一種自動(dòng)放行wat pm探針卡的系統(tǒng)及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體微電子測(cè)試應(yīng)用領(lǐng)域，更具體地，涉及一種自動(dòng)放行WAT PM探針卡的系統(tǒng)及方法。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體晶圓制作完成后、進(jìn)行封裝前，為了確保晶圓的良率及避免封裝的浪費(fèi)，在半導(dǎo)體制程中需要進(jìn)行晶圓驗(yàn)收測(cè)試(Wafer Acceptance Test，WAT)。WAT探針卡機(jī)臺(tái)是廣泛用于對(duì)晶圓進(jìn)行電性測(cè)量的重要工具之一，是連接WAT測(cè)量?jī)x器與晶圓之間的測(cè)試接口。其工作原理是將連接測(cè)量?jī)x器的探針卡(Probe Card)的探針與待測(cè)芯片上的測(cè)試焊墊(PAD)或凸塊電極直接接觸，構(gòu)成測(cè)量回路，通過探針向待測(cè)芯片饋入測(cè)試信號(hào)及回饋芯片信號(hào)，再配合測(cè)量?jī)x器與軟件控制篩選出電性不良的芯片，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化檢測(cè)。探針卡包括了用來(lái)與測(cè)試PAD接觸的多個(gè)探針。
[0003]電性測(cè)量是一項(xiàng)重要的監(jiān)測(cè)步驟，采用探針卡扎到測(cè)試鍵的金屬PAD上來(lái)進(jìn)行測(cè)量。然而，隨著探針卡扎針次數(shù)的增加，針尖會(huì)發(fā)生磨損、氧化或者粘污，針尖與PAD的接觸電阻增大將會(huì)影響電性測(cè)量的準(zhǔn)確性。同時(shí)，若探針卡針尖扎到PAD上的位置發(fā)生意外偏移，將會(huì)導(dǎo)致芯片內(nèi)部金屬導(dǎo)線短路，會(huì)極大影響量測(cè)的準(zhǔn)確性。若探針卡有異常，針痕粘污或針痕PAD偏出時(shí)，則會(huì)造成測(cè)試異常，甚至扎壞wafer。因此，探針卡狀況的好壞會(huì)直接影響WAT的測(cè)試結(jié)果，需要對(duì)探針卡進(jìn)行定期維護(hù)(Per1dic maintenance，PM)。
[0004]在WAT探針卡PM后，WAT工程師需要檢查驗(yàn)收多項(xiàng)指標(biāo)，包括RFID (射頻識(shí)別)的牢固性、基座的完好、leakage (漏電)、針尖直徑、prober angle (探針角度)等。待檢查的各項(xiàng)指標(biāo)均合格后，將檢查的各項(xiàng)數(shù)據(jù)結(jié)果記錄到相應(yīng)的記錄表單，發(fā)mail (郵件)通知MFG(制造工程師)該卡可以使用。
[0005]在進(jìn)行驗(yàn)收指標(biāo)的檢查時(shí)，由于要檢查的項(xiàng)目較多，將檢查的各項(xiàng)數(shù)據(jù)結(jié)果記錄到相應(yīng)的記錄表單及修改需要花費(fèi)大量時(shí)間(例如:一次性release4張PM探針卡需要花費(fèi)5個(gè)小時(shí)，其中數(shù)據(jù)的記錄及修改就要花費(fèi)2個(gè)小時(shí))，影響了 PM探針卡release (放行)的效率。
[0006]為此設(shè)計(jì)一種可自動(dòng)release WAT PM探針卡的系統(tǒng)，以有效提高工作效率，減少PM探針卡release的時(shí)間，從長(zhǎng)遠(yuǎn)來(lái)講提高探針卡可使用時(shí)間的比率，是一項(xiàng)非常值得開發(fā)的課題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種自動(dòng)放行WAT PM探針卡的系統(tǒng)及方法，以有效提高工作效率，減少PM探針卡release的時(shí)間。
[0008]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0009]—種自動(dòng)放行WAT PM探針卡的系統(tǒng)，包括:
[0010]存儲(chǔ)模塊，將獲取的針對(duì)WAT PM探針卡各項(xiàng)驗(yàn)收檢查項(xiàng)目的數(shù)據(jù)檢查結(jié)果實(shí)時(shí)存入數(shù)據(jù)庫(kù)；
[0011]判斷模塊，根據(jù)系統(tǒng)中針對(duì)PM探針卡各項(xiàng)驗(yàn)收檢查項(xiàng)目預(yù)先設(shè)定的規(guī)格值，對(duì)所述數(shù)據(jù)庫(kù)中的各項(xiàng)數(shù)據(jù)檢查結(jié)果進(jìn)行逐一的符合性判斷，并輸出判斷結(jié)果；
[0012]處理模塊，根據(jù)所述判斷結(jié)果，發(fā)出是否放行的指令。
[0013]優(yōu)選地，所述處理模塊包括郵件發(fā)送單元，并通過該郵件發(fā)送單元以內(nèi)部郵件的方式發(fā)出是否放行的指令。
[0014]優(yōu)選地，還包括重置模塊，在所述處理模塊發(fā)出放行的指令前，將所述探針卡的扎針次數(shù)記錄重置。
[0015]優(yōu)選地，還包括切換模塊，在所述重置模塊將所述探針卡的扎針次數(shù)記錄重置后、所述處理模塊發(fā)出放行的指令前，將所述探針卡的機(jī)臺(tái)狀態(tài)進(jìn)行切換。
[0016]一種自動(dòng)放行WAT PM探針卡的方法，包括:
[0017]利用一存儲(chǔ)模塊，將獲取的針對(duì)WAT PM探針卡各項(xiàng)驗(yàn)收檢查項(xiàng)目的數(shù)據(jù)檢查結(jié)果實(shí)時(shí)存入數(shù)據(jù)庫(kù)；
[0018]利用一判斷模塊，根據(jù)針對(duì)PM探針卡各項(xiàng)驗(yàn)收檢查項(xiàng)目預(yù)先設(shè)定的規(guī)格值，對(duì)所述數(shù)據(jù)庫(kù)中的各項(xiàng)數(shù)據(jù)檢查結(jié)果進(jìn)行逐一的符合性判斷，并輸出判斷結(jié)果；
[0019]利用一處理模塊，根據(jù)所述判斷結(jié)果，發(fā)出是否放行的指令。
[0020]優(yōu)選地，通過所述處理模塊的郵件發(fā)送單元，以內(nèi)部郵件的方式發(fā)出是否放行的指令。
[0021]優(yōu)選地，利用一重置模塊，在所述處理模塊發(fā)出放行的指令前，將所述探針卡的扎針次數(shù)記錄重置。
[0022]優(yōu)選地，利用一切換模塊，在所述重置模塊將所述探針卡的扎針次數(shù)記錄重置后、所述處理模塊發(fā)出放行的指令前，將所述探針卡的機(jī)臺(tái)狀態(tài)進(jìn)行切換。
[0023]優(yōu)選地，在全部的檢查數(shù)據(jù)結(jié)果符合規(guī)格值時(shí)，通過所述處理模塊的郵件發(fā)送單元以內(nèi)部郵件的方式發(fā)出放行的指令。
[0024]優(yōu)選地，針對(duì)每一個(gè)不符合規(guī)格值的檢查數(shù)據(jù)結(jié)果，通過所述處理模塊的郵件發(fā)送單元以內(nèi)部郵件的方式逐一發(fā)出不予放行的指令。
[0025]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明通過建立自動(dòng)放行WAT PM探針卡的系統(tǒng)，可實(shí)時(shí)地抓取PM探針卡的數(shù)據(jù)檢查結(jié)果存入數(shù)據(jù)庫(kù)，并可根據(jù)系統(tǒng)內(nèi)各個(gè)驗(yàn)收檢查項(xiàng)目的設(shè)定值判斷是否放行，待各項(xiàng)檢查均符合規(guī)格值后，系統(tǒng)可自動(dòng)對(duì)該P(yáng)M探針卡的狀態(tài)進(jìn)行切換，并可通過內(nèi)部郵件發(fā)出放行的指令。本發(fā)明可有效地提高工作效率，減少PM探針卡release的時(shí)間(release時(shí)間可節(jié)省40%以上)，同時(shí)也減少了工程師的工作量和工作時(shí)間，從長(zhǎng)遠(yuǎn)來(lái)講提高了探針卡可使用時(shí)間的比率。
【附圖說明】
[0026]圖1是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的一種自動(dòng)放行WAT PM探針卡的系統(tǒng)原理圖；
[0027]圖2是本發(fā)明一種自動(dòng)放行WAT PM探針卡的方法流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0028]下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0029]在以下本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】中，請(qǐng)參閱圖1，圖1是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的一種自動(dòng)放行WAT PM探針卡的系統(tǒng)原理圖。如圖1所示，針對(duì)WAT PM探針卡，WAT工程師需要對(duì)各項(xiàng)驗(yàn)收檢查項(xiàng)目進(jìn)行檢查。WAT工程師檢查驗(yàn)收數(shù)據(jù)，可包括例如RFID (射頻識(shí)別)的牢固性、基座的完好、leakage (漏電)、針尖直徑、prober angle (探針角度)等。
[0030]現(xiàn)有的方式是待檢查的各項(xiàng)指標(biāo)均合格后，將檢查的各項(xiàng)數(shù)據(jù)結(jié)果記錄到相應(yīng)的記錄表單，然后發(fā)mail (郵件)通知MFG(制造工程師)該卡可以使用。但由于要檢查的項(xiàng)目較多，將檢查的各項(xiàng)數(shù)據(jù)結(jié)果記錄到相應(yīng)的記錄表單及修改需要花費(fèi)大量時(shí)間(例如:一次性release 4張PM探針卡需要花費(fèi)5個(gè)小時(shí)，其中數(shù)據(jù)的記錄及修改就要花費(fèi)2個(gè)小時(shí))，影響了 PM探針卡release (放行)的效率。
[0031]因此，可通過本發(fā)明的一種自動(dòng)放行WAT PM探針卡的系統(tǒng)來(lái)自動(dòng)release(放行)WAT PM探針卡，以有效提高工作效率，減少PM探針卡release的時(shí)間。
[0032]本發(fā)明的一種自動(dòng)放行WAT PM探針卡的系統(tǒng)(即圖示的探針卡自動(dòng)release系統(tǒng))，包括存儲(chǔ)模塊、判斷模塊和處理模塊。其中，存儲(chǔ)模塊用于通過實(shí)時(shí)抓取方式，將獲取的針對(duì)WAT PM探針卡各項(xiàng)驗(yàn)收檢查項(xiàng)目(即RFID的牢固性、基座的完好、leakage、針尖直徑、prober angle等)的數(shù)據(jù)檢查結(jié)果實(shí)時(shí)存入相應(yīng)記錄表單的數(shù)據(jù)庫(kù)；判斷模塊用于根據(jù)系統(tǒng)中針對(duì)PM探針卡各項(xiàng)驗(yàn)收檢查項(xiàng)目預(yù)先設(shè)定的規(guī)格(spec)值(例如PM卡漏電〈0.5pA)，對(duì)所述數(shù)據(jù)庫(kù)中的各項(xiàng)數(shù)據(jù)檢查結(jié)果進(jìn)行逐一的符合性判斷，并輸出判斷結(jié)果；如圖1所示，例如符合時(shí)為“pass”，并進(jìn)行下一個(gè)檢查結(jié)果的符合性判斷；不符合時(shí)為“fail”，并顯示“Wait EE” (即等待工程師處理，如果是RFID安裝不牢固，則需要重新進(jìn)行安裝；如果是漏電，則需要重新PM);處理模塊用于根據(jù)所述判斷模塊作出的判斷結(jié)果，發(fā)出是否放行的指令。
[0033]如圖1所示，作為一可選的實(shí)施方式，所述處理模塊可包括郵件發(fā)送單元，并通過該郵件發(fā)送單元以內(nèi)部郵件(Mail)的方式發(fā)出是否放行的指令；例如，在