另外，作為接觸防止部件，可以之后將厚度已知的箔材料配置在第一隔膜10或第二隔膜50。例如是將鋁箔等配置于第一隔膜10或第二隔膜50附近的方法。這是由于在制作隔膜10和隔膜50之后可搭載箔材料，所以隨后可將接觸防止部件56的厚度和材料簡單變更的結(jié)構(gòu)。
[0066]圖5(b)表示接觸防止部件57搭載于試樣臺52上的狀態(tài)。將第二隔膜50靠近第一隔膜10時，由于接觸防止部件57碰到隔膜保持部件155，因此隔膜與隔膜之間不會接觸。接觸防止部件57例如是螺釘，通過在試樣臺52上配置陰螺紋而可裝卸。圖中，接觸防止部件57搭載于試樣臺52上，也可以配置于隔膜保持部件155，也可以配置于上述雙方。
[0067]另外，如圖5(c)所示，可以在接觸防止部件57的前端配置旋轉(zhuǎn)的滾珠軸承58。這種情況下，該滾珠軸承58接觸于隔膜保持部件155。在接觸防止部件57的前端配置滾珠軸承58時，能以接觸防止部件57與隔膜保持部件155接觸的狀態(tài)在圖中寬度方向和紙面方向移動試樣。在此，只要是維持試樣臺與隔膜保持部件155之間的距離(或者試樣表面與隔膜之間的距離)通過接觸防止部件57限制一定值的狀態(tài)，能在帶電粒子光學(xué)鏡筒的光軸的垂直方向上驅(qū)動試樣臺的結(jié)構(gòu)，則未限制于滾珠軸承。將該部件稱為微調(diào)整用部件。如果接觸防止部件57與隔膜保持部件155之間的摩擦少，則該微調(diào)整用部件可以不是滾珠軸承。例如，可以使用以聚四氟乙烯為代表的氟元素樹脂等的有機(jī)物等中摩擦系數(shù)小的材料，也可以通過使接觸面積盡量變小而使接觸防止部件57與隔膜保持部件155之間的滑動變得順暢。
[0068]〈多個配置〉
[0069]在上述中試樣臺52上第二隔膜50只圖示一個，如圖6所示，在大氣空間中可以多個配置。像這種情況，如果在一個板部件(試樣臺或試樣載物臺等)設(shè)置多個試樣搭載位置，通過板部件的移動在隔膜50下配置多種種類的試樣，則可以以非常高的處理能力進(jìn)行利用多數(shù)的試樣的帶電粒子線的觀察或分析。這種情況下的觀察和分析不只是檢測器3進(jìn)行的二次性帶電粒子檢測，也可以進(jìn)行上述未圖示的X線等的光子線檢測器和透過帶電粒子線的檢測。由該多個檢測器進(jìn)行的觀察和分析既可以分別進(jìn)行，也可以同時進(jìn)行。另外，如果在試樣載物臺5上具備自動搬送功能，則當(dāng)然會得到更高的處理能力。作為自動搬送功能，為了將所希望的第二隔膜50自動搬送至第一隔膜10下，在試樣載物臺5上具備電動電機(jī)等的自動搬送結(jié)構(gòu)。
[0070]另外，在圖6中，記載著僅在圖中橫方向上并列第二隔膜50的狀態(tài)，如圖7(a)所示，也可以在試樣臺52的平面上二次元地并列多個第二隔膜50。或者，如圖7(b)所示基座51共通，僅第二隔膜50以及試樣6有多個。圖7(b)的情況下，從基座51的圖中下面?zhèn)扔^察時，如圖7(c)由于有多個試樣搭載部，因此試樣6的搭載可以非常高效率地實(shí)施。這種情況下，只要以圖7 (c)的狀態(tài)將試樣載置于各隔膜上并使基座51慢慢返回，并載置于試樣臺52上即可。這樣，可成為將試樣關(guān)入試樣臺52與第二隔膜50間的狀態(tài)。在試樣臺52和基座51之間可以配置未圖示的橡膠等的液體防止泄漏部件。未圖示，可以配備用于防止第一隔膜10與第二隔膜50的接觸以及破損的上述接觸防止部件56和接觸防止部件57。另夕卜，在圖6中在第一隔膜10的下面只配置一個第二隔膜50，如果第二隔膜50的窗面積比第一隔膜10的窗面積小，也可以在第一隔膜10下配置多個第二隔膜50。這種情況下，多個第二隔膜50下的多個試樣的一并的觀察以及分析成為可能。
[0071]<液體導(dǎo)入路徑>
[0072]其次，關(guān)于即使第一隔膜10與第二隔膜50的距離為一定的狀態(tài)也可將試樣6搭載于將第二隔膜作為一部分而形成的試樣保持空間的方法進(jìn)行說明。在圖8中在試樣臺52的正下面(與第二隔膜相對的面內(nèi))具備可導(dǎo)入試樣6的開口部62。在想在配置于試樣載物臺的狀態(tài)下將試樣6配置于第二隔膜50的正下面的情況下，也可以在試樣載物臺上配置未圖示的開口部。該結(jié)構(gòu)的情況下，可在第一隔膜10與第二隔膜50的距離為一定且在帶電粒子線照射至第二隔膜50上的狀態(tài)下搭載試樣6。本結(jié)構(gòu)在外部調(diào)整試樣6，馬上對想由二次性的帶電粒子和X射線等光子線進(jìn)行觀察以及分析的情況起作用。另外，也可以在將基座51緊貼或粘接的試樣臺52取出至裝置外部的狀態(tài)下，在裝置外部從開口部62導(dǎo)入試樣。
[0073]在圖9中，在支撐第二隔膜50的基座51中具備液體流經(jīng)的流道63。在圖中，流道由基座51、試樣臺52、第二隔膜50形成，不限于此，只要與第二隔膜50 —體化的部件具有形成試樣流道的部分即可。通過使用流道63可使液體試樣向如圖中箭頭方向流動。另外，如圖，設(shè)置導(dǎo)入液體的導(dǎo)入口的同時也可以設(shè)置排出液體的流道。由于這種情況下可從基座51的橫方向?qū)朐嚇?，相比于圖8的結(jié)構(gòu)可簡單且高處理能力地導(dǎo)入試樣。未圖示，在流道63上可以設(shè)置導(dǎo)入試樣的噴嘴等那樣的試樣傳送路徑。
[0074]在圖10中表示有多個接觸于流道63以及第二隔膜50的試樣的結(jié)構(gòu)。這種情況下導(dǎo)入試樣的方向是圖中紙面垂直方向。由于這樣的結(jié)構(gòu)的情況下有具備比第一隔膜10的窗面積小的窗面積的多個第二隔膜50，所以，一并進(jìn)行流經(jīng)多個流道63的試樣的觀察和分析成為可能。
[0075]<光學(xué)顯微鏡>
[0076]其次，在圖11中關(guān)于在試樣臺52下具備光學(xué)顯微鏡64的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。光學(xué)顯微鏡64相對于第二隔膜50配置于試樣側(cè)。帶電粒子光學(xué)鏡筒的光軸53、第一隔膜的中心軸54、第二隔膜的中心軸55和光學(xué)顯微鏡64的光軸65各自的軸的位置幾乎重合。未圖示，試樣載物臺5以避開光學(xué)顯微鏡64的結(jié)構(gòu)配置。這種結(jié)構(gòu)的情況下，試樣6的觀察以及分析不僅可使用帶電粒子線顯微鏡還可以使用光學(xué)顯微鏡64?？墒?，這種情況下，，試樣臺52需要相對于光學(xué)顯微鏡的光透明。作為透明的部件，是透明玻璃、透明塑料、透明的結(jié)晶體等。作為更一般的試樣臺是承物玻璃片(或顯微鏡用標(biāo)本)和碟子(或淺底碟)等的透明試樣臺。并且，在上述為了方便記載為“顯微鏡”，既可以通過光學(xué)顯微鏡觀察將帶電粒子線照射到試樣上的試樣的行動，也可以將來自光學(xué)顯微鏡的光束照射到試樣上并通過帶電粒子線顯微鏡觀察其行動。
[0077]〈其他〉
[0078]另外，未圖示，可以在第二隔膜的附近具備可在溫度加熱器和試樣中產(chǎn)生電場的電壓施加部等。這種情況下，能觀察試樣加熱或冷卻的情況、對試樣施加電場的情況。另夕卜，關(guān)于在前述配置第一隔膜和第二隔膜的兩種隔膜進(jìn)行說明，隔膜的數(shù)量也可以有三種以上。例如，可以在帶電粒子光學(xué)鏡筒2的內(nèi)部存在隔膜。在本發(fā)明中不論隔膜的數(shù)量是多少，只要滿足本實(shí)施例中所意圖的功能，就屬于本實(shí)施例的SEM或帶電粒子線裝置的范疇。
[0079]實(shí)施例2
[0080]在以下，關(guān)于能夠使一般的帶電粒子線裝置在大氣下簡便地進(jìn)行試樣觀察的裝置結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。在圖12中表示本實(shí)施例的帶電粒子顯微鏡的整體構(gòu)成圖。與實(shí)施例1相同，本實(shí)施例的帶電粒子顯微鏡也由帶電粒子光學(xué)鏡筒2、相對于裝置設(shè)置面支撐該帶電粒子光學(xué)鏡筒的機(jī)箱(真空室)7、試樣載物臺5等構(gòu)成。這些各元件的動作、功能或附加于各元件的附加元件由于與實(shí)施例1大致相同，因此詳細(xì)說明省略。
[0081]在本結(jié)構(gòu)中具備插入機(jī)箱7(以下，第一機(jī)箱)使用的第二機(jī)箱(輔助鏡頭)121。第二機(jī)箱121由長方體形狀的主體部131和重合部132構(gòu)成。如后述，主體部131的長方體形狀的側(cè)面中的至少一個側(cè)面為開放面15。主體部131的長方體形狀的側(cè)面中設(shè)置隔膜保持部件155的面以外的面既可以由第二機(jī)箱121的壁構(gòu)成，也可以第二機(jī)箱121自身沒有壁而在組裝入第一機(jī)箱7的狀態(tài)下由第一機(jī)箱7的側(cè)壁構(gòu)成。第二機(jī)箱121在第一機(jī)箱7的側(cè)面或內(nèi)壁面或帶電粒子光學(xué)鏡筒上固定位置。主體部131具有收納作為觀察對象的試樣6的功能，通過上述開口部插入第一機(jī)箱7的內(nèi)部。重合部132構(gòu)成與第一機(jī)箱7的設(shè)置開口部的側(cè)面?zhèn)鹊耐獗诿娴闹睾厦妫ㄟ^真空密封部件126固定于上述側(cè)面?zhèn)鹊耐獗诿?。由此，第二機(jī)箱121整體嵌合于第一機(jī)箱7上。上述開口部利用原本設(shè)置于帶電粒子顯微鏡的真空試樣室的試樣的搬入.搬出用開口來制作最為簡便。即，如果根據(jù)原本打開的孔的大小制造第二機(jī)箱121，在孔的周圍安裝真空密封部件126，則裝置的改造可以在需要的范圍內(nèi)采取最小限度。另外，第二機(jī)箱121也可從第一機(jī)箱7中取出。
[0082]第二機(jī)箱121的側(cè)面是用至少可與大氣空間進(jìn)行試樣出入的大小的面來連通的開放面15，收納于第二機(jī)箱121的內(nèi)部(圖中虛線右側(cè)；以下，稱為第二空間)的試樣6觀察中置于大氣壓的狀態(tài)下。并且，由于圖12是與光軸平行方向的裝置剖視圖，因此開放面15只圖示一面，如果由圖12的紙面內(nèi)方向以及跟前方向的第一機(jī)箱的側(cè)面進(jìn)行真空密封，則第二機(jī)箱121的開放面15未限于一面。在第二機(jī)箱121裝入第一機(jī)箱7的狀態(tài)下至少開放面為一面以上即可。另一方面，在第一機(jī)箱7上連接真空泵4，可將由第一機(jī)箱7的內(nèi)壁面、第二機(jī)箱的外壁面以及隔膜10形成的封閉空間(以下，稱為第一空間)真空排氣。通過以比第一空間的壓力大地保持第二空間的壓力的方式配置隔膜，在本實(shí)施例中，能夠壓力性地隔離第二空間。即，通過隔膜10第一空間11維持為高真空，另一方面，第二空間12維持為大氣壓或與大氣壓幾乎相等的壓力的氣體環(huán)境，所以，裝置動作中能夠?qū)щ娏Ｗ庸鈱W(xué)鏡筒2和檢測器3維持為真空狀態(tài)，且能夠?qū)⒃嚇?維持為大氣壓。另外，