一種支撐結(jié)構(gòu)及真空設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示液晶領域，尤其涉及一種支撐結(jié)構(gòu)及真空設備。
【背景技術】
[0002]在薄膜晶體管的制備工藝過程中，通常用到支撐腳(Pin)結(jié)構(gòu)，例如在對玻璃基板進行干法蝕刻的過程中，需要將玻璃基板至于反應腔內(nèi)進行加工，需要支撐腳對玻璃基板進行支撐，現(xiàn)有技術中的支撐腳是固定在基臺的特定位置，對應特定尺寸的產(chǎn)品，當應用到不同尺寸產(chǎn)品時，需要重新拆掉固定在基臺上的支撐腳，根據(jù)產(chǎn)品尺寸重新將支撐腳固定在基臺上，實現(xiàn)過程復雜，成本較高。
[0003]另外，由于部分支撐腳是設置在玻璃基板的像素區(qū)域內(nèi)，而支撐腳為金屬材質(zhì)，支撐腳與玻璃基板接觸時容易發(fā)生靜電感應，當產(chǎn)生靜電放電時，會對產(chǎn)品產(chǎn)生不良影響，影響產(chǎn)品質(zhì)量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的主要目的在于提供一種支撐結(jié)構(gòu)及真空設備，能夠提高產(chǎn)品可靠性。
[0005]本發(fā)明提供的一種支撐結(jié)構(gòu)，包括機臺，所述機臺上設置有外支撐腳及內(nèi)支撐腳，所述外支撐腳設置在所述機臺的邊緣，所述內(nèi)支撐腳可活動地設置在所述機臺的中部區(qū)域，所述內(nèi)支撐腳為三個，間隔排列設置，位于對應玻璃基板的切割區(qū)域，所述內(nèi)支撐腳與外支撐腳的頂端均設置有金屬頭。
[0006]其中，任意相鄰的所述內(nèi)支撐腳之間的間距相等。
[0007]其中，所述外支撐腳的高度小于所述內(nèi)支撐腳的高度。
[0008]其中，所述機臺表面對應所述內(nèi)支撐腳的位置開設有過孔供所述內(nèi)支撐腳插入固定；所述內(nèi)支撐腳的底部設有卡件，所述過孔設有與所述卡件卡合的溝槽。
[0009]其中，所述內(nèi)支撐腳的高度均可調(diào)。
[0010]其中，所述內(nèi)支撐腳的高度小于所述外支撐腳的高度，所述機臺設置有供所述內(nèi)支撐腳插入固定的升降機構(gòu)，所述升降機構(gòu)用于調(diào)節(jié)所述內(nèi)支撐腳到所述機臺的距離，所述內(nèi)支撐腳的頂部到所述機臺的距離大于所述外支撐腳的頂部到所述機臺的距離。
[0011]其中，所述升降機構(gòu)設置有內(nèi)螺紋結(jié)構(gòu)，所述內(nèi)支撐腳與所述升降機構(gòu)接觸的一端設置有外螺紋結(jié)構(gòu)，所述內(nèi)螺紋與所述外螺紋適配，可通過旋轉(zhuǎn)所述內(nèi)支撐腳調(diào)節(jié)所述內(nèi)支撐腳的高度。
[0012]其中，所述內(nèi)支撐腳及所述升降機構(gòu)均為柱體，所述升降機構(gòu)的中部開設有孔，所述孔的孔徑比所述內(nèi)支撐腳的直徑略大，從所述孔沿著所述升降機構(gòu)的側(cè)壁方向開設有兩個以上對槽，所述對槽包括以所述孔所在中心對稱設置的兩個槽，所述兩個槽的深度一致，每一個對槽的深度不一，所述內(nèi)支撐腳與所述升降機構(gòu)接觸的一端外壁設置有一對凸起，所述一對凸起為以所述內(nèi)支撐腳所在軸心對稱設置的兩個凸起，所述凸起與所述對槽適配。
[0013]其中，所述機臺四條邊上都分布有至少兩個所述外支撐腳。
[0014]本發(fā)明還提供一種真空設備，包括反應腔，所述反應腔內(nèi)設置有上述的支撐結(jié)構(gòu)，所述支撐結(jié)構(gòu)用于支撐玻璃基板。
[0015]本發(fā)明提供的一種支撐結(jié)構(gòu)及真空設備，通過在機臺中部區(qū)域設置三個內(nèi)支撐腳，該三個內(nèi)支撐腳對應于玻璃基板的切割區(qū)域，即使發(fā)生靜電感應也不會因靜電感應而對像素結(jié)構(gòu)產(chǎn)生危害，保證產(chǎn)品的質(zhì)量；由于將所述支撐腳僅設置3個，降低成本，也可一定程度上減少產(chǎn)生靜電感應的幾率，提高產(chǎn)品可靠性。
【附圖說明】
[0016]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0017]圖1為本發(fā)明支撐結(jié)構(gòu)一實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為一實施例中的內(nèi)支撐腳與升降機構(gòu)的截面示意圖；
[0019]圖3為一實施例中的升降機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖4為一實施例中的內(nèi)支撐腳的截面示意圖。
【具體實施方式】
[0021]應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0022]本發(fā)明提供了一種支撐結(jié)構(gòu)及真空設備。圖1示出了本發(fā)明支撐結(jié)構(gòu)的一實施例。
[0023]如圖1所示，為本實施例的支撐結(jié)構(gòu)示意圖，包括機臺1、設置在機臺I上的內(nèi)支撐腳4、外支撐腳3，所述機臺I的邊緣固定設置所述外支撐腳3，所述機臺I的中部區(qū)域設置有所述內(nèi)支撐腳4，所述機臺I對應玻璃基板2的切割區(qū)域設置所述內(nèi)支撐腳4。
[0024]本實施例中，所述內(nèi)支撐腳4為三個，間隔排列設置，所述內(nèi)支撐腳4之間的間距可根據(jù)實際切割尺寸而定，三個所述內(nèi)支撐腳4中，相鄰的內(nèi)支撐腳4的間距相等或不等，此處對此不作限制，優(yōu)選地，相鄰的內(nèi)支撐腳4的間距均相等。
[0025]本實施例中，所述外支撐腳3固定設置在機臺I的表面上，所述外支撐腳3的高度及位置是確定的，由于內(nèi)支撐腳4是可活動設置在機臺I上，因此可根據(jù)產(chǎn)品實際尺寸及需求選擇內(nèi)支撐腳4設置位置及高度，此處所述內(nèi)支撐腳4的高度指的是所述內(nèi)支撐腳4的頂部到所述機臺I的距離，所述外支撐腳3的高度是指所述外支撐腳3的頂部到所述機臺I的距離。
[0026]其中，當所述內(nèi)支撐腳4的高度為固定時，所述內(nèi)支撐腳4的高度應不小于所述外支撐腳3的高度，此時，所述內(nèi)支撐腳4的底部表面設置有卡件，所述機臺I對應所述內(nèi)支撐腳4的位置設置有過孔，所述過孔上開設有與所述卡件卡合的溝槽，所述內(nèi)支撐腳4插入所述過孔，通過所述卡件與所述溝槽進行卡合固定。
[0027]當所述內(nèi)支撐腳4的高度可調(diào)節(jié)時，所述內(nèi)支撐腳4的長度可小于所述外支撐腳3的高度，所述機臺I對應所述內(nèi)支撐腳4的位置設置有升降機構(gòu)5，所述內(nèi)支撐腳4的頂部到所述機臺I的距離大于所述外支撐腳3的高度。
[0028]其中所述升降機構(gòu)設置有內(nèi)螺紋結(jié)構(gòu)，所述內(nèi)支撐腳4的底部設置有外螺紋結(jié)構(gòu)，所述內(nèi)螺紋與內(nèi)螺紋配合固定，當需要調(diào)節(jié)所述內(nèi)支撐腳4的高度時，可控制所述內(nèi)支撐腳4旋進所述升降機構(gòu)的深度來實現(xiàn)，由于螺紋固定為現(xiàn)有技術，此處不再贅述。
[0029]又一實施例中，如圖2至4所示，所述內(nèi)支撐腳4為圓柱體，所述升降機構(gòu)5為圓柱體，其中部開設有孔6，所述孔6的孔徑比所述內(nèi)支撐腳4的直徑略大，從所述孔6沿著所述升降機構(gòu)