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      一種兩鏡腔高功率陣列氣體激光器的構(gòu)建方法及裝置的制造方法_3

      文檔序號:8944946閱讀:來源:國知局
      架27固定在系統(tǒng)對稱軸上,各個放電管 左端密封,右端與放電管第二支架27密封連接。3)、放電陽極9、10、11、12、13、14、15、16分 別固定在放電管1、2、3、4、5、6、7、8上,且到放電管左端距離均為5cm ;4)、輸出鏡30的第一 反射面為球面,其曲率中心與放電管1、2、3、4、5、6、7、8的軸線的交點(diǎn)或凹面全反射鏡17、 18、19、20、21、22、23、24的軸線的交點(diǎn)重合,即為公共交點(diǎn),公共交點(diǎn)到放電管第二支架27 的水平距離為40cm,輸出鏡30的第一反射面的曲率半徑為0. 6m ;5)、儲氣室29將放電管第 二支架27與輸出鏡30密封連接,放電總陰極28密封連接在儲氣室29上;會聚鏡31位于 系統(tǒng)對稱軸上,到輸出鏡的距離為80cm ;組合鏡25放置在激光器第一支架32上、放電管第 一支架26放置在激光器第二支架33上、放電管第二支架27放置在激光器第三支架34上、 輸出鏡30放置在激光器第四支架35上、會聚鏡31放置在激光器第五支架36上、激光器支 架32- 36放置在激光器第六支架37上;所述的三維兩鏡腔高功率陣列氣體激光器,其特征 在于凹面全反射鏡17、18、19、20、21、22、23、24與輸出鏡30分別構(gòu)成第一兩鏡腔、第二兩鏡 腔、第三兩鏡腔、第四兩鏡腔、第五兩鏡腔、第六兩鏡腔、第七兩鏡腔、第八兩鏡腔,放電管1、 2、3、4、5、6、7、8的軸線分別與上述八個兩鏡腔的軸線重合;利用電源激勵放電管內(nèi)由二氧 化碳、氮?dú)?、氦氣組成的混合氣體,或放電管內(nèi)由一氧化碳、氮?dú)?、氦氣組成的混合氣體,則 從輸出鏡輸出二氧化碳激光或一氧化碳激光,其特征在于從各個諧振腔輸出的激光束相交 于公共交點(diǎn),在輸出鏡面上對稱地分布在同一圓周上,有效地減小了輸出鏡鏡面上局部功 率密度過大引起的非線性效應(yīng)和溫度過高引起的熱透鏡效應(yīng);從輸出鏡30輸出的陣列激 光束經(jīng)會聚鏡31后變成平行陣列激光束;高功率三維陣列激光束可用于激光工業(yè)加工,如 激光切割、激光焊接、激光打孔、激光表面處理等。
      [0028] 實(shí)施例1 參照附圖1,取7根放電管1、2、3、4、5、6、7,放置在同一平面內(nèi),放電管的軸線及末 端連線構(gòu)成三個具有公共頂點(diǎn)的等腰三角形,即為所述的二維高功率陣列氣體激光器, 每根放電管長度均為I. 2m,內(nèi)徑10mm,外徑12mm,凹面全反射鏡15、16、17、18、19、20、 21分別與放電管1、2、3、4、5、6、7左端面的距離均為5cm,凹面全反射鏡的橫向尺寸均為 20mm,曲率半徑均為2m;放電管1、2、3、4、5、6、7被放電管第一支架23和放電管第二支 架24固定在系統(tǒng)對稱軸上,各個放電管左端密封,右端與放電管第二支架24密封連接; 放電陽極8、9、10、11、12、13、14到放電管放電管1、2、3、4、5、6、7左端距離均為5〇11 ;輸出 鏡25的第一反射面的曲率中心與放電管1、2、3、4、5、6、7的軸線的交點(diǎn)重合,即為公共交 點(diǎn)30,公共交點(diǎn)30到放電管第二支架24的水平距離為40cm,輸出鏡25的第一反射面 的曲率半徑為0. 6m ;第一會聚鏡26位于系統(tǒng)對稱軸上,到輸出鏡的距離為80cm、所述的 第二會聚鏡27位于系統(tǒng)對稱軸上,到輸出鏡的距離為140cm;放電管內(nèi)達(dá)到真空133.3 sc 10 3Pa后按照C02:N2:He=2:3:5或近似比例充均勻混合氣體10-20 ^ 133. 3Pa。對波長 10. 6 全反射鏡反射率為98%以上,輸出鏡反射率為80%,透射率為20%。在直流電源激 勵下可從輸出鏡獲得二維高功率陣列二氧化碳激光輸出。
      [0029] 實(shí)施例2 參照附圖1,激光器除全反射鏡、輸出鏡的透射和反射、真空度、混合氣體外,其它參數(shù) 與例1完全一致,放電管內(nèi)達(dá)到真空133. 3襄10 5Pa后按照C0:N2:He=l:2:17或近似比例充 均勻混合氣體10-20 % 133. 3Pa。對波長5. 3 _:全反射鏡反射率為99%以上,輸出鏡反射 率為90%,透射率為10%。在直流電源激勵下可從輸出鏡獲得二維高功率陣列一氧化碳激光 輸出。
      [0030] 實(shí)施例3 參照附圖2,取8根放電管1、2、3、4、5、6、7、8,每根放電管的軸線位于同一圓錐面上,即 為所述的三維高功率陣列氣體激光器,激光器除放電管放置的位置外,其它參數(shù)與例1完 全一致,放電管內(nèi)達(dá)到真空133. 3 ¥ 10 3Pa后按照C02:N2:He=2:3:5或近似比例充均勻混合 氣體10-20 133. 3Pa。對波長10. 6 全反射鏡反射率為98%以上,輸出鏡反射率為80%, 透射率為20%。在直流電源激勵下可從輸出鏡獲得三維高功率陣列二氧化碳激光輸出。
      [0031] 實(shí)施例4 參照附圖2,激光器除全反射鏡、輸出鏡的透射和反射、真空度、混合氣體外,其它參數(shù) 與例3完全一致,放電管內(nèi)達(dá)到真空133. 3? 10 5Pa后按照C0:N2:He=l :2:17或近似比例充 均勻混合氣體10-20,133. 3Pa。對波長5. 3 _:全反射鏡反射率為99%以上,輸出鏡反射 率為90%,透射率為10%。在直流電源激勵下可從輸出鏡獲得三維高功率陣列一氧化碳激光 輸出。
      [0032] 應(yīng)當(dāng)理解的是,對本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說,可以根據(jù)上述說明加以改進(jìn)或變換, 而所有改進(jìn)和變換都應(yīng)屬于本發(fā)明所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
      【主權(quán)項(xiàng)】
      1. 一種兩鏡腔高功率陣列氣體激光器的構(gòu)建方法,是使用石英管或玻璃管作為放電 管,多根放電管呈對稱分布,放電管軸線相交于諧振腔內(nèi)一點(diǎn),使用由凹面全反射鏡和輸出 鏡組成的兩鏡腔,放電管內(nèi)氣體介質(zhì)經(jīng)放電激勵后并在兩鏡腔作用下,從輸出鏡輸出激光; 當(dāng)放電管內(nèi)的混合氣體為二氧化碳、氮?dú)?、氦氣且各個諧振腔鏡的反射和透射是針對波長 為10. 6 _的,則輸出二氧化碳激光,當(dāng)放電管內(nèi)的混合氣體為一氧化碳、氮?dú)狻⒑馇腋?個諧振腔鏡的反射和透射是針對波長為5. 3 __的,則輸出一氧化碳激光;二維兩鏡腔高功 率陣列氣體激光器是由多根放電管對稱放置在同一平面內(nèi),各個放電管的軸線關(guān)于激光器 對稱軸對稱,且相交于同一公共交點(diǎn),各個放電管的軸線及末端連線構(gòu)成等腰三角形,公共 交點(diǎn)為等腰三角形的頂點(diǎn),放電管軸線為等腰三角形的腰,放電管末端連線為等腰三角形 的底;三維兩鏡腔高功率陣列氣體激光器是由多根放電管對稱放置在同一圓錐面上,各個 放電管的軸線交于同一公共交點(diǎn),即為圓錐頂點(diǎn),各個放電管的末端在同一平面內(nèi),即為圓 錐底面,各個放電管的軸線即為圓錐母線位于同一圓錐面上;其特征在于各個凹面全反射 鏡的軸線與凹面全反射鏡所對應(yīng)的放電管的軸線重合并交于公共交點(diǎn);輸出鏡的第一反射 面為球面,其特征在于該球面的曲率中心與各個放電管的軸線或各個凹面全反射鏡的軸線 重合于同一公共交點(diǎn),振蕩光束在凹面全反射鏡和輸出鏡的第一反射面之間振蕩,從輸出 鏡輸出的激光束為會聚的陣列激光束,利用會聚透鏡可獲得平行的或會聚的陣列高功率二 氧化碳或一氧化碳激光束。2. 按照權(quán)利要求1的方法,所述的二維兩鏡腔高功率陣列氣體激光器的放電管關(guān)于激 光器對稱軸對稱,按照放電管與激光器對稱軸的夾角由小到大可分為第一等腰三角形、第 二等腰三角形、第三等腰三角形等等,激光器對稱軸為各個等腰三角形的高;所述的三維兩 鏡腔高功率陣列氣體激光器的放電管位于圓錐面上且關(guān)于激光器對稱軸對稱,按照圓錐頂 角由小到大可分為第一圓錐面、第二圓錐面、第三圓錐面等等,激光器對稱軸為各個圓錐面 的高,在這些圓錐面上可對稱地放置較多的放電管。3. 按照權(quán)利1、2的要求,所述的二維兩鏡腔高功率陣列氣體激光器的裝置包括石英放 電管或玻璃放電管⑴、⑵、(3)、(4)、(5)、(6)、(7)、放電陽極(8)、(9)、(10)、(11)、(12)、 (13)、(14)、凹面全反射鏡(15)、(16)、(17)、(18)、(19)、(20)、(21)、組合鏡(22)、放
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