傳輸平臺1201將帶有靜電荷的載板1212a和其上的軟性基板1214 —起傳送至滾軸1210a、1210b之間，利用滾軸1210a、1210b滾壓軟性基板1214和帶有靜電荷的載板1212a，可進(jìn)一步去除軟性基板1214和帶有靜電荷的載板1212a之間的殘留氣泡，將軟性基板1214貼附至帶有靜電荷的載板1212a上。進(jìn)行上述貼附制程之后，再進(jìn)行另一道充電制程(步驟1306)，將至少10 7庫侖/cm2的靜電荷注入軟性基板1214以成為帶有靜電荷的軟性基板1214a，增加帶有靜電荷的載板1212a和帶有靜電荷的軟性基板1214a之間的靜電吸附力。
[0123]由于如圖16所示的加壓板1219和滾軸1210a、1210b具有類似的功能，因而上述兩者亦可擇一設(shè)置于貼附式裝置中。在如圖17所示的本發(fā)明另一實施例中，具靜電貼附設(shè)備1500f的貼附式裝置1210-4包括與電熱裝置1218整合于同一位置的加壓板1219，使帶有靜電荷的載板1212a和軟性基板1214進(jìn)行加熱和加壓的貼附制程，去除軟性基板1214和帶有靜電荷的載板1212a之間的殘留氣泡，以增加帶有靜電荷的載板1212a和軟性基板1214之間的靜電吸附力。
[0124]圖17與圖14所示的本發(fā)明不同實施例的靜電貼附制程的不同處為:在進(jìn)行步驟1304對載板1212充電之后，接著進(jìn)行步驟1308E，利用載板傳輸平臺1201將帶有靜電荷的載板1212a和其上的軟性基板1214 —起傳送至靜電貼附設(shè)備1500f的貼附式裝置1210-4內(nèi)進(jìn)行一貼附制程。上述貼附制程利用位于輸送帶1202下方的電熱裝置1218和位于輸送帶1202上方的加壓板1219對帶有靜電荷的載板1212a和軟性基板1214兩者進(jìn)行加熱和加壓步驟，驅(qū)離位于兩者之間的殘留氣泡，將軟性基板1214貼附至帶有靜電荷的載板1212a上。進(jìn)行上述貼附制程之后，再進(jìn)行另一道充電制程(步驟1306)，將至少10 7庫侖/cm2的靜電荷注入軟性基板1214以成為帶有靜電荷的軟性基板1214a，增加帶有靜電荷的載板1212a和帶有靜電荷的軟性基板1214a之間的靜電吸附力。
[0125]本發(fā)明另一實施例中，如圖18所示，可將電熱裝置1218a設(shè)置于輸送帶1202上方，上述電熱裝置1218a具有加熱與加壓的雙重功能。在如圖18所示的本發(fā)明另一實施例的靜電貼附設(shè)備1500g中，貼附式裝置1210-5可包括一對滾軸1210a、1210b以及一電熱裝置1218a。如圖18所示，本發(fā)明實施例的貼附式裝置1210-5的滾軸1210a、1210b是分別設(shè)置于輸送帶1202的上方和下方且彼此相對設(shè)置，使輸送帶1202帶體夾設(shè)于兩者之間，且電熱裝置1218a是設(shè)置接近于滾軸1210a、1210b的一側(cè)，且位于輸送帶1202的上方。
[0126]圖18與圖14所示的本發(fā)明不同實施例的靜電貼附制程的不同處為:在進(jìn)行步驟1304對載板1212充電之后，接著進(jìn)行步驟1308F，利用載板傳輸平臺1201將帶有靜電荷的載板1212a和其上的軟性基板1214 —起傳送至靜電貼附設(shè)備1500g的貼附式裝置1210-5內(nèi)進(jìn)行一貼附制程。上述貼附制程利用電熱裝置1218a從帶有靜電荷的載板1212a的上方對帶有靜電荷的載板1212a和軟性基板1214兩者進(jìn)行加熱步驟和加壓步驟，驅(qū)離位于兩者之間的殘留氣泡并使軟性基板1214的表面平整。之后,利用滾軸1210a、1210b滾壓軟性基板1214和帶有靜電荷的載板1212a，可進(jìn)一步去除軟性基板1214和帶有靜電荷的載板1212a之間的殘留氣泡，將軟性基板1214貼附至帶有靜電荷的載板1212a上。進(jìn)行上述貼附制程之后，再進(jìn)行另一道充電制程(步驟1306)，將至少10 7庫侖/cm2的靜電荷注入軟性基板1214以成為帶有靜電荷的軟性基板1214a，增加帶有靜電荷的載板1212a和帶有靜電荷的軟性基板1214a之間的靜電吸附力。
[0127]由于如圖18所示的電熱裝置1218a和滾軸1210a、1210b具有類似的(加壓)功能，因而上述兩者可擇一設(shè)置于貼附式裝置中。因此，如圖19所示的靜電貼附設(shè)備1500h的貼附式裝置即為電熱裝置1218a。圖19與圖14所示的本發(fā)明不同實施例的靜電貼附制程的不同處為:在進(jìn)行步驟1304對載板1212充電之后，接著進(jìn)行步驟1308G，利用載板傳輸平臺1201將帶有靜電荷的載板1212a和其上的軟性基板1214—起傳送至靜電貼附設(shè)備1500h的電熱裝置1218a的下方進(jìn)行一貼附制程。上述貼附制程利用電熱裝置1218a從帶有靜電荷的載板1212a的上方對帶有靜電荷的載板1212a和軟性基板1214兩者進(jìn)行加熱步驟和加壓步驟，驅(qū)離位于兩者之間的殘留氣泡并使軟性基板1214的表面平整。進(jìn)行上述貼附制程之后，可再進(jìn)行另一道充電制程(步驟1306)，將至少10 7庫侖/cm2的靜電荷注入軟性基板1214以成為帶有靜電荷的軟性基板1214a，增加帶有靜電荷的載板1212a和帶有靜電荷的軟性基板1214a之間的靜電吸附力。
[0128]本發(fā)明另一實施例中，可將一彈性材料片1220設(shè)置于電熱裝置1218a上，上述彈性材料片1220面對基板的一表面1222是設(shè)計為一斜面(意即上述表面與基板表面之間的夾角大于O度且小于90度)，增加去除殘留氣泡的效率。在如圖20所示的本發(fā)明另一實施例的靜電貼附設(shè)備1500i中，貼附式裝置1210-6可包括一對滾軸1210a、1210b、一電熱裝置1218a以及一彈性材料片1220。如圖20所示，本發(fā)明實施例的貼附式裝置1210-6的滾軸1210a、1210b是分別設(shè)置于輸送帶1202的上方和下方且彼此相對設(shè)置，使輸送帶1202帶體夾設(shè)于兩者之間，且彼此連接的電熱裝置1218a和彈性材料片1220是設(shè)置接近于滾軸1210a、1210b的一側(cè)，且位于輸送帶1202的上方。彈性材料片1220可較電熱裝置1218a更接近輸送帶1202。在本發(fā)明一實施例中，彈性材料片1220的兩個相對側(cè)邊和底面(表面1222)的夾角B1、B2皆不為直角(90度)。在本發(fā)明一實施例中，彈性材料片1220的其中的一側(cè)邊和底面(表面1222)的夾角BI小于90度，而另一側(cè)邊和底面(表面1222)的夾角B2則大于90度并與夾角BI互補。
[0129]圖20與圖14所示的本發(fā)明不同實施例的靜電貼附制程的不同處為:在進(jìn)行步驟1304對載板1212充電之后，接著進(jìn)行步驟1308H，利用載板傳輸平臺1201將帶有靜電荷的載板1212a和其上的軟性基板1214—起傳送至靜電貼附設(shè)備1500i的電熱裝置1218a和彈性材料片1220的下方進(jìn)行一貼附制程。上述貼附制程利用貼附式裝置1210-6的電熱裝置1218a從帶有靜電荷的載板1212a的上方對帶有靜電荷的載板1212a和軟性基板1214兩者進(jìn)行加熱步驟。進(jìn)行加熱步驟期間，連接至電熱裝置1218a的彈性材料片1220會從帶有靜電荷的載板1212a的上方對帶有靜電荷的載板1212a和軟性基板1214兩者進(jìn)行加壓步驟，驅(qū)離位于兩者之間的殘留氣泡并使軟性基板1214的表面平整。由于上述彈性材料片面對基板的一表面是設(shè)計為一斜面，所以在貼附制程期間，上述彈性材料片1220對基板加壓的同時可以將位于帶有靜電荷的載板1212a和軟性基板1214之間的界面殘留氣泡由帶有靜電荷的載板1212a和軟性基板1214的一邊緣向另一邊緣推擠(例如從圖20的左邊緣向右邊緣推擠)，提高去除殘留氣泡的效率。之后，利用滾軸1210a、1210b滾壓軟性基板1214和帶有靜電荷的載板1212a，再進(jìn)一步去除軟性基板1214和帶有靜電荷的載板1212a之間的殘留氣泡，將軟性基板1214貼附至帶有靜電荷的載板1212a上。進(jìn)行上述貼附制程之后，可再進(jìn)行另一道充電制程(步驟1306)，將至少10 7庫侖/cm2的靜電荷注入軟性基板1214以成為帶有靜電荷的軟性基板1214a，增加帶有靜電荷的載板1212a和帶有靜電荷的軟性基板1214a之間的靜電吸附力。
[0130]由于如圖20所示的彼此連接的電熱裝置1218a和彈性材料片1220與滾軸1210a、1210b具有類似的(加壓)功能，因而可選擇僅將電熱裝置1218a和彈性材料片1220設(shè)置于貼附式裝置中。因此，如圖21所示的靜電貼附設(shè)備1500j的貼附式裝置1210-7由電熱裝置1218a和彈性材料片1220構(gòu)成。圖21與圖14所示的本發(fā)明不同實施例的靜電貼附制程的不同處為:在進(jìn)行步驟1304對載板1212充電之后，接著進(jìn)行步驟13081，利用載板傳輸平臺1201將帶有靜電荷的載板1212a和其上的軟性基板1214 —起傳送至靜電貼附設(shè)備1500j的貼附式裝置1210-7的下方進(jìn)行一貼附制程。上述貼附制程利用貼附式裝置1210-7的電熱裝置1218a從帶有靜電荷的載板1212a的上方對帶有靜電荷的載板1212a和軟性基板1214兩者進(jìn)行加熱步驟。進(jìn)行加熱步驟期間，連接至電熱裝置1218a的彈性材料片1220會從帶有靜電荷的載板1212a的上方對帶有靜電荷的載板1212a和軟性基板1214兩者進(jìn)行加壓步驟，驅(qū)離位于兩者之間的殘留氣泡并使軟性基板1214的表面平整。進(jìn)行上述貼附制程之后，可再進(jìn)行另一道充電制程(步驟1306)，將至少10 7庫侖/cm2的靜電荷注入軟性基板1214以成為帶有靜電荷的軟性基板1214a，增加帶有靜電荷的載板1212a和帶有靜電荷的軟性基板1214a之間的靜電吸附力。
[0131]本發(fā)明另一實施例中，可將電熱裝置1218和彈性材料片1220分別設(shè)置于輸送帶1202的上方和下方且彼此相對設(shè)置，上述電熱裝置1218和彈性材料片1220的設(shè)置方式也可以使帶有靜電荷的載板1212a和軟性基板1214進(jìn)行加熱和加壓的貼附制程。在如圖22所示的本發(fā)明另一實施例的靜電貼附設(shè)備1500k中，貼附式裝置1210-8可包括一對滾軸1210a、1210b、一電熱裝置1218以及一彈性材料片1220。如圖22所示，本發(fā)明實施例的貼附式裝置1210-8的滾軸1210a、1210b是分別設(shè)置于輸送帶1202的上方和下方且彼此相對設(shè)置，使輸送帶1202帶體夾設(shè)于兩者之間。另外，貼附式裝置1210-8的彈性材料片1220和電熱裝置1218是設(shè)置接近于滾軸1210a、1210b的一側(cè)，分別設(shè)置于輸送帶1202的上方和下方且彼此相對設(shè)置，使輸送帶1202帶體夾設(shè)于兩者之間。
[0132]圖22與圖14所示的本發(fā)明不同實施例的靜電貼附制程的不同處為:在進(jìn)行步驟1304對載板1212充電之后，接著進(jìn)行步驟1308J，利用載板傳輸平臺1201將帶有靜電荷的載板1212a和其上的軟性基板1214 —起傳送至靜電貼附設(shè)備1500k的貼附式裝置1210-8內(nèi)進(jìn)行一貼附制程。上述貼附制程利用位于輸送帶1202下方的電熱裝置1218和位于輸送帶1202上方的彈性材料片1220對帶有靜電荷的載板1212a和軟性基板1214兩者進(jìn)行加熱和加壓步驟，驅(qū)離位于兩者之間的殘留氣泡，上述彈性材料片1220于加壓的同時可以將位于帶有靜電荷的載板1212a和軟性基板1214之間的界面殘留氣泡由帶有靜電荷的載板1212a和軟性基板1214的一邊緣向另一邊緣推擠(例如從圖22的左邊緣向右邊緣推擠)，提高去除殘留氣泡的效率。之后，利用載板傳輸平臺1201將帶有靜電荷的載板1212a和其上的軟性基板1214 —起傳送至滾軸1210a、1210b之間，利用滾軸1210a、1210b滾壓軟性基板1214和帶有靜電荷的載板1212a，再進(jìn)一步去除軟性基板1214和帶有靜電荷的載板1212a之間的殘留氣泡，將軟性基板1214貼附至帶有靜電荷的載板1212a上。進(jìn)行上述貼附制程之后，可再進(jìn)行另一道充電制程(步驟1306)，將至少10 7庫侖/cm2的靜電荷注入軟性基板1214以成為帶有靜電荷的軟性基板1214a，增加帶有靜電荷的載板1212a和帶有靜電荷的軟性基板1214a之間的靜電吸附力。
[0133]由于如圖22所示的彼此連接的電熱裝置1218和彈性材料片1220與滾軸1210a、1210b具有類似的(加壓)功能，因而可選擇僅將電熱裝置1218和彈性材料片1220做為貼附式裝置中。因此，如圖23所示的靜電貼附設(shè)備15001的貼附式裝置1210-9由電熱裝置1218和彈性材料片1220構(gòu)成。圖23與圖14所示的本發(fā)明不同實施例的靜電貼附制程的不同處為:在進(jìn)行步驟1304對載板1212充電之后，接著進(jìn)行步驟1308K，利用載板傳輸平臺1201將帶有靜電荷的載板1212a和其上的軟性基板1214 —起傳送至靜電貼附設(shè)備15001的貼附式裝置1210-9內(nèi)進(jìn)行一貼附制程。上述貼附制程利用位于輸送帶1202下方的電熱裝置1218和位于輸送帶1202上方的彈性材料片1220對帶有靜電荷的載板1212a和軟性基板1214兩者進(jìn)行加熱和加壓步驟，驅(qū)離位于兩者之間的殘留氣泡，上述彈性材料片1220于加壓的同時可以將位于帶有靜電荷的載板1212a和軟性基板1214之間的界面殘留氣泡由帶有靜電荷的載板1212a和軟性基板1214的一邊緣向另一邊緣推擠(例如從圖23的左邊緣向右邊緣推擠)，提高去除殘留氣泡的效率。進(jìn)行上述貼附制程之后，可再進(jìn)行另一道充電制程(步驟1306)，將至少10 7庫侖/cm2的靜電荷注入軟性基板1214以成為帶有靜電荷的軟性基板1214a，增加帶有靜電荷的載板1212a和帶有靜電荷的軟性基板1214a之間的靜電吸附力。
[0134]圖24顯示本發(fā)明其他實施例的用以靜電貼附結(jié)合軟性基板與載板的靜電貼附設(shè)備1500m。上述附圖中的各組件如有與圖12?圖23所示相同或相似的部分，則可參考前面的相關(guān)敘述，在此不做重復(fù)說明。如圖24所示，靜電貼附設(shè)備1500m在進(jìn)行制程中使用的軟性基板為一軟性基板卷材1224，上述軟性基板卷材1224是纏繞于一供應(yīng)軸1226上。在進(jìn)行貼附制程之前，是卷動供應(yīng)軸1226將軟性基板卷材1224的一部分置于載板傳輸平臺1201的輸送帶1202上，再利用軟性基板卷材1224和輸送帶1202之間的摩擦力連續(xù)帶動供應(yīng)軸1226卷動使軟性基板卷材1224不斷釋出(出帶)。在本發(fā)明其他實施例的靜電貼附設(shè)備1500m可還包括一切割裝置1228，設(shè)置于載板傳輸平臺1201上。在本發(fā)明一實施例中，切割裝置1228是用以進(jìn)行一切割制程切割軟性基板卷材1224，以將軟性基板卷材1224分離為不同的軟性基板片段。在本發(fā)明一實施例中，切割裝置1228可包括例如一刀片的一接觸式切割裝置或一非接觸切割裝置。
[0135]以圖24為來說明本發(fā)明其他實施例的用以靜電貼附結(jié)合軟性基板與載板的靜電貼附制程，又可稱為卷對片制程(roll to sheet process)。首先,如圖24的步驟1302所示，將一載板1212置于載板傳輸平臺1201的輸送帶1202上。接著，進(jìn)行步驟1304，通過載板傳輸平臺1201的兩個滾軸1200與輸送帶1202之間的摩擦力，帶動輸送帶1202連續(xù)運轉(zhuǎn)，將載板1212傳送至靜電貼附設(shè)備1500m的充電裝置1206內(nèi)進(jìn)行一充電制程，將至少
107庫侖/cm2的靜電荷注入載板1212以成為帶有靜電荷的載板1212a。接著，卷動供應(yīng)軸1226將軟性基板卷材1224的一部分置于載板傳輸平臺1201的輸送帶1202上，再利用軟性基板卷材1224和輸送帶1202之間的摩擦力連續(xù)帶動供應(yīng)軸1226卷動使軟性基板卷材1224不斷釋出(出帶)。接著，進(jìn)行步驟1322，利用載板傳輸平臺1201將帶有靜電荷的載板1212a和軟性基板卷材1224 —起傳送至靜電貼附設(shè)備1500m的貼附式裝置1322A?13221內(nèi)進(jìn)行一貼附制程，將軟性基板卷材1224的一部分貼附至帶有靜電荷的載板1212a上。接著，進(jìn)行步驟1306，利用載板傳輸平臺1201將帶有靜電荷的載板1212a和其上的軟性基板卷材1224的一部分一起傳送至另一充電裝置1208內(nèi)進(jìn)行另一道充電制程，將至少10 7庫侖/cm2的靜電荷注入軟性基板卷材1224的一部分以成為帶有靜電荷的軟性基板卷材部分1224a，增加帶有靜電荷的載板1212a和帶有靜電荷的軟性基板卷材部分1224a之間的靜電吸附力。上述步驟1304和1306的充電制程可包括一電暈放電充電制程、一液體接觸充電制程、一真空電子槍充電制程、一摩擦致電制程或一電擊穿充電制程。進(jìn)行步驟1324，利用載板傳輸平臺1201將該帶有靜電荷的載板1212a和其上的帶有靜電荷的軟性基板卷材部分1224a —起傳送至靜電貼附設(shè)備的切割裝置1228，以進(jìn)行一切割制程，從軟性基板卷材1224分離成為帶有靜電荷的軟性基板卷材部分1224a。
[0136]圖25A?圖251為圖24所示的的靜電貼附制程中進(jìn)行貼附步驟(Iaminat1nprocess) 1322的貼附式裝置的變化例，為了顯示方便起見，圖25A?圖251并未顯示圖24所示的輸送帶1202。另外，上述附圖中的各組件如有與圖12?圖24所示相同或相似的部分，則可參考前面的相關(guān)敘述，在此不做重復(fù)說明。如圖25A所示，本發(fā)明另一實施例的用以進(jìn)行貼附步驟1322(圖24)的貼附式裝置1322A可包括一對滾軸1210a、1210b以及一電熱裝置1218。上述貼附式裝置1322A的設(shè)置方式是類似于如圖14所示的貼附式裝置1210-1，可參考前面的相關(guān)敘述，在此不做重復(fù)說明。如圖25A所示的實施例中，上述貼附制程先利用電熱裝置1218對帶有靜電荷的載板1212a和軟性基板卷材1224兩者進(jìn)行一加熱步驟，驅(qū)離位于兩者之間的殘留氣泡。接著利用滾軸1210a、1210b滾壓軟性基板卷材1224和帶有靜電荷的載板1212a，可進(jìn)一步去除軟性基板卷材1224和帶有靜電荷的載板1212a之間的殘留氣泡，將軟性基板卷材1224的一部分貼附至帶有靜電荷的載板1212a 上。
[0137]如圖25B所示，本發(fā)明另一實施例的用以進(jìn)行貼附步驟1322(圖24)的貼附式裝置1322B可包括一對滾軸1210a、1210b、一電熱裝置1218以及一加壓板1219。