15。例如， 當(dāng)在重復(fù)W上步驟410至415時(shí)，在連續(xù)檢測(cè)值和發(fā)送所檢測(cè)的值的信號(hào)期間，清洗液302 的所檢測(cè)的抑值被識(shí)別為處于或在預(yù)定闊值水平或范圍內(nèi)時(shí)，控制器361將不同命令信號(hào) 發(fā)送至閥353。例如，在步驟428中，控制器361從計(jì)算設(shè)備370接收信號(hào)，其中，該信號(hào)指 示抑值當(dāng)前處于或在預(yù)定闊值水平或范圍內(nèi)。在步驟429中，控制器361將命令信號(hào)發(fā)送 至閥358,其中，在步驟430中，命令信號(hào)促進(jìn)關(guān)閉閥358,使得不再?gòu)那逑词?00去除清洗 液302。在一些實(shí)施例中，在清洗工藝的持續(xù)時(shí)間段內(nèi)連續(xù)地重復(fù)步驟410至430, W確保 清洗室302的抑值水平在清洗工藝期間保持在最佳水平或在最佳范圍內(nèi)。在清洗工藝完 成并且殘留元素被去除之后，太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)303可W被傳送到另一個(gè)室（未示出），使 得緩沖層140可W形成在吸收層130上。
[0077] 在本文中描述的一些實(shí)施例能夠在緩沖層形成在吸收層上之前進(jìn)行清洗太陽(yáng)能 電池子結(jié)構(gòu)的工藝，使得在清洗工藝期間，監(jiān)控并控制清洗液的抑值。例如，一些實(shí)施例提 供由太陽(yáng)能電池制造系統(tǒng)使用的清洗組件，其中，清洗組件包括清洗室，清洗室中包括清洗 液，并且清洗室被配置成使用清洗液從至少一個(gè)太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)去除殘留元素。控制裝 置連接至清洗室，其中，當(dāng)從太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)去除殘留元素時(shí)，控制裝置促進(jìn)檢測(cè)清洗液 的抑值。當(dāng)所檢測(cè)的抑值不同于預(yù)定闊值抑值水平或不同于預(yù)定抑值范圍時(shí)，控制裝 置還促進(jìn)修改清洗液的抑值。
[007引在一些實(shí)施例中，提供用于監(jiān)控制造太陽(yáng)能電池的工藝的方法。該方法包括：將至 少一個(gè)太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)傳送到其中具有清洗液的清洗室，使得太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)至少部 分地浸入清洗液內(nèi)。使用清洗液，從太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)去除殘留材料。在太陽(yáng)能電池子結(jié) 構(gòu)至少部分地浸入清洗液內(nèi)的同時(shí)，經(jīng)由控制裝置來(lái)自動(dòng)檢測(cè)清洗液的抑值。該方法還包 括；經(jīng)由控制裝置，確定所檢測(cè)的抑值是否處于用于清洗液的預(yù)定闊值抑值水平或者在 預(yù)定抑值范圍內(nèi)。如果所檢測(cè)的抑值不同于預(yù)定闊值抑值水平或者不同于預(yù)定抑值范 圍，則自動(dòng)修改清洗液的抑值。
[0079] 在一些實(shí)施例中，提供清洗組件，并且清洗組件包括適于其中包含有清洗液的清 洗室，其中，清洗室被配置成接收并且在其中包含至少一個(gè)太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)，使得太陽(yáng)能 電池子結(jié)構(gòu)至少部分地浸入清洗液內(nèi)，W用于從太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)去除殘留材料?？刂蒲b 置連接至清洗室?？刂蒲b置包括至少部分地位于清洗室內(nèi)的抑計(jì)，用于定位在清洗液內(nèi)， 其中，pH計(jì)被配置成在太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)至少部分地浸入清洗液內(nèi)的同時(shí)，檢測(cè)清洗液的 抑值?？刂破鬟B接至抑計(jì)，其中，控制器被配置成確定所檢測(cè)的抑值是否處于用于清洗液 的預(yù)定闊值水平或在預(yù)定抑值范圍內(nèi)，并且如果所檢測(cè)的抑值不同于預(yù)定闊值抑值水平 或者不同于預(yù)定抑值范圍，則啟動(dòng)清洗液的抑值的修改。
[0080] 在一些實(shí)施例中，提供一種太陽(yáng)能電池制造系統(tǒng)。太陽(yáng)能電池制造系統(tǒng)包括沉積 室，該沉積室被配置成接收至少一個(gè)太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)并且對(duì)太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)執(zhí)行反應(yīng) 工藝。清洗組件連接至沉積室。清洗組件包括適于在其中包含清洗液的清洗室，其中，清洗 室被配置成接收并且在其中包含太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)，使得太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)至少部分地浸 入清洗液內(nèi)，W用于從太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)去除殘留材料?？刂蒲b置連接至清洗室。控制裝 置包括至少部分地位于清洗室內(nèi)的抑計(jì)，W用于定位在清洗液內(nèi)，其中，抑計(jì)被配置成在 太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)至少部分地浸入清洗液內(nèi)的同時(shí)，檢測(cè)清洗液的抑值?？刂破鬟B接至抑 計(jì)，其中，控制器被配置成確定所檢測(cè)的抑值是否處于用于清洗液的預(yù)定闊值抑值水平或 者在預(yù)定抑值范圍內(nèi)，并且如果所檢測(cè)的抑值不同于預(yù)定闊值抑值水平或不同于預(yù)定抑 值范圍，則啟動(dòng)清洗液的抑值的修改。
[0081] W上概述了多個(gè)實(shí)施例的特征，使得本領(lǐng)域技術(shù)人員可W更好地理解本發(fā)明的多 個(gè)方面。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該想到，他們可W使用本發(fā)明作為基礎(chǔ)來(lái)設(shè)計(jì)或修改其他用于 實(shí)現(xiàn)與在本文中介紹的實(shí)施例相同的目的和/或?qū)崿F(xiàn)與其相同的優(yōu)點(diǎn)的工藝和結(jié)構(gòu)。本領(lǐng) 域技術(shù)人員還應(yīng)該認(rèn)識(shí)到，該樣的等效結(jié)構(gòu)不脫離本發(fā)明的精神和范圍，并且在不脫離本 發(fā)明的精神和范圍的情況下，在本文中可W作出多種改變、替換和更改。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種方法，包括： 將至少一個(gè)太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)傳遞至其中具有清洗液的清洗室，使得所述至少一個(gè)太 陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)至少部分地浸入所述清洗液； 使用所述清洗液，從所述至少一個(gè)太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)去除殘留材料； 在所述至少一個(gè)太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)至少部分地浸入所述清洗液的同時(shí)，經(jīng)由控制裝置 自動(dòng)地檢測(cè)所述清洗液的pH值； 經(jīng)由所述控制裝置，確定所檢測(cè)的PH值是否處于所述清洗液的預(yù)定閾值pH值水平或 在預(yù)定pH值范圍內(nèi)；以及 如果所檢測(cè)的PH值不同于所述預(yù)定閾值pH值水平或者不同于所述預(yù)定pH值范圍，則 自動(dòng)地修改所述清洗液的pH值。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括：將相互間隔開的多個(gè)管定位在所述清洗 室的端部處，其中，所述多個(gè)管中的每個(gè)管均包括多個(gè)孔。3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，進(jìn)一步包括：通過(guò)所述多個(gè)管中的每個(gè)管引導(dǎo)流體，使 得所述流體被引導(dǎo)通過(guò)所述多個(gè)孔。4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中，引導(dǎo)流體包括：引導(dǎo)氣流通過(guò)所述多個(gè)管中的每 個(gè)管。5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，添加所述清洗液包括：將去離子水添加到所述清 洗室中。6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，修改所述清洗液的所述pH值包括：從所述清洗 室去除所述清洗液的至少一部分。7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，修改所述清洗液的pH值包括：將附加清洗液從 存儲(chǔ)罐添加至所述清洗室。8. -種清洗組件,包括： 清洗室，用于在其中包含有清洗液，所述清洗室被配置成接收并且在其中包含至少一 個(gè)太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)，使得所述至少一個(gè)太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)被至少部分地浸入所述清洗 液，以用于從所述至少一個(gè)太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)去除殘留材料；以及 控制裝置，連接至所述清洗室，所述控制裝置包括： PH計(jì)，至少部分地位于所述清洗室內(nèi)，以用于定位在所述清洗液內(nèi)，所述pH計(jì)被配置 成在所述至少一個(gè)太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)被部分地浸入所述清洗液的同時(shí)，檢測(cè)所述清洗液的 pH值；以及 控制器，連接至所述PH計(jì)，所述控制器被配置成確定所檢測(cè)的pH值是否處于所述清洗 液的預(yù)定閾值PH值水平處或在預(yù)定pH值范圍內(nèi)，并且如果所檢測(cè)的pH值不同于所述預(yù)定 閾值PH值水平或者不同于所述預(yù)定pH值范圍，則啟動(dòng)所述清洗液的pH值的修改。9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的清洗裝置，其中，所述清洗室包括位于所述清洗室的端部處 的相互間隔開的多個(gè)管，所述多個(gè)管中的每個(gè)管都包括多個(gè)孔。10. -種太陽(yáng)能電池制造系統(tǒng)，包括： 沉積室，被配置成接收至少一個(gè)太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)，并且對(duì)所述至少一個(gè)太陽(yáng)能電池 子結(jié)構(gòu)執(zhí)行反應(yīng)工藝；以及 清洗裝置，連接至所述沉積室，所述清洗裝置包括： 清洗室，用于在其中包含有清洗液，所述清洗室被配置成接收并且在其中包含所述至 少一個(gè)太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)，使得所述至少一個(gè)太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)至少部分地浸入所述清洗 液，以用于從所述至少一個(gè)太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)去除殘留材料；以及 控制裝置，連接至所述清洗室，所述控制裝置包括： PH計(jì)，至少部分地位于所述清洗室內(nèi)，用于定位在所述清洗液內(nèi)，所述pH計(jì)被配置成 在所述至少一個(gè)太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)被部分地浸入所述清洗液的同時(shí)，檢測(cè)所述清洗液的PH 值；以及 控制器，連接至所述PH計(jì)，所述控制器被配置成確定所檢測(cè)的pH值是否處于所述清洗 液的預(yù)定閾值PH值水平或在預(yù)定pH值范圍內(nèi)，并且如果所檢測(cè)的pH值不同于所述預(yù)定閾 值PH值水平或者不同于所述預(yù)定pH值范圍，則啟動(dòng)所述清洗液的pH值的修改。
【專利摘要】一種用于監(jiān)控制造太陽(yáng)能電池的工藝的清洗組件和方法，其中該方法包括：將至少一個(gè)太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)傳遞至其中具有清洗液的清洗室，使得太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)至少部分地浸入清洗液。使用清洗液從太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)去除殘留材料。在太陽(yáng)能電池子結(jié)構(gòu)被至少部分地浸入清洗液的同時(shí)，經(jīng)由控制裝置自動(dòng)地檢測(cè)清洗液的pH值。該方法還包括：經(jīng)由控制裝置，確定所檢測(cè)的pH值是否處于清洗液的預(yù)定閾值pH值水平或者在預(yù)定pH值范圍內(nèi)。如果所檢測(cè)的pH值不同于預(yù)定閾值pH值水平或不同于預(yù)定pH值范圍，則自動(dòng)地修改清洗液的pH值。
【IPC分類】B08B3/02, H01L31/18
【公開號(hào)】CN104916735
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410222441
【發(fā)明人】陳世偉
【申請(qǐng)人】臺(tái)積太陽(yáng)能股份有限公司
【公開日】2015年9月16日
【申請(qǐng)日】2014年5月23日
【公告號(hào)】US20150263215