槽2用于固定2寸LED芯片，第一芯片槽2的深度為0.35mm，直徑為1lmm ;在對2寸的LED芯片檢查時，能夠保證對2寸LED芯片的固定，使其在載片臺I快速移動時不發(fā)生相對移動。
[0057]載片臺I上平面的四周開有防護板固定螺紋孔，在載片臺的左右兩側(cè)邊緣通過螺栓固定有兩塊200mmX 1mmX 2mm的防護板，前側(cè)邊緣通過螺栓固定有一塊300mmX 1mmX 2mm的防護板，防止芯片從載片臺I上滑落。
[0058]第二芯片槽3的最左端和最右端均銑有取片孔4、5，取片孔4的直徑為6mm，深度為0.5mm，取片孔5兩端的半圓直徑為6mm，深度尺寸為0.5mm，第一芯片槽2的最左端和最右端都銑有取片孔4或取片孔5，能夠保證操作人員順利地將4寸LED芯片從左側(cè)或右側(cè)取出。
[0059]載片臺I的側(cè)面底部開有兩個第一燕尾槽軌8，第一燕尾槽軌8與第一燕尾槽架9上的第一燕尾槽13相配合，保證載片臺I在左右方向上水平移動；第一燕尾槽13兩端開有防脫軌圓柱15，能夠防止載片臺I從顯微鏡本體上滑落。
[0060]載片臺I上的兩第一燕尾槽架9與載片臺接觸的上平面分別開有5個軸承槽10，軸承槽10內(nèi)安裝有軸承11，軸承11的上頂端略高于第一燕尾槽架9的上平面，軸承11能夠在軸承槽10內(nèi)滾動；軸承11與載片臺I接觸，載片臺I左右移動時，軸承10滾動，能夠使載片臺I輕便地沿左右方向移動。
[0061]第二燕尾槽架12位于第一燕尾槽架9下方，與第一燕尾槽架9是一個整體；第二燕尾槽架12能夠與顯微鏡本體通過燕尾槽連接在一起，使得載片臺I能夠在前后方向上做水平移動。
[0062]對4寸LED芯片進行檢查時，先將2個4寸的LED芯片放入載片臺上的第二芯片槽3內(nèi)，通過第一燕尾槽架9和第二燕尾槽架12移動載片臺I，使得LED芯片位于顯微鏡視野范圍6內(nèi)，調(diào)節(jié)焦距，對4寸LED芯片進行檢查。
[0063]檢查后，通過第一燕尾槽架9和第二燕尾槽架12移動載片臺I將載片臺移到放便取放的位置，用鑷子從第二芯片槽3左端或右端的取片孔4或取片孔5的位置將LED芯片取出。
[0064]實施例3
[0065]以同時查檢2寸和4寸LED芯片為例，作進一步闡述，本發(fā)明實施例包括，載片臺1、第一芯片槽2、第二芯片槽3、取片孔4、取片孔5、防護板固定螺紋孔7、第一燕尾槽軌8、第一燕尾槽架9、軸承槽10、軸承11、第二燕尾槽架12、第一燕尾槽13、第二燕尾槽14、防脫軌圓柱15 ；
[0066]其中，載片臺I上銑有第一芯片槽2和第二芯片槽3，第一芯片槽2用于固定2寸LED芯片，第一芯片槽2的深度為0.4臟，直徑為51mm;第二芯片槽3的直徑為101mm，深度為0.35mm，在對2寸、4寸的的LED芯片同時進行檢查時，能夠保證對2寸、4寸LED芯片的固定，使其在載片臺I快速移動時不發(fā)生相對移動。
[0067]載片臺I上平面的四周開有防護板固定螺紋孔，在載片臺的左右兩側(cè)邊緣通過螺栓固定有兩塊200mmX 1mmX 2mm的防護板，前側(cè)邊緣通過螺栓固定有一塊300mmX 1mmX 2mm的防護板，防止芯片從載片臺I上滑落。
[0068]芯片槽2、3的最左端和最右端均銑有取片孔4、5，取片孔4的直徑為6mm，深度為0.5mm，取片孔5兩端的半圓直徑為6mm，深度尺寸為0.5mm，芯片槽2、3的最左端和最右端都銑有取片孔4、5，能夠保證操作人員順利地將LED芯片從左側(cè)或右側(cè)取出。
[0069]載片臺I的側(cè)面底部開有兩個第一燕尾槽軌8，第一燕尾槽軌8與第一燕尾槽架9上的第一燕尾槽13相配合，保證載片臺I在左右方向上水平移動；第一燕尾槽13兩端開有防脫軌圓柱15，能夠防止載片臺I從顯微鏡本體上滑落。
[0070]載片臺I上的兩第一燕尾槽架9與載片臺接觸的上平面分別開有5個軸承槽10，軸承槽10內(nèi)安裝有軸承11，軸承11的上頂端略高于第一燕尾槽架9的上平面，軸承11能夠在軸承槽10內(nèi)滾動；軸承11與載片臺I接觸，載片臺I左右移動時，軸承10滾動，能夠使載片臺I輕便地沿左右方向移動。
[0071]第二燕尾槽架12位于第一燕尾槽架9下方，與第一燕尾槽架9是一個整體；第二燕尾槽架12能夠與顯微鏡本體通過燕尾槽連接在一起，使得載片臺I能夠在前后方向上做水平移動。
[0072]對2寸、4寸LED芯片同時進行檢查時，先將4個2寸的LED芯片放入載片臺上的一側(cè)的4個第一芯片槽2內(nèi)，再將I個4寸LED芯片放在另一側(cè)的第二芯片槽3內(nèi)；通過第一燕尾槽架9和第二燕尾槽架12移動載片臺1，使得LED芯片位于顯微鏡視野范圍6內(nèi)，調(diào)節(jié)焦距，對2寸、4寸LED芯片進行檢查。
[0073]檢查后，通過第一燕尾槽架9和第二燕尾槽架12移動載片臺I將載片臺移到放便取放的位置，用鑷子從第一芯片槽2、第二芯片槽3左端或右端的取片孔4或取片孔5的位置將LED芯片取出。
[0074]綜上，本發(fā)明實施例具備如下有益效果:
[0075]本發(fā)明實施例提供了一種顯微鏡載片臺，由于在載片臺上銑有固定尺寸的LED芯片槽，查檢時將芯片放在芯片槽上，且載片臺的四周均設(shè)有高出載片臺的防護板，從而能夠有效防止由于載片臺快速移動而造成的芯片滑落現(xiàn)象，提高產(chǎn)品成品率。
[0076]本發(fā)明實施例前后固定支架與載片臺之間采取燕尾槽式連接，固定支架上面和載片臺背側(cè)采用可滾動的軸承接觸，可以避免載片臺在左右快速移動或停留在極限位置時，任然可以保證載片臺處于水平位置，從左到右觀察芯片時無需不停調(diào)整顯微鏡焦距，提高工作效率；
[0077]同時，由于芯片固定在芯片槽內(nèi)，檢查時芯片與載片臺不發(fā)生相對移動，能夠提高芯片檢測的效率。
[0078]此外，在每個LED芯片槽上的最左側(cè)和最右側(cè)都銑有略深于LED芯片槽的小孔，因此慣用左、右手的操作人員都可以順利將芯片從載物臺上取出。
[0079]在本發(fā)明實施例中，用2寸、4寸的LED芯片為例，僅用于對發(fā)明的進一步說明，并非對對其限制，并不意味著本發(fā)明只能用于LED芯片的檢查，也可以用于其他方面；本發(fā)明實施例中所提出的2個第二芯片槽和8個第一芯片槽，只是一種優(yōu)選的方案，并不意味著本發(fā)明提供的載片臺只能有2個第二芯片槽和8個第一芯片槽，可以是至少一個第一芯片槽和/或至少一個第二芯片槽，本發(fā)明實施例中所指出的芯片槽為圓形，也非對芯片槽的形狀進行限定，而是一種優(yōu)選方案，可以做成矩形或其它形狀。
[0080]需要說明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語僅僅用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區(qū)分開來，而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下，由語句“包括一個……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過程、方法、物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。
[0081]以上實施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對其限制；盡管參照前述實施例對本發(fā)明進行了詳細的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實施例技術(shù)方案的精神和范圍。
【主權(quán)項】
1.一種顯微鏡載片臺，包括載片臺(I)，其特征在于:所述的載片臺(I)上銑有第一芯片槽(2)和/或第二芯片槽(3);所述的載片臺(I)四周通過防護板螺紋孔(7)與防護板固定; 所述載片臺(I)的兩側(cè)開有第一燕尾槽軌(8)，第一燕尾槽架(9)上開有第一燕尾槽(13);所述第一燕尾槽軌(8)和所述第一燕尾槽(13)滑動連接；所述的第一燕尾槽架(9)兩端的下底面與第二燕尾槽架(12)兩端上頂面固定在一起；所述第二燕尾槽架(12)上開有第二燕尾槽(14);所述第二燕尾槽(14)和第二燕尾軌(17)滑動連接，所述第二燕尾軌(17)在第二燕尾槽軌架(16)上，第二燕尾槽軌架(16)固定在顯微鏡上。
2.如權(quán)利要求1所述的一種顯微鏡載片臺，其特征在于:所述的載片臺(I)上銑有至少一個第一芯片槽(2)。
3.如權(quán)利要求1所述的一種顯微鏡載片臺，其特征在于:所述的載片臺(I)上銑有至少一個第二芯片槽(3)。
4.如權(quán)利要求2所述的一種顯微鏡載片臺，其特征在于:所述的第一芯片槽(2)的邊緣上開有取片孔(4)和取片孔(5)。
5.如權(quán)利要求4所述的一種顯微鏡載片臺，其特征在于:所述的取片孔(4，5)的深度尺寸大于所述第一芯片槽(2)、所述第二芯片槽(3)的深度尺寸。
6.如權(quán)利要求3所述的一種顯微鏡載片臺，其特征在于:所述的第二芯片槽(3)的邊緣上開有取片孔(4)。
7.如權(quán)利要求6所述的一種顯微鏡載片臺，其特征在于:所述的取片孔4的深度尺寸大于所述第一芯片槽(2)、所述第二芯片槽(3)的深度尺寸。
8.如權(quán)利要求1所述的一種顯微鏡載片臺，其特征在于:所述的第一燕尾槽架(9)與載片臺(I)接觸的上平面銑有軸承槽(10)。
9.如權(quán)利要求8所述的一種顯微鏡載片臺，其特征在于:所述的軸承槽(10)內(nèi)安裝有軸承(11)，所述軸承(11)能夠在所述的軸承槽(10)內(nèi)轉(zhuǎn)動。
10.如權(quán)利要求1所述的一種顯微鏡載片臺，其特征在于:所述第一燕尾槽軌(8)的兩端安裝有防脫軌圓柱(15)。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種顯微鏡載片臺，涉及半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)制造領(lǐng)域；主要包括載片臺(1)，其中載片臺(1)上銑有第一芯片槽(2)和/或第二芯片槽(3)；載片臺(1)四周通過防護板螺紋孔(7)與防護板固定；載片臺(1)的兩側(cè)開有第一燕尾槽軌(8)，第一燕尾槽軌(8)和第一燕尾槽(13)滑動連接；第一燕尾槽架(9)兩端的下底面與第二燕尾槽架(12)兩端上頂面固定在一起；第二燕尾槽(14)和第二燕尾軌(17)滑動連接，第二燕尾軌(17)在第二燕尾槽軌架(16)上，第二燕尾槽軌架(16)固定在顯微鏡上；本發(fā)明能夠有效防止由于載片臺快速移動而造成的芯片滑落現(xiàn)象，從而提高產(chǎn)品成品率。
【IPC分類】H01J37-20
【公開號】CN104821266
【申請?zhí)枴緾N201510230274
【發(fā)明人】丁維才, 馮靖, 吳化勝
【申請人】合肥彩虹藍光科技有限公司
【公開日】2015年8月5日
【申請日】2015年5月7日