箱體402上，四倍頻卡計509安裝在壓板508上，四倍頻調(diào)角機構(gòu)504安裝在第二溫控箱體402和第二溫控箱體403相交處的內(nèi)腔中，四倍頻俯仰驅(qū)動組件705和四倍頻搖擺驅(qū)動組件701位于第二溫控箱體402內(nèi)，二倍頻調(diào)角機構(gòu)104安裝在第三箱體803和第四箱體804相交處的內(nèi)腔中，二倍頻俯仰驅(qū)動組件805和二倍頻搖擺驅(qū)動組件801位于第三箱體803內(nèi)。
[0022]本實施方式通過恒溫水箱向溫控流道512來提供恒溫水，以實現(xiàn)溫控箱體和晶體組件的溫度調(diào)控。本實施方式在第一溫控箱體403上設(shè)有溫控真空隔離窗艙門蓋505，在第一溫控箱體403上開有窗口，連接有可供四倍頻晶體拆卸的晶體窗口蓋板503，并用第一密封圈502進行密封。本實施方式的四倍頻卡計是檢測四倍頻能量的卡計，用于檢測激光能量，進而檢測四倍頻轉(zhuǎn)換的效率。本實施方式中的四倍頻俯仰驅(qū)動組件、四倍頻偏擺驅(qū)動組件、二倍頻俯仰驅(qū)動組件和二倍頻俯仰偏擺驅(qū)動組件均為現(xiàn)有技術(shù)，其具體結(jié)構(gòu)在公告號為CN103278997A，公告日為2013.09.04的中國專利中有明確體現(xiàn)，此處不在贅述。
[0023]【具體實施方式】二:結(jié)合圖5說明，本實施方式的四倍頻靶窗窗口導(dǎo)向組件404包括真空窗口玻璃組件602、透鏡滾輪605、四倍頻窗口框體603和兩個四倍頻靶室真空窗口導(dǎo)向板601 ;兩個四倍頻靶室真空窗口導(dǎo)向板601之間布置有傾斜設(shè)置的四倍頻窗口框體603，真空窗口玻璃組件602安裝在四倍頻窗口框體603內(nèi)，四倍頻窗口框體603的兩側(cè)安裝有透鏡滾輪605，兩個四倍頻靶室真空窗口導(dǎo)向板601的相對側(cè)面上各開設(shè)有滾輪槽6011，透鏡滾輪605布置在滾輪槽6011內(nèi)并能在透鏡滾輪槽6011內(nèi)上下滾動，四倍頻窗口框體603封裝在第一溫控箱體403的法蘭506上。本實施方式的真空窗口玻璃呈一定角度傾斜放置可以分離雜散光，使用在線替換裝置能實現(xiàn)損傷晶體、透鏡與窗口玻璃的更換，四倍頻窗口框體603通過第二密封圈507安裝在第二溫控箱體403的法蘭506上。其它組成和連接關(guān)系與【具體實施方式】一相同。
[0024]【具體實施方式】三:結(jié)合圖6-圖9說明，本實施方式的四倍頻調(diào)角機構(gòu)504還包括第一框體704、第二框體706、第三框體707、四倍頻內(nèi)框708和四倍頻晶體組件11_7，第一框體704、第二框體706和第三框體707順著光射方向依次連接，第二框體706在水平方向設(shè)有與第一框體704連接的偏擺轉(zhuǎn)動連接副，偏擺微驅(qū)動機構(gòu)701穿過第一框體704并與第二框體706的上部或下部連接，偏擺微驅(qū)動機構(gòu)701通過偏擺轉(zhuǎn)動連接副實現(xiàn)第二框體706的豎向擺動，內(nèi)框708安裝在第二框體706內(nèi)，內(nèi)框708和第二框體706在豎直方向設(shè)有俯仰轉(zhuǎn)動連接副，俯仰微驅(qū)動機構(gòu)705穿過第一框體704并與四倍頻內(nèi)框708的下端連接，俯仰微驅(qū)動機構(gòu)705通過俯仰轉(zhuǎn)動連接副實現(xiàn)四倍頻內(nèi)框708的水平擺動，四倍頻晶體組件11-7滑動插裝在第三框體707上的四倍頻晶體組件滑槽7071內(nèi)。本實施方式的晶體組件11-7上設(shè)有管狀循環(huán)水路即晶體溫控流道，在水路的端頭采用螺栓和密封圈進行密封。四倍頻調(diào)角機構(gòu)上有上軸承702和下軸承712，起到定位作用。在四倍頻晶體LRU(可替換單元)組件11-7上安裝有可裝卸用的把手703，以實現(xiàn)四倍頻晶體的拆卸。其它組成和連接關(guān)系與【具體實施方式】一或二相同。
[0025]【具體實施方式】四:結(jié)合圖8和圖9說明，本實施方式的四倍頻晶體組件11-7包括晶體框11-7-1、大口徑晶體11-7-2、溫度傳感器11-7-5、多個擋條11_7_3和多個壓片11-7-4，溫度傳感器11-7-5安裝在晶體框11-7-1上，大口徑晶體11_7_2通過多個擋條11-7-3和多個壓片11-7-4安裝在晶體框11-7-1上，晶體框11_7_1框體內(nèi)沿框體橫截面開設(shè)晶體溫控流道11-10，晶體溫控流道11-10與晶體組件進水口 710和晶體組件回水口 707貫通。如此設(shè)置，溫度傳感器11-7-5便于檢測晶體框11-7-1的溫度；框體橫截面開設(shè)晶體溫控流道保證對晶體框11-7-1進行溫控，通過溫度傳感器11-7-5得知晶體框11-7-1的溫度，進而通過恒溫水箱對晶體框11-7-1進行調(diào)溫。其它組成和連接關(guān)系與【具體實施方式】三相同。
[0026]【具體實施方式】五:結(jié)合圖11和圖12說明，本實施方式的二倍頻調(diào)角機構(gòu)104還包括第四框體806、第五框體807、第六框體808、二倍頻內(nèi)框809和二倍頻晶體組件，第四框體806、第五框體807和第六框體808順著光射方向依次連接，第五框體807在水平方向設(shè)有與第四框體806連接的偏擺轉(zhuǎn)動連接副，偏擺微驅(qū)動機構(gòu)801穿過第四框體806并與第五框體807的上部或下部連接，偏擺微驅(qū)動機構(gòu)801通過偏擺轉(zhuǎn)動連接副實現(xiàn)第五框體807的豎向擺動，二倍頻內(nèi)框809安裝在第五框體807內(nèi)，二倍頻內(nèi)框809和第五框體807在豎直方向設(shè)有俯仰轉(zhuǎn)動連接副，俯仰微驅(qū)動機構(gòu)805穿過第四框體806并與二倍頻內(nèi)框809的下端連接，俯仰微驅(qū)動機構(gòu)805通過俯仰轉(zhuǎn)動連接副實現(xiàn)二倍頻內(nèi)框809的水平擺動，二倍頻晶體組件滑動插裝在第六框體808上的二倍頻晶體組件滑槽8081內(nèi)。本實施方式的二倍頻晶體組件沒有晶體溫控流道，其它結(jié)構(gòu)與四倍頻晶體組件結(jié)構(gòu)相同。其它組成和連接關(guān)系與【具體實施方式】四相同。
[0027]【具體實施方式】六:結(jié)合圖13-圖22說明，本實施方式的聚集透鏡I包括透鏡屏蔽片組件1101、透鏡替換單元組件1102、X向位置調(diào)整組件1603、Y向位置調(diào)整組件1601和Z向位置調(diào)整組件1104 ；
[0028]透鏡屏蔽片組件1101安裝在透鏡替換單元組件1102上，透鏡替換單元組件1102安裝在X向位置調(diào)整組件1603上，所述X向位置調(diào)整組件1603用于驅(qū)動透鏡驅(qū)動組件1102在X方向上移動，X向位置調(diào)整組件1603安裝在Y向位置調(diào)整組件1601上，Y向位置調(diào)整組件1601用于驅(qū)動X向位置調(diào)整組件1603在Y方向移動，Y向位置調(diào)整組件1601安裝在Z向位置調(diào)整組件1104上，Z向位置調(diào)整組件1104用于驅(qū)動Y向位置調(diào)整組件1601在Z方向移動。如此設(shè)置，本實施方式結(jié)構(gòu)簡單緊湊，采用配合使用透鏡X向位置調(diào)整組件、Y軸位置調(diào)整組件與Z向位置調(diào)整組件實現(xiàn)了對聚焦透鏡中的透鏡可替換單元組件的空間精確移動，方便快捷地達到對高能激光束的精確聚焦。通過X向位置調(diào)整組件、Y軸位置調(diào)整組件與Z向位置調(diào)整組件配合使用可實現(xiàn)透鏡LRU組件在X方向、Y方向和Z方向三個方向上平移，達到精確聚焦的目的，它能用于高能光束在空間某微小截面上的精確聚焦。其它組成和連接關(guān)系與【具體實施方式】一、二、四或五相同。
[0029]【具體實施方式】七:結(jié)合圖14和圖15說明，本實施方式所述Z向位置調(diào)整組件1104包括透鏡調(diào)焦鏡筒1201、透鏡殼體1204和驅(qū)動組件1403 ;驅(qū)動組件1403包括電機1504、電機座1503、Z向絲杠副和支撐板1501 ；
[0030]透鏡殼體1204為筒式殼體，透鏡調(diào)焦鏡筒1201、驅(qū)動組件1403均布置在透鏡殼體1204內(nèi)，電機1504安裝在電機座1503上，電機座1503安裝在透鏡殼體1204上，支撐板1501安裝在透鏡殼體1204上，Z向絲杠副的絲杠1506通過軸承座1505安裝在支撐板1501上，電機1503的輸出端連接Z向絲杠副的絲杠1506，Z向絲杠副的絲母1507與透鏡調(diào)焦鏡筒1201連接，Y向位置調(diào)整組件1601安裝在透鏡調(diào)焦鏡筒1201的端面上。其它與【具體實施方式】六相同。
[0031]【具體實施方式】八:結(jié)合圖7說明，本實施方式的驅(qū)動組件1403還包括下直線導(dǎo)軌4013、上導(dǎo)軌基座1404、下導(dǎo)軌基座1405、聯(lián)軸器1502、下滑塊基座4023、兩個上直線導(dǎo)軌4012和兩個上滑塊基座4021 ；
[0032]下滑塊基座4023安裝在透鏡調(diào)焦鏡筒1201的下部，下直線導(dǎo)軌4013安裝在下滑塊基座4023的下部，下導(dǎo)軌基座1405安裝在透鏡殼體1204上，下直線導(dǎo)軌4013滑動布置在下導(dǎo)軌基座1405上；上導(dǎo)軌基座1404安裝在透鏡調(diào)焦鏡筒1201的上部，上導(dǎo)軌基座1404上沿透鏡調(diào)焦鏡筒1201的軸向并列安裝有兩個上直線導(dǎo)軌4012，兩個上滑塊基座4021分別與絲杠副的絲母1507連接，上直線導(dǎo)軌4012滑動布置在上滑塊基座4021上，電機1504的輸出端通過聯(lián)軸器1502與Z向絲杠副的絲杠1506連接。如此設(shè)置，本實施方式的透鏡外殼防塵罩板1203和透鏡外殼1204通過螺釘緊固連接，透鏡調(diào)焦鏡筒