕緣層上與所述第一公共電極的第一部分與所述第二部分的端部對應的位置相對應位置。
[0009]優(yōu)選的，同行相鄰列的像素單元的第一公共電極通過與所述第一公共電極的第一部分對應的位于第一絕緣層的第一過孔電連接。
[0010]優(yōu)選的，所述的第一過孔位于所述第一絕緣層的與所述第一公共電極的第一部分的端部對應的位置。
[0011]優(yōu)選的，所述像素單元還包括:與柵線同層制作的第二公共電極，所述第二公共電極與所述第一公共電極的第二部分在垂直于所述基板的方向上的投影部分重合；
[0012]所述第二公共電極與所述的第一公共電極電連接。
[0013]優(yōu)選的，所述柵線與所述源漏極層之間設有第二絕緣層；所述第三過孔包括貫穿所述漏極金屬層和第二絕緣層的第二部分和第三部分，所述導電層通過第三過孔將所述第一公共電極的第一部分、第二部分和第二公共電極電連接。
[0014]優(yōu)選的，所述第二公共電極與所述第一公共電極的第二部分在垂直于所述基板方向上的投影重合。
[0015]優(yōu)選的，所述第二公共電極設置在所述第三公共電極上。
[0016]本發(fā)明的另一個目的還在于提供一種陣列基板的制備方法，包括以下步驟:
[0017]在基板上通過構(gòu)圖工藝形成第三公共電極的圖形；
[0018]在形成第三公共電極圖形的基板上通過構(gòu)圖工藝形成柵極、柵線和第二公共電極的圖形；
[0019]在形成柵極、柵線和第二公共電極的圖形的基板上通過構(gòu)圖工藝形成第二絕緣層的圖形，及第三過孔位于第二絕緣層的第三部分的圖形；
[0020]在形成第二絕緣層的圖形的基板上通過構(gòu)圖工藝形成有源層的圖形；
[0021]在形成有源層的圖形的基板上通過構(gòu)圖工藝形成源漏極、數(shù)據(jù)線和第一公共電極的圖形，及第三過孔位于源漏極層的第二部分的圖形；
[0022]在形成源漏極的圖形的基板上通過構(gòu)圖工藝形成的第一絕緣層的圖形、第三過孔位于第一絕緣層的第一部分的圖形、第一過孔和第二過孔的圖形；
[0023]在形成第一絕緣層的圖形的基板上通過構(gòu)圖工藝形成的導電層的圖形，所述導電層通過第一過孔、第二過孔、第三過孔將像素單元及相鄰像素單元的第一公共電極和第二公共電極連接。
[0024]本發(fā)明的另一個目的還在于提供一種顯示裝置，包括上述的陣列基板。
[0025]本發(fā)明提供陣列基板及其制備方法、顯示裝置由于在源漏極金屬層制作第一公共電極，該第一公共電極與第二公共電極、第三公共電極連接能有效的降低公共電極的電阻，使公共電極不容易受到其他信號的影響而引起的電壓波動，從而改善顯示器的品質(zhì)，例如，防止屏幕顯示產(chǎn)生閃爍。
【附圖說明】
[0026]圖1為本發(fā)明實施例1中陣列基板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖2為本發(fā)明實施例1中形成第三公共電極后的陣列基板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖3為本發(fā)明實施例1中形成柵極和第二公共電極的陣列基板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖4為本發(fā)明實施例1中形成第二絕緣層的圖形后的陣列基板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖5為本發(fā)明實施例1中形成第一公共電極后陣列基板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖6為本發(fā)明實施例1中形成第一絕緣層的圖形后陣列基板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖7為本發(fā)明實施例1中形成導電層的圖形后陣列基板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]其中，1.基板；2.第三公共電極；3.柵線；31.柵極；32.第二公共電極；4.第二絕緣層；
[0034]5.數(shù)據(jù)線；51.第一公共電極；511.第一部分；512.第二部分；
[0035]6.第一絕緣層；7.導電層；8.第三過孔；9.第二過孔；10.第一過孔；11.子像素；12.薄膜晶體管；13.像素電極；14.像素單元。
【具體實施方式】
[0036]為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本發(fā)明作進一步詳細描述。
[0037]實施例1:
[0038]如圖1-7所示，本實施例提供一種陣列基板及其制備方法。
[0039]具體地，陣列基板，包括:多個在基板I上呈矩陣排列的像素單元14，每個所述像素單元14分別連接兩條柵線3和一條數(shù)據(jù)線5，每個所述像素單元14包括兩個子像素11，每個所述子像素11分別連接相對應的柵線3和數(shù)據(jù)線5，相鄰兩行之間的像素單元14設有兩條柵線3 ;相鄰兩列像素單元14設有一條數(shù)據(jù)線5 ;
[0040]所述像素單元14包括設置在基板I上的第三公共電極2，與柵線3同層設置的第二公共電極32，與源漏極金屬同層設置的第一公共電極51 ;所述第一公共電極51、所述第二公共電極32和第三公共電極2之間電連接。
[0041]本實施例中通過在源漏極金屬層制作第一公共電極，該第一公共電極與第二公共電極、第三公共電極連接能有效的降低公共電極的電阻，使公共電極不容易受到其他信號的影響而引起的電壓波動，從而改善顯示器的品質(zhì)，例如，防止屏幕顯示產(chǎn)生閃爍。
[0042]需要指出的是上述像素單元14的子像素11可以設置為紅色亞像素、綠色亞像素、藍色亞像素中任意一個。為了顯示需要可以將相鄰的3個子像素11按紅色亞像素、綠色亞像素、藍色亞像依次設置，形成一個顯示像素。
[0043]優(yōu)選的，所述第一公共電極51包括:與所述柵線3平行設置的位于同列相鄰行像素單元14之間的第一部分511 ;和位于像素單元14的兩個子像素11之間的與所述數(shù)據(jù)線5平行的第二部分512 ;所述第一公共電極51的第一部分511和第二部分512電連接。其中，第一部分511位于同列相鄰像素單元14的柵線3之間空白的部分，即在垂直于基板I的方向上與柵線3沒有重合部分。
[0044]優(yōu)選的，所述像素單元14還包括:設置于所述源漏極金屬層上的第一絕緣層6以及設置在所述第一絕緣層6上的導電層7，所述導電層7通過與所述第一公共電極51的第二部分512對應的位于第一絕緣層6的第三過孔8的第一部分，和與所述第一公共電極51的第一部分511對應的位于第一絕緣層6的第二過孔9將所述第一公共電極51的第一部分511和第二部分512電連接。
[0045]優(yōu)選的，所述的第三過孔的第一部分位于第一絕緣層6上與所述第一公共電極51的第二部分512的端部對應的位置；
[0046]所述第二過孔9位于第一絕緣層6上與所述第一公共電極51的第一部分511與所述第二部分512的端部對應的位置相對應的位置。舉個例來說，當像素單元14被所述第一公共電極51的第二部分512被分成面積相等的兩部分，也就是說，第一公共電極51的第二部分512位于像素單元14的橫向中心處，第二過孔9就位于第一絕緣層6上與第一公共電極51的第一部分511的中點相對應的位置。
[0047]這樣設置第三過孔8的第一部分和第二過孔9能使用最短的連接線第一公共電極51的兩部分連接，降低公共電極的電阻。
[0048]優(yōu)選的，同行相鄰列的像素單元的第一公共電極51通過與所述第一公共電極51的第一部分511對應的位于第一絕緣層6的第一過孔10電連接。這樣能將整個陣列基板上的公共電極進行連接，進一步降低公共電極的電阻。
[0049]所述的第一過孔10位于所述第一絕緣層的與所述第一公共電極51的第一