發(fā)明的特征的地方。 陽(yáng)〇3引[實(shí)施方式U
[0034] <層疊陶瓷電容器的制作〉
[0035] (1)陶瓷生片的準(zhǔn)備
[0036] 為了制作層疊陶瓷電容器，首先在W鐵酸領(lǐng)為主體的陶瓷原料粉末中加入周知的 有機(jī)粘合劑W及有機(jī)溶劑，并用球磨機(jī)進(jìn)行濕式混合，來(lái)調(diào)制陶瓷原料漿。
[0037] 然后，用刮刀法將該陶瓷原料漿薄片成形，來(lái)制作陶瓷生片。 陽(yáng)03引 （2)內(nèi)部電極形成用的導(dǎo)電性膏的準(zhǔn)備
[0039] 準(zhǔn)備將導(dǎo)電成分的Ni粉末、例如祗品醇和丙締酸清漆混合、并使之分散的內(nèi)部電 極形成用的導(dǎo)電性膏。
[0040] (3)外部電極形成用的導(dǎo)電性膏的準(zhǔn)備
[0041] (3-1)玻璃粉末的準(zhǔn)備
[0042] 在制作外部電極形成用的導(dǎo)電性膏時(shí)，首先準(zhǔn)備組成不同的多種類的玻璃粉末、 即表1的玻璃粉末1~玻璃粉末5的合計(jì)5種類的玻璃粉末。
[0043] 在該實(shí)施方式中，W WD-XRF(波長(zhǎng)散射型巧光X射線分析裝置）對(duì)評(píng)價(jià)中所用的 玻璃粉末進(jìn)行組成分析，將氣W后的輕元素~重元素定量。另外，在本發(fā)明中，構(gòu)成導(dǎo)電性 膏的玻璃粉末中的Si化、或SrO、BaO等的比例是能用分析方法得到的值。
[0044] 在表1示出根據(jù)WD-XRF的結(jié)果求得的包含在各玻璃粉末中的Si〇2、SrO、BaO、 AI2O3、CaO、ZnO、胞2〇、CuO、W及BaO+SrO的合計(jì)量的值。
[0045][表1]
[0046]
[0047] (3-2)導(dǎo)電成分的化粉末的準(zhǔn)備
[0048] 作為外部電極形成用的導(dǎo)電性膏的導(dǎo)電成分，如表2所示那樣準(zhǔn)備平均粒徑不同 的化粉末?；勰┑钠骄绞怯肕icrotrac法測(cè)定的值。 陽(yáng)049]另外，在本發(fā)明中，構(gòu)成導(dǎo)電性膏的賤金屬粉末的平均粒徑是通過(guò)Microtrac法 測(cè)定的值。
[0050] (3-3)導(dǎo)電性膏的制作
[0051] 將表1所示的玻璃粉末1~玻璃粉末5運(yùn)5種類的玻璃粉末（參考表1)、和W Microtrac法測(cè)定的平均粒徑不同的化粉末（參考表2)與W祗品醇為溶劑的丙締酸清漆 混合，用3漉磨機(jī)使之分散，由此制作表2所示那樣的外部電極形成用的9種類的導(dǎo)電性膏 (導(dǎo)電性膏A~I)。 陽(yáng)〇5引[表引 [0053]
[0054] (4)層疊陶瓷電容器的制作 陽(yáng)化5] (4-1)向陶瓷生片上的內(nèi)部電極圖案的形成
[0056] 在上述那樣制作的陶瓷生片上用絲網(wǎng)印刷法印刷上述那樣制作的WNi粉末為導(dǎo) 電成分的內(nèi)部電極膏，來(lái)形成多個(gè)內(nèi)部電極圖案。
[0057] (4-2)母陶瓷生片的層疊
[0058] 接下來(lái)，W如下方式層疊給定片數(shù)：使得在將上述那樣形成的具備內(nèi)部電極圖案 的陶瓷生片（=內(nèi)部電極薄片）最終進(jìn)行切割來(lái)分割成各個(gè)元件（未燒成的層疊陶瓷元 件）時(shí)，內(nèi)部電極在各個(gè)元件的相互對(duì)置的一對(duì)端面的一方側(cè)的端面和另一方側(cè)的端面交 替引出。
[0059] 然后，再在得到的層疊體的上下兩面?zhèn)葘盈B給定片數(shù)的未形成內(nèi)部電極的外層用 陶瓷生片（=外層薄片），制作母陶瓷生片層疊體。 W60] 運(yùn)時(shí)，從得到小型、靜電容大的層疊陶瓷電容器的觀點(diǎn)出發(fā)，期望設(shè)計(jì)得使內(nèi)部電 極薄片的層疊片數(shù)較多，使外層薄片的層疊片數(shù)在不太出現(xiàn)不良狀況的生范圍內(nèi)較少。
[0061] (4-3)母陶瓷生片層疊體的壓接、分割W及燒成
[0062] 然后，在用上述那樣制作的母陶瓷生片層疊體用靜水壓壓機(jī)等手段在層疊方向上 壓接后，在給定的位置進(jìn)行切割，得到忍片狀、未燒成的層疊陶瓷元件（各個(gè)層疊陶瓷電容 器元件）。
[0063] 在1050°C下燒成該未燒成的層疊陶瓷元件，得到忍片狀的燒結(jié)層疊體（層疊陶瓷 元件10(參考圖1、2))。 柳64]該燒結(jié)層疊體（層疊陶瓷元件）的尺寸為寬度W:1200ym、厚度T:1200ym、長(zhǎng)度L:2000ym、外層厚度為30~50ym。 陽(yáng)0化](4-4)外部電極的形成
[0066] 然后，用浸潰涂布的方法，在上述那樣得到的具有Ni內(nèi)部電極的層疊陶瓷元件 的、引出內(nèi)部電極的相互對(duì)置的端面，涂布上述那樣制作的外部電極形成用的導(dǎo)電性膏。
[0067] 然后，在150°C下干燥10分鐘后，在成氣氛下將最高峰值溫度改變?yōu)?50、700、 750、800、850、900 °C來(lái)進(jìn)行燒成，由此形成外部電極。
[0068] 接下來(lái)，通過(guò)電解鍛在所形成的外部電極的表面形成Ni鍛膜層，進(jìn)而在Ni鍛膜層 上形成Sn鍛膜層。由此得到圖1、2所示那樣的層疊陶瓷電容器。
[0069] 該層疊陶瓷電容器如圖1、2所示那樣，具有如下結(jié)構(gòu)：在隔著電介質(zhì)層即陶瓷層1 層疊多個(gè)內(nèi)部電極2(2a、2b)的層疊陶瓷元件10的相互對(duì)置的一對(duì)端面3(3a、3b)，配設(shè)外 部電極4 (4曰、4b)來(lái)與內(nèi)部電極2 (2曰、2b)導(dǎo)通，在外部電極4 (4曰、4b)的表面依次形成Ni 鍛膜層11W及Sn鍛膜層12。
[0070] <特性的評(píng)價(jià)〉
[0071] 對(duì)上述那樣制作的層疊陶瓷電容器用W下說(shuō)明的方法調(diào)查靜電容、耐濕性。 陽(yáng)〇7引進(jìn)而，通過(guò)WDX測(cè)圖W及沈M觀察，來(lái)調(diào)查外部電極中的玻璃組成、在外部電極與 陶瓷的界面中的玻璃層（界面玻璃層）的形成的有無(wú)、外部電極與內(nèi)部電極的接合界面中 的構(gòu)成外部電極的賤金屬（化）向內(nèi)部電極（Ni)的擴(kuò)散距離（金屬擴(kuò)散距離）、W及向陶瓷 胚體的裂紋的發(fā)生的有無(wú)。 陽(yáng)07引（1)靜電容
[0074] 對(duì)上述那樣制作的層疊陶瓷電容器測(cè)定靜電容，確認(rèn)是否滿足規(guī)定電容。靜電容 用LCR計(jì)測(cè)定，將相對(duì)于規(guī)定靜電容成為95%W下的層疊陶瓷電容器判定為不良（X)。 陽(yáng)07引似耐濕性
[0076]另外，施加額定電壓，在濕度95%、溫度125°C、試驗(yàn)時(shí)間72個(gè)小時(shí)的條件下實(shí)施 耐濕試驗(yàn)，調(diào)查試驗(yàn)后的絕緣電阻的降低的有無(wú)，來(lái)調(diào)查耐濕性的良否。
[0077] 另外，關(guān)于耐濕性的良、不良，將絕緣電阻LOXlO7QW上的樣本判定為耐濕性良 (0)，將絕緣電阻不足i.oxi〇7q的樣本判定為不良（X)。 陽(yáng)〇7引 （3)基于WDX測(cè)圖W及沈M觀察的特性的評(píng)價(jià)
[0079] 另外，通過(guò)除了B(棚）W下的輕元素W外的WDX測(cè)圖W及沈M觀察來(lái)觀察：
[0080] (a)外部電極中的玻璃的組成；
[0081] 化）外部電極與陶瓷的界面中的玻璃層的形成的有無(wú)；
[0082] (C)外部電極與內(nèi)部電極的接合部中的構(gòu)成外部電極的賤金屬（Cu)向內(nèi)部電極 (Ni)的擴(kuò)散距離（金屬擴(kuò)散距離）；和
[0083] (d)向?qū)盈B陶瓷的裂紋的發(fā)生的有無(wú)。
[0084] 具體地，在寬度方向（W方向）上將W圖1、2中的長(zhǎng)度方向化方向）和厚度方向 燈方向）規(guī)定的面（LT面）研磨到寬度方向尺寸（W尺寸）的1/2,WWDX對(duì)研磨端面的外 部電極4的表層部分的玻璃進(jìn)行點(diǎn)分析，算出n= 5的平均值，來(lái)確認(rèn)玻璃組成（參考圖 3)，從而確認(rèn)上述（a)的玻璃組成。 陽(yáng)0化]另外，本發(fā)明中的構(gòu)成外部電極的玻璃的組成是用上述方法確認(rèn)的玻璃組成。
[0086] 另外，在同樣的樣本中著眼于外部電極4與陶瓷（陶瓷層）1的界面，判定是形成 了空隙少的連續(xù)的玻璃層（界面玻璃層），還是未形成連續(xù)的玻璃層。另外，圖3示出具備 本發(fā)明的要件的層疊陶瓷電子部件，示出在外部電極4與陶瓷層1的界面形成了空隙少的 連續(xù)的玻璃層（界面玻璃層）G的狀態(tài)。
[0087] 進(jìn)而，還用同樣的樣本調(diào)查構(gòu)成外部電極的賤金屬（化）向內(nèi)部電極（Ni)的擴(kuò)散 距離（化一Ni擴(kuò)散距離）。目P，對(duì)外部電極4與陶瓷（陶瓷層）1的界面在倍率3000倍下 取得與化和Ni相關(guān)的WDX測(cè)圖（WDXmapping)像，對(duì)位于視野內(nèi)的全部?jī)?nèi)部電極（Ni內(nèi) 部電極）2測(cè)定化從其先端向元件（層疊陶瓷元件）10的內(nèi)部方向（與內(nèi)部電極的長(zhǎng)邊方 向正交的方向））的擴(kuò)散距離（化一Ni擴(kuò)散距離），將它們的平均值設(shè)為金屬擴(kuò)散距離。
[0088] 另外，本發(fā)明中的構(gòu)成外部電極的賤金屬向內(nèi)部電極的擴(kuò)散距離，是用上述方法 測(cè)定的值。
[0089] 另外，向長(zhǎng)度方向化方向）對(duì)上述那樣制作的作為完成品的層疊陶瓷電容器研磨 形成外部電極的端面（WT面），使外部電極與內(nèi)部電極的接合界面露出。然后如圖4所示那 樣著眼于該露出的接合界面的角落部，觀察裂紋C的發(fā)生的有無(wú)。另外，在圖4中，標(biāo)注與 圖1、2同一標(biāo)號(hào)的部分表示同一部分。
[0090] 在表3示出其結(jié)果。 陽(yáng)0川[表引
[0092]
[0093]另外，在表3中，在樣本編號(hào)附加的樣本是不滿足本發(fā)明的要件的作為比較例 的樣本，其它樣本都是滿足本發(fā)明的要件的本發(fā)明的實(shí)施例所設(shè)及的樣本。
[0094] 表3的樣本編號(hào)1~6的樣本是如下那樣的樣本：作為外部電極形成用的導(dǎo)電性 膏，利用使用了化粉末的平均粒徑3. 8ym、BaO的含有率34mol%的玻璃粉末（表1的玻 璃粉末1)的導(dǎo)電性膏D，在不同的燒成溫度下進(jìn)行燒成來(lái)形成外部電極。
[0095]然后，在樣本編號(hào)I~6的樣本當(dāng)中6