，由驅動馬達驅動該移動平臺6移動，實現(xiàn)在空間內多方位的移動。
[0029]在本申請中，每條導軌上均安裝有光學尺，光學尺是利用光柵的莫爾條紋和光電轉換技術，在3mm的附法玻璃上鍍鉻刻I μ為一道的透明長度尺，然后把它粘在鋁尺上，靠光折射或透射反饋到感應器中進行計量。本申請中的光學尺的精度小于lum，用來測量三向移動平臺6在導軌上的移動的距離。
[0030]下面結合具體實施例進行說明
[0031]實施例一
[0032]目前測試機臺的手動動作有如下:
[0033]a.手動對準探針卡針尖動作。
[0034]b.手動試扎針在Pad上，通過Pad上的針痕狀況來判斷此卡是否能用于生產測試。
[0035]本申請設計一種晶圓探針卡自動檢測裝置，此晶圓探針自動檢測裝置可解決以上兩個手動動作，從而實現(xiàn)測試機臺全自動化。
[0036]如圖1、圖2、圖3和圖4所示，此裝置中有一個固定光源1，三組不同倍率的鏡頭(低倍鏡頭2，中倍鏡頭3，高倍鏡頭4)固定于觀測平臺5上，觀測平臺5嵌于可三向移動平臺6，移動平臺6的在X、Y、Z導軌上移動的動力分別由三個馬達提供，而Χ、Υ、Ζ導軌上分別安裝了光學尺(精度小于lum)來測量移動平臺6在導軌上移動的距離。
[0037]固定光源I照射在探針卡針尖區(qū)域為鏡頭提供亮度，然后低倍鏡頭2在大范圍內尋找針尖位置7 ;中倍鏡頭3找齊針尖位置7 ;高倍鏡頭4量測針尖參數(shù)。
[0038]固定光源I點亮工作，觀測平臺5將低倍鏡頭2旋轉到鏡頭工作位置，低倍鏡頭2在其視野范圍內確認針尖位置7，移動平臺6自動移動將低倍鏡頭2的中心點移動到針尖位置7的正下方，(比如:針尖位置7出現(xiàn)在低倍鏡頭2圓形視野中心的右上方XI，Yl處，移動平臺6X方向移動Xl距離，Y方向移動Yl距離，移動后使針尖位置7位于低倍鏡頭2視野的中心點)，觀測平臺5逆時針旋轉120°將中倍鏡頭3旋轉到鏡頭工作位置，旋轉后中倍鏡頭3中心點的位置就是旋轉前低倍鏡頭2中心點的位置，中倍鏡頭3從左到右找到每一根針并對齊，針尖對齊后觀測平臺5再次逆時針旋轉120°將高倍鏡頭4旋轉到鏡頭工作位置，旋轉后高倍鏡頭4中心點的位置就是旋轉前中倍鏡頭3中心點的位置，高倍鏡頭4量測出每根探針的特性參數(shù)(比如每根探針的水平位置值X，Y ;高度值Z ;針尖面積S).
[0039]水平位置值X，Y精確反應扎在Pad上針痕的位置，高度值Z反應扎在Pad上針痕的力度，針尖面積反應扎在Pad上針痕的大小。這些實際測量出來的特性參數(shù)會和機臺上設置好的參數(shù)規(guī)格進行比較，任何一個參數(shù)超出規(guī)格，機臺提示此探針不符合規(guī)格，不允許用于測試。所有參數(shù)符合規(guī)格，機臺自動開始測試。
[0040]本發(fā)明提出了一種晶圓探針卡自動檢測裝置，通過觀測平臺和移動平臺的結合，解決了手動對準探針卡針尖時帶來的一些不必要的影響，實現(xiàn)了自動檢測探針卡探針的好壞，使晶圓測試完全自動化，因為實現(xiàn)了全自動化，在測試過程中可以排除人為因素對測試結果造成的影響，防止人為的誤操作發(fā)生。
[0041]通過說明和附圖，給出了【具體實施方式】的特定結構的典型實施例，基于本發(fā)明精神，還可作其他的轉換。盡管上述發(fā)明提出了現(xiàn)有的較佳實施例，然而，這些內容并不作為局限。
[0042]對于本領域的技術人員而言，閱讀上述說明后，各種變化和修正無疑將顯而易見。因此，所附的權利要求書應看作是涵蓋本發(fā)明的真實意圖和范圍的全部變化和修正。在權利要求書范圍內任何和所有等價的范圍與內容，都應認為仍屬本發(fā)明的意圖和范圍內。
【主權項】
1.一種晶圓探針卡自動檢測裝置，其特征在于，應用于利用探針卡對晶圓上的Pad進行的電性測試中，包括: 移動平臺； 觀測平臺，固定設置于所述移動平臺之上，用于鏡頭之間的位置切換； 發(fā)光部件，設置于所述觀測平臺中心上，以照亮放置于所述觀測平臺上方的探針卡針尖； 若干鏡頭，均固定設置于所述觀測平臺上，以用于對所述探針卡針尖進行放大觀察及對準量測。2.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述鏡頭包括有第一鏡頭、第二鏡頭和第三鏡頭； 其中，所述第一鏡頭用于對所述探針卡針尖位置進行定位，所述第二鏡頭用于對所述探針卡針尖進行找準對齊；所述第三鏡頭用于量測所述探針卡針尖的特性參數(shù)。3.根據(jù)權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述第一鏡頭的放大倍數(shù)小于所述第二鏡頭的放大倍數(shù)，所述第二鏡頭的放大倍數(shù)小于所述第三鏡頭的放大倍數(shù)。4.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括: 三向移動導軌，與所述移動平臺連接，以驅動所述移動平臺運動。5.根據(jù)權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述三向移動導軌包括X方向導軌、Y方向導軌和Z方向導軌，且所述X方向導軌、所述Y方向導軌和所述Z方向導軌兩兩之間均互相垂直。6.根據(jù)權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述X方向導軌、所述Y方向導軌和所述Z方向導軌上均設置有驅動馬達，以驅動所述移動平臺于X、Y、Z方向上運動。7.根據(jù)權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述X方向導軌、所述Y方向導軌和所述Z方向導軌上均設置有光學尺。8.根據(jù)權利要求7所述的裝置，其特征在于，所述光學尺的精度為lum。9.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述觀測平臺為圓形，且可以自由旋轉以使得每個所述鏡頭之間的位置進行切換，且所述發(fā)光部件設置于所述觀測平臺中心位置。
【專利摘要】本發(fā)明涉及半導體電性檢測領域，尤其涉及一種探針卡自動檢測裝置。本發(fā)明提出了一種晶圓探針卡自動檢測裝置，通過觀測平臺和移動平臺的結合，解決了手動對準探針針尖動作，自動檢測探針好壞，使晶圓測試完全自動化，因為實現(xiàn)了全自動化，在測試過程中可以排除人為因素對測試結果造成的影響，防止人為的誤操作發(fā)生。
【IPC分類】H01L21/66
【公開號】CN105097598
【申請?zhí)枴緾N201510502587
【發(fā)明人】劉剛
【申請人】武漢新芯集成電路制造有限公司
【公開日】2015年11月25日
【申請日】2015年8月14日