近紅外線吸收玻璃及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種用于固體攝像元件的能見度修正的近紅外線吸收玻璃及其制造 方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 以往，CCD或CMOS等固體攝像元件被用于數(shù)碼相機(jī)等中。這種固體攝像元件，因 為具有從近紫外線區(qū)域起涵蓋至近紅外線區(qū)域的光譜靈敏度，所以采用近紅外線吸收玻璃 來將入射光的近紅外線部分切斷，更改為接近于人類的能見度，以提高色彩再現(xiàn)性（例如， 專利文獻(xiàn)1)。
[0003] 然而，若將這種近紅外線吸收玻璃等的光學(xué)零件配置于攝像元件的前面，則會 產(chǎn)生因?yàn)樵诮t外線吸收玻璃的側(cè)面等處反射的光射入攝像元件的攝像面，而發(fā)生耀斑 (flare)或鬼影（ghost)等的問題。
[0004] 為解決上述問題，遮擋產(chǎn)生鬼影等原因的光的光路的方法是有效的，以往，采用的 是在近紅外線吸收玻璃等光學(xué)零件的表面或背面進(jìn)行墨涂（黑色涂裝），或是貼附被著色 為黑色的薄膜狀遮光部件等，遮擋不必要的光的方法（例如，專利文獻(xiàn)2)。
[0005] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0006] 專利文獻(xiàn)
[0007] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開平7-281021號公報(bào)
[0008] 專利文獻(xiàn)2 :日本特開2012-186434號公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009] 發(fā)明所要解決的課題
[0010] 如上所述，當(dāng)采用遮光部件來遮擋不必要的光時，由于需要以不遮擋通過正規(guī)光 路射入的光方式，并以極高的位置精確度貼附（或配置）遮光部件，因此會需要極為慎重地 進(jìn)行操作，并且會產(chǎn)生相應(yīng)于遮光部件的厚度、近紅外線吸收玻璃變厚的問題。此外，在將 遮光部件貼附于近紅外線吸收玻璃上的操作中，存在塵埃附著在近紅外線吸收玻璃的表面 上或者對其表面造成損傷的可能性，并且，在貼附失敗的情況下進(jìn)行重貼的操作中，除了存 在造成損傷的可能性以外，還會存在遮光膠帶的粘著劑殘留在近紅外線吸收玻璃的表面上 的擔(dān)憂。
[0011] 此外，在通過墨涂遮擋不必要的光時，由于需要以不遮擋通過正規(guī)的光路射入的 光的方式，并以極高的位置精確度進(jìn)行涂裝，因此需要極為慎重地進(jìn)行操作，存在生產(chǎn)性降 低的問題。此外，在墨涂工序中，雖采用專用夾具等對近紅外線吸收玻璃的表面進(jìn)行涂裝， 但由于夾具等接觸近紅外線吸收玻璃的表面，因此與通過遮光膠帶進(jìn)行遮光的情況相同， 存在造成損傷或者附著塵埃的擔(dān)憂。此外，根據(jù)所使用的涂料的不同，也會產(chǎn)生涂料厚度不 均，遮光性不均的問題。
[0012] 本發(fā)明為鑒于這種情況而提出的，其目的在于提供一種近紅外線吸收玻璃及其制 造方法。其不需進(jìn)行墨涂或者另外設(shè)置遮光部件，便能夠防止不必要的反射光或雜散光產(chǎn) 生鬼影或耀斑。
[0013] 用于解決課題的手段
[0014] 為達(dá)成上述目的，本發(fā)明為一種在表面具備朝向固體攝像元件的光射入的入射面 和在背面具備使所述光透過并朝所述固體攝像元件射出的出射面，且吸收光的近紅外成分 的板狀近紅外線吸收玻璃，其特征在于，具備：光透過部，其可使光透過；光散射部，其在入 射面以及出射面的至少一面上，框狀包圍光透過部的外周，并使光的一部分散射。
[0015] 根據(jù)這種構(gòu)成，由于能夠通過光散射部來對射入近紅外線吸收玻璃的成為鬼影等 原因的光進(jìn)行遮光，因此不需要進(jìn)行墨涂或另外設(shè)置遮光部件也能夠防止由不必要的反射 光或迷光導(dǎo)致的鬼影或光斑。此外，不需要遮光部件等，所以，在抑制光軸方向的尺寸的同 時，還可防止在遮光部件等與玻璃面之間的不必要的反射。
[0016] 此外，優(yōu)選光散射部形成為從入射面以及出射面的至少一面起涵蓋近紅外線吸收 玻璃的側(cè)面。根據(jù)這種構(gòu)成，能夠遮擋將從近紅外線吸收玻璃的側(cè)面射入的不必要的光。
[0017] 此外，可在入射面和側(cè)面之間形成連接入射面和側(cè)面的第1倒角部。
[0018] 此外，可在出射面和側(cè)面之間形成連接入射面和側(cè)面的第2倒角部。
[0019] 此外，優(yōu)選近紅外線吸收玻璃由含有Cu2+的氟磷酸鹽系玻璃或者含有Cu 2+的磷酸 鹽系玻璃構(gòu)成。在這種情況下，優(yōu)選光散射部為通過對近紅外線吸收玻璃用包含氟離子、含 氟離子中的至少一種的溶液進(jìn)行蝕刻所形成的凹凸面。此外，在這種情況下，優(yōu)選包含氟離 子的溶液為包含氟化氫、氟化銨、氟化氫銨中的至少1種以上的溶液。
[0020] 此外，優(yōu)選光散射部的Haze值為90以上。
[0021] 此外，優(yōu)選光透過部的面積比固體攝像元件的受光面的面積大。
[0022] 此外，近紅外線吸收玻璃還具備覆蓋光透過部以及光散射部的功能膜。在這種情 況下，優(yōu)選功能膜為一種具備防反射、紅外線切斷、紫外線切斷的至少1個以上的功能的光 學(xué)薄膜。
[0023] 此外，優(yōu)選功能膜包含具有90nm~300nm膜厚的防反射膜。
[0024] 此外，優(yōu)選功能膜包含具有2000nm~6000nm膜厚的紅外線切斷膜。此外，在這種 情況下，紅外線切斷膜可構(gòu)成為還具備紫外線切斷功能。
[0025] 此外，近紅外線吸收玻璃還可具備形成于光散射部的至少一部分并遮擋光的一部 分的遮光層。根據(jù)這種構(gòu)成，能夠確實(shí)地遮擋射入近紅外線吸收玻璃的會造成鬼影等的的 光。
[0026] 此外，從其他觀點(diǎn)來看，本發(fā)明為一種在表面具備朝固體攝像元件的光射入的入 射面和在背面具備使光透過并朝固體攝像元件射出的出射面，并吸收光的近紅外成分的板 狀近紅外吸收玻璃的制造方法，其特征在于，具備如下工序：按規(guī)定尺寸切斷近紅外線吸收 玻璃的基材的工序；對切斷后的基材進(jìn)行倒角的工序；將倒角后的基材拋光至規(guī)定板厚尺 寸的工序；將拋光后的基材的表面以及背面研磨成鏡面狀的工序；在研磨后的基材的表面 以及背面形成光可透過的光透過部，并且在表面以及背面的至少一面上形成框狀包圍光透 過部的外周并使光的一部分散射的光散射部的工序；以及將形成有光透過部以及光散射部 的基材的表面以及背面研磨成鏡面狀的工序。
[0027] 此外，形成光透過部以及光散射部的工序可具備掩蔽光透過部的工序以及對掩蔽 后的基材蝕刻工序。
[0028] 此外，基材由含有Cu2+的氟磷酸鹽系玻璃或含有Cu2+的磷酸鹽系玻璃構(gòu)成，蝕刻工 序能夠通過包含氟離子、含氟離子中的至少一種溶液對掩蔽后的基材進(jìn)行蝕刻。
[0029] 此外，優(yōu)選蝕刻工序在基材的板厚方向上加工1 μ m~50 μ m。
[0030] 此外，優(yōu)選蝕刻工序?qū)⒀诒魏蟮幕囊砸?guī)定時間浸漬在含I %~40%重量氟化氫 的氟酸水溶液中。
[0031] 發(fā)明效果
[0032] 如上所述，根據(jù)本發(fā)明，提供一種不需進(jìn)行墨涂或另外設(shè)置遮光部件，便能夠防止 由不必要的反射光或迷光導(dǎo)致的鬼影或光斑的固體攝像元件用近紅外線吸收玻璃及其制 造方法。
【附圖說明】
[0033] 圖1為本發(fā)明的第1實(shí)施例中涉及的近紅外線吸收玻璃的平面圖。
[0034] 圖2為本發(fā)明的第1實(shí)施例中涉及的近紅外線吸收玻璃的側(cè)視圖。
[0035] 圖3為通過本發(fā)明的第1實(shí)施例涉及的近紅外線吸收玻璃密封固體攝像元件的封 裝的開口部的固體攝像裝置的縱剖面圖。
[0036] 圖4為表示本發(fā)明的第1實(shí)施例涉及的近紅外線吸收玻璃的制造方法的流程圖。
[0037] 圖5為本發(fā)明的第1實(shí)施例的變形例涉及的近紅外線吸收玻璃的側(cè)視圖。
[0038] 圖6為本發(fā)明的第1實(shí)施例的變形例涉及的近紅外線吸收玻璃的側(cè)視圖。
[0039] 圖7為本發(fā)明的第1實(shí)施例的變形例涉及的近紅外線吸收玻璃的側(cè)視圖。
[0040] 圖8為本發(fā)明的第2實(shí)施例涉及的近紅外線吸收玻璃的側(cè)視圖。
[0041] 圖9為表示本發(fā)明的第2實(shí)施例涉及的近紅外線吸收玻璃的制造方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0042] 以下，參考附圖，對本發(fā)明的實(shí)施例加以詳細(xì)說明。另外，對圖中的相同或者是相 當(dāng)?shù)牟糠?，附加相同的符號，并不重?fù)說明。
[0043] (第1實(shí)施例）
[0044] 圖1為本發(fā)明的第1實(shí)施例涉及的近紅外線吸收玻璃10的平面圖。圖2為本發(fā) 明的第1實(shí)施例涉及的近紅外線吸收玻璃10的側(cè)視圖。此外，圖3為通過本發(fā)明的第1實(shí) 施例涉及的近紅外線吸收玻璃10密封固體攝像元件50的封裝60的開口部的固體攝像裝 置100的縱剖面圖。
[0045] 如圖1~圖3所示，本實(shí)施例的近紅外線吸收玻璃10為配置在密封封裝60的覆 蓋玻璃30與去除光學(xué)模擬信號波紋的低通濾鏡20之間，并吸收射入固體攝像裝置100中 的入射光的近紅外線部分