選地，該背電極還包括：第二透明導(dǎo)電氧化物層，與金屬層的第二面貼合設(shè)置， 其中，第二透明導(dǎo)電氧化物層為摻雜有金屬元素的薄膜材料層，第二透明導(dǎo)電氧化物層用 于控制背電極的顏色。
[0041] 本發(fā)明實(shí)施例的第二透明導(dǎo)電氧化物層可以是和第一透明導(dǎo)電氧化物層101相 同的薄膜材料層，也可以是和第一透明導(dǎo)電氧化物層101不同的薄膜材料層。優(yōu)選地，第二 透明導(dǎo)電氧化物層中金屬元素的摻雜濃度為〇. 5%~3. 0%。第二透明導(dǎo)電氧化物層摻雜 的金屬元素可以為鋁或鎵或硼等。具體地，本發(fā)明實(shí)施例的第二透明導(dǎo)電氧化物層可以是 摻雜鋁的氧化鋅層（俗稱AZ0)、摻雜鎵的氧化鋅層或是摻雜錫的氧化銦層等，本發(fā)明實(shí)施 例中優(yōu)選為摻雜鋁的氧化鋅層。
[0042] 本發(fā)明實(shí)施例通過控制第一透明導(dǎo)電氧化物層101的厚度、金屬層的厚度和第二 透明導(dǎo)電氧化物層的厚度共同來控制背電極的顏色，從而可以得到不同顏色的背電極。
[0043] 實(shí)際情況中，一些十分接近的顏色人眼是很難區(qū)分的，因此，可以用一些相近的 顏色替代目標(biāo)顏色，此外，對(duì)于某一目標(biāo)顏色，背電極的不同薄膜層可能存在多種厚度組 合。優(yōu)選地，為了節(jié)省成本，本發(fā)明實(shí)施例的第一透明導(dǎo)電氧化物層的厚度范圍為5nm~ 300nm，金屬層的厚度不大于20nm，第二透明導(dǎo)電氧化物層的厚度范圍為5nm~300nm。
[0044] 表2是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的背電極的結(jié)構(gòu)和顏色對(duì)應(yīng)表，其中，dl表不第一透明 導(dǎo)電氧化物層的厚度，第一透明導(dǎo)電氧化物層為AZO, d2表示金屬層的厚度，金屬層為Ag， d3表示第二透明導(dǎo)電氧化物層的厚度，第二透明導(dǎo)電氧化物層為AZ0。從表2可以看出，在 背電極的不同薄膜層為不同厚度時(shí)，背電極為不同顏色。因此，通過調(diào)節(jié)背電極的各個(gè)薄膜 層的厚度可以得到不同顏色的背電極。
[0045] 表2背電極結(jié)構(gòu)和顏色對(duì)應(yīng)表
[0046]
[0047] 本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種電池組件，該電池組件包括上述任意一種背電極。圖 2是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的電池組件的示意圖。如圖2所示，該電池組件包括背電極1、 非晶硅層2和前電極3,其中，背電極1為上述任意一種背電極。
[0048] 本發(fā)明實(shí)施例的電池組件，通過前電極3與非晶硅層2連接，非晶硅層2與背電極 1連接，用于將前電極3導(dǎo)入的光轉(zhuǎn)換為電流，背電極1用于將電流導(dǎo)出。具體地，前電極3 可以是摻雜氟的氧化錫（俗稱FT0)，非晶硅層2可以是單結(jié)電池或是雙結(jié)電池，本發(fā)明實(shí)施 例的電池組件可以是薄膜硅太陽能電池組件。本發(fā)明實(shí)施例的電池組件通過改變背電極的 厚度得到不同顏色的背電極，解決了相關(guān)技術(shù)中由于太陽能電池組件的顏色單一造成的太 陽能電池組件與建筑結(jié)合時(shí)不便利的技術(shù)問題。
[0049] 優(yōu)選地，本發(fā)明實(shí)施例的電池組件中背電極包括第一透明導(dǎo)電氧化物層101、金屬 層102和第二透明導(dǎo)電氧化物層103。圖3是根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的電池組件的示意圖， 如圖3所示，第一透明導(dǎo)電氧化物層101可以為AZ0,金屬層102可以為銀，第二透明導(dǎo)電氧 化物層103可以為AZO。
[0050] 本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種背電極的制作方法。本發(fā)明實(shí)施例的背電極包括第一 透明導(dǎo)電氧化物層，其中，第一透明導(dǎo)電氧化物層用于控制該背電極的顏色。圖4是根據(jù)本 發(fā)明實(shí)施例的背電極的制作方法的流程圖，如圖4所示，該方法包括步驟S402 :在非晶硅層 上沉積第一透明導(dǎo)電氧化物層。
[0051] 例如，使用磁控濺射設(shè)備，中頻濺射摻雜有鋁的氧化鋅，通過濺射功率和傳動(dòng)輪的 速率來控制第一透明導(dǎo)電氧化物層的厚度。
[0052] 可選地，在非晶硅層上沉積第一透明導(dǎo)電氧化物層之前，該方法還包括：確定背電 極的目標(biāo)顏色參數(shù)；以及根據(jù)目標(biāo)顏色參數(shù)計(jì)算背電極的厚度參數(shù)，其中，厚度參數(shù)包括第 一厚度、第二厚度和第三厚度，第一厚度為第一透明導(dǎo)電氧化物層的厚度，第二厚度為金屬 層的厚度，第三厚度為第二透明導(dǎo)電氧化物層的厚度，在非晶硅層上沉積第一透明導(dǎo)電氧 化物層包括：根據(jù)第一厚度在非晶硅層上沉積第一透明導(dǎo)電氧化物層，在非晶硅層上沉積 第一透明導(dǎo)電氧化物層之后，方法還包括：判斷第二厚度是否為〇 ;在判斷出第二厚度不為 〇時(shí)，根據(jù)第二厚度在第一透明導(dǎo)電氧化物層上沉積金屬層；判斷第三厚度是否為〇 ;以及 在判斷出第三厚度不為0時(shí)，根據(jù)第三厚度在金屬層上沉積第二透明導(dǎo)電氧化物層。
[0053] 本發(fā)明實(shí)施例在非晶硅層上沉積第一透明導(dǎo)電氧化物層之前，先確定背電極的 目標(biāo)顏色參數(shù)。目標(biāo)顏色參數(shù)根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行確定，例如，當(dāng)前需要顏色為（29.35， 31. 26,-4. 08)的背電極，則目標(biāo)顏色參數(shù)為（29. 35,31. 26,-4. 08)。以下以目標(biāo)顏色參數(shù) 為（29. 35, 31. 26, -4. 08)、第一透明導(dǎo)電氧化物層為AZ0、金屬層為Ag、第二透明導(dǎo)電氧化 物層為AZ0為例對(duì)本發(fā)明實(shí)施例進(jìn)行說明。
[0054] 本發(fā)明實(shí)施例根據(jù)目標(biāo)顏色參數(shù)（29.35,31.26, -4.08)計(jì)算得到背電極中各個(gè) 薄膜層的厚度參數(shù)，例如，第一透明導(dǎo)電氧化物層的厚度為80nm，金屬層厚度為10nm，第二 透明導(dǎo)電氧化物層的厚度為20nm。首先，在非晶硅層上沉積厚度為80nm第一透明導(dǎo)電氧 化物層；其次，由于金屬層厚度不為0,在第一透明導(dǎo)電氧化物層上沉積厚度為lOnm的金屬 層，其中，可以通過直流濺射Ag;最后，由于第二透明導(dǎo)電氧化物層的厚度不為0,在金屬層 上沉積厚度為80nm的第二透明導(dǎo)電氧化物層。
[0055] 上述本發(fā)明實(shí)施例序號(hào)僅僅為了描述，不代表實(shí)施例的優(yōu)劣。
[0056] 在本發(fā)明的上述實(shí)施例中，對(duì)各個(gè)實(shí)施例的描述都各有側(cè)重，某個(gè)實(shí)施例中沒有 詳述的部分，可以參見其他實(shí)施例的相關(guān)描述。
[0057] 在本申請(qǐng)所提供的幾個(gè)實(shí)施例中，應(yīng)該理解到，所揭露的技術(shù)內(nèi)容，可通過其它的 方式實(shí)現(xiàn)。其中，以上所描述的裝置實(shí)施例僅僅是示意性的，例如所述單元的劃分，可以為 一種邏輯功能劃分，實(shí)際實(shí)現(xiàn)時(shí)可以有另外的劃分方式，例如多個(gè)單元或組件可以結(jié)合或 者可以集成到另一個(gè)系統(tǒng)，或一些特征可以忽略，或不執(zhí)行。另一點(diǎn)，所顯示或討論的相互 之間的耦合或直接耦合或通信連接可以是通過一些接口，單元或模塊的間接耦合或通信連 接，可以是電性或其它的形式。
[0058] 所述作為分離部件說明的單元可以是或者也可以不是物理上分開的，作為單元顯 示的部件可以是或者也可以不是物理單元，即可以位于一個(gè)地方，或者也可以分布到多個(gè) 單元上。可以根據(jù)實(shí)際的需要選擇其中的部分或者全部單元來實(shí)現(xiàn)本實(shí)施例方案的目的。
[0059] 以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人 員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng) 視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種背電極，其特征在于，包括： 第一透明導(dǎo)電氧化物層，其中，所述第一透明導(dǎo)電氧化物層為摻雜有金屬元素的薄膜 材料層，所述第一透明導(dǎo)電氧化物層用于控制所述背電極的顏色。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的背電極，其特征在于，所述金屬元素的摻雜濃度為0. 5%~ 3. 0%〇3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的背電極，其特征在于，所述第一透明導(dǎo)電氧化物層摻雜的所 述金屬元素為鋁或鎵或硼。4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的背電極，其特征在于，所述第一透明導(dǎo)電氧化物層為摻雜鋁 的氧化鋅層。5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的背電極，其特征在于，所述第一透明導(dǎo)電氧化物層的厚度范 圍為5nm~300nm。6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的背電極，其特征在于，所述背電極還包括： 金屬層，第一面與所述第一透明導(dǎo)電氧化物層貼合設(shè)置，其中，所述金屬層用于控制 所述背電極的顏色。7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的背電極，其特征在于，所述金屬層的材料為銀或鋁或鎳鉻合 金。8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的背電極，其特征在于，所述金屬層的厚度不大于20nm。9. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的背電極，其特征在于，所述背電極還包括： 第二透明導(dǎo)電氧化物層，與所述金屬層的第二面貼合設(shè)置，其中，所述第二透明導(dǎo)電氧 化物層為摻雜有金屬元素的薄膜材料層，所述第二透明導(dǎo)電氧化物層用于控制所述背電極 的顏色。10. -種電池組件，其特征在于，所述電池組件包括權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的背 電極。11. 一種背電極的制作方法，其特征在于，背電極包括第一透明導(dǎo)電氧化物層，所述第 一透明導(dǎo)電氧化物層用于控制所述背電極的顏色，所述方法包括： 在非晶硅層上沉積所述第一透明導(dǎo)電氧化物層。12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的背電極的制作方法，其特征在于， 在非晶硅層上沉積所述第一透明導(dǎo)電氧化物層之前，所述方法還包括： 確定所述背電極的目標(biāo)顏色參數(shù)；以及 根據(jù)所述目標(biāo)顏色參數(shù)計(jì)算所述背電極的厚度參數(shù)，其中，所述厚度參數(shù)包括第一厚 度、第二厚度和第三厚度，所述第一厚度為所述第一透明導(dǎo)電氧化物層的厚度，所述第二厚 度為金屬層的厚度，所述第三厚度為第二透明導(dǎo)電氧化物層的厚度， 在非晶硅層上沉積所述第一透明導(dǎo)電氧化物層包括：根據(jù)所述第一厚度在所述非晶硅 層上沉積所述第一透明導(dǎo)電氧化物層， 在非晶硅層上沉積所述第一透明導(dǎo)電氧化物層之后，所述方法還包括： 判斷所述第二厚度是否為〇 ; 在判斷出所述第二厚度不為〇時(shí)，根據(jù)所述第二厚度在所述第一透明導(dǎo)電氧化物層上 沉積所述金屬層； 判斷所述第三厚度是否為〇 ;以及
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種背電極及其制作方法和電池組件。其中，該背電極包括：第一透明導(dǎo)電氧化物層，其中，第一透明導(dǎo)電氧化物層為摻雜有金屬元素的薄膜材料層，第一透明導(dǎo)電氧化物層用于控制背電極的顏色。本發(fā)明解決了由于太陽能電池組件的顏色單一造成的太陽能電池組件與建筑結(jié)合時(shí)不便利的技術(shù)問題。
【IPC分類】H01L31/0376, H01L31/0224
【公開號(hào)】CN105070770
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510404456
【發(fā)明人】李沅民, 何顏玲, 彭長(zhǎng)濤, 許永元, 沈章大, 趙沙桐, 郭勇
【申請(qǐng)人】福建鉑陽精工設(shè)備有限公司
【公開日】2015年11月18日
【申請(qǐng)日】2015年7月10日