管 12a、12b、12c、12d、12e沿側(cè)壁4a的徑向延伸，分別經(jīng)由第一開口 16a、16b、16c、16d、16e (當(dāng)無需特別加以區(qū)分時，簡稱為“第一開口 16”)而與收納空間AS連通?；厥展?4a、14b、14c、14d、14e沿側(cè)壁4a的徑向延伸，分別經(jīng)由第二開口 18a、18b、18c、18d、18e (當(dāng)無需特別加以區(qū)分時，簡稱為“第二開口 18”)而與收納空間AS連通。
[0051 ] 熱交換器6及流路部8收納在殼體4的收納空間AS內(nèi)。參照圖3?5，對熱交換器6進行詳細說明。圖3是熱交換器6的立體圖。如圖3所示，熱交換器6包含間隔壁20、多個第一管22、及多個第二管24。熱交換器6是在平板2的背面?zhèn)?b 二維地排列的多個區(qū)域，且以如下方式而構(gòu)成:對在平板2的背面?zhèn)?b由多個同心圓劃分邊界而成的多個區(qū)的各個沿周向分割而成的多個區(qū)域個別地供給熱交換介質(zhì)，并且個別地回收所供給的熱交換介質(zhì)。
[0052]間隔壁20整體呈圓盤形狀或圓柱形狀，具有多個沿該間隔壁20的中心軸方向延伸的槽部C。多個槽部C沿?zé)峤粨Q器6的徑向及周向二維地排列。多個槽部C的各個具有在俯視下寬度隨著朝向熱交換器6的外側(cè)而變寬的大致矩形狀的平面形狀。多個槽部C分別劃分形成截面大致四邊形狀的多個空間S。S卩，間隔壁20在平板2的下方形成二維地排列、且不相互內(nèi)包的多個空間S。將多個槽部C中的一個槽部C示于圖4。圖4(a)是槽部C的俯視圖，圖4(b)是從上方觀察槽部的立體圖，圖4(c)是從下方觀察槽部的立體圖。這些槽部C也能以從上方觀察的俯視下形成蜂窩結(jié)構(gòu)的方式相互結(jié)合。
[0053]多個第一管22分別在俯視下通過對應(yīng)的空間S的大致中心位置而延伸。這些多個第一管22朝平板2的背面?zhèn)?b (圖2)相互大致平行地延伸。多個第一管22的各個由劃分形成其周圍的空間的間隔壁20包圍。多個第一管22的各個具有第一開口端22a及第二開口端22b。第一開口端22a以與背面?zhèn)?b相對向的方式而配置。第二開口端22b位于第一開口端22a的相反側(cè)，且位于空間S的下方。多個第一管22作為從下述第一熱交換介質(zhì)供給裝置10a或第二熱交換介質(zhì)供給裝置10b接受熱交換介質(zhì)并從第一開口端22a噴出的管而發(fā)揮功能。
[0054]多個第二管24以分別連通于多個空間S的方式連接于間隔壁20。在多個第二管24的各自的下端部設(shè)置著開口 24a。多個第二管24作為將從多個第一管22的第一開口端22a噴出且被回收至包圍該第一管22的空間S內(nèi)的熱交換介質(zhì)排出至外部的管而發(fā)揮功能。在該熱交換器6中，第一管22、劃分形成包圍該第一管的空間S的間隔壁20、及連通于該空間S的第二管24構(gòu)成熱交換部。因此，熱交換器6具有以不相互內(nèi)包的方式二維地排列的多個熱交換部。
[0055]在一實施方式中，熱交換器6能夠以樹脂、陶瓷、或金屬為主成分而構(gòu)成。此外，為了抑制相鄰的熱交換器6的影響，較理想為使用導(dǎo)熱率較低的材料，例如陶瓷或樹脂，特別優(yōu)選樹脂。此外，為了改變強度或?qū)崧?，也可局部改變?gòu)成熱交換器6的材料。例如也可使多個第一管22的第一開口端22a包含含有碳、陶瓷粉、玻璃纖維、金屬粉等的樹脂。由此，可局部提高第一開口端22a的強度。另外，例如可使用3D打印機形成熱交換器6。
[0056]圖5表不熱交換器6的俯視圖。熱交換器6被分割成由以其中心軸線為中心的多個同心圓劃分邊界而成的多個區(qū)Z1、Z2、Z3、Z4、及Z5。S卩，區(qū)Z1、Z2、Z3、Z4及Z5由多個同心圓狀的邊界B1、B2、B3、B4而相互劃分。區(qū)Zl是以熱交換器6的中心軸線為中心的環(huán)狀區(qū)域，位于熱交換器6的外緣部。區(qū)Z2、Z3、Z4是與區(qū)Zl同心的環(huán)狀區(qū)域，分別位于區(qū)Z1、Z2、Z3的內(nèi)側(cè)。區(qū)Z5是位于區(qū)Z4的內(nèi)側(cè)的圓形區(qū)域，位于熱交換器6的中心部。在這些區(qū)ZU Z2、Z3、Z4、Z5的各自的內(nèi)部，沿周向排列著多個槽部C。另外，在邊界B3上，在四方的槽部C的間隔壁20所交叉的位置，形成著沿?zé)峤粨Q器6的中心軸線方向延伸的三個孔HL。這些孔HL被用作用于供提升銷插通的孔，所述提升銷用來將基板從被載置面提升。
[0057]接著，對流路部8進行說明。圖6是流路部8的立體圖。流路部8配置在熱交換器6的下方，提供用以對熱交換器6供給熱交換介質(zhì)的流路、及用以從熱交換器6回收熱交換介質(zhì)的流路。
[0058]如圖6所示，流路部8為大致圓柱形的塊體，具有上表面8a及側(cè)面Sb。在流路部8形成著貫通其內(nèi)部的多個供給流路26a、26b、26c、26d、26e (當(dāng)無需特別加以區(qū)分時，簡稱為“供給流路26”)、及多個回收流路28a、28b、28c、28d、28e(當(dāng)無需特別加以區(qū)分時，簡稱為“回收流路28”)。在流路部8形成著多個從其側(cè)面Sb朝上表面8a貫通流路部8的內(nèi)部的小徑的空腔，這些空腔構(gòu)成多個供給流路26及多個回收流路28。
[0059]供給流路26a在其中途位置分支，具有多個一端部26al及一個另一端部26a2。多個一端部26al形成于在流路部8的上表面8a分別對應(yīng)于在區(qū)Zl內(nèi)排列的多個第一管22的位置，分別連接于在區(qū)Zl內(nèi)排列的多個第一管22的第二開口端22b。另一端部26a2形成在流路部8的側(cè)面8b。另一端部26a2形成在對應(yīng)于殼體4的第一開口 16a的位置，在收納至殼體4內(nèi)的狀態(tài)下與第一開口 16a相對向。供給流路26a被用作如下流路，S卩，用以將經(jīng)由第一開口 16a流入的熱交換介質(zhì)供給到在熱交換器6的區(qū)Zl內(nèi)排列的多個第一管22。
[0060]回收流路28a在其中途位置分支，具有多個一端部28al及一個另一端部28a2。多個一端部28al形成于在流路部8的上表面8a分別對應(yīng)于在區(qū)Zl內(nèi)排列的多個第二管24的位置，分別連接于在區(qū)Zl內(nèi)排列的多個第二管24的開口 24a。另一端部28a2形成在流路部8的側(cè)面8b。另一端部28a2形成在對應(yīng)于殼體4的第二開口 18a的位置，在收納至殼體4內(nèi)的狀態(tài)下與第二開口 18a相對向?；厥樟髀?8a被用作如下流路，S卩，用以將經(jīng)由在熱交換器6的區(qū)Zl內(nèi)排列的多個第二管24從熱交換器6回收的熱交換介質(zhì)經(jīng)由第二開口18a排出至加工臺ST的外部。
[0061]與供給流路26a同樣地，供給流路26b、26c、26d、26e分別具有多個一端部26bl、26cl、26dl、26el、及一個另一端部 26b2、26c2、26d2、26e2。多個一端部 26bl、26cl、26dl、26el形成于在流路部8的上表面8a分別對應(yīng)于在區(qū)Z2、Z3、Z4、Z5內(nèi)排列的多個第一管22的位置，分別連接于在區(qū)Z2、Z3、Z4、Z5內(nèi)排列的多個第一管22的第二開口端22b。另一端部 26b2、26c2、26d2、26e2 形成在流路部 8 的側(cè)面 8b。另一端部 26b2、26c2、26d2、26e2 分別形成在對應(yīng)于殼體4的第一開口 16b、16c、16d、16e的位置，在收納至殼體4內(nèi)的狀態(tài)下與第一開口 16b、16c、16d、16e相對向。供給流路26b、26c、26d、26e被用作用以如下流路，即，將分別經(jīng)由第一開口 16b、16c、16d、16e流入的熱交換介質(zhì)供給到分別在熱交換器6的區(qū)Z2、Z3、TA、Z5內(nèi)排列的多個第一管22。
[0062]另外，與回收流路28a同樣地，回收流路28b、28c、28d、28e分別具有多個一端部28bl、28cl、28dl、28el、及一個另一端部 28b2、28c2、28d2、28e2。多個一端部 28bl、28cl、28dl、28el形成于在流路部8的上表面8a分別對應(yīng)于在區(qū)Z2、Z3、Z4、Z5內(nèi)排列的多個第二管24的位置，分別連接于在區(qū)Z2、Z3、Z4、Z5內(nèi)排列的第二管24的開口 24a。另一端部28a2形成在流路部8的側(cè)面8b。另一端部28b2、28c2、28d2、28e2形成在對應(yīng)于殼體4的第二開口 18b、18c、18d、18e的位置，在收納至殼體4內(nèi)的狀態(tài)下與第二開口 18b、18c、18d、18e相對向?；厥樟髀?8b、28c、28d、28e被用作如下流路，即，用以將分別經(jīng)由在熱交換器6的區(qū)Z2、Z3、Z4、Z5內(nèi)排列的多個第二管24從熱交換器6回收的熱交換介質(zhì)分別經(jīng)由第二開口 18b、18c、18d、18e排出至加工臺ST的外部。
[0063]這些多個供給流路26及多個回收流路28形成為不相互連通且獨立的流路。在一實施方式中，多個供給流路26具有彼此相等的流導(dǎo)(conductance)，多個回收流路28具有彼此相等的流導(dǎo)。這里，所謂流導(dǎo)，是指表示流體的流動容易程度的指標(biāo)，是由流路的直徑、長度、及彎曲率決定的值。例如，多個供給流路26及多個回收流路28通過根據(jù)流路的長度來調(diào)整流路的直徑及彎曲率，而使相互的流導(dǎo)均勻化。此外，在一實施方式中，為了抑制相鄰流路之間的影響，流路部8能夠以導(dǎo)熱率較低的材料例如陶瓷或樹脂為主成分而構(gòu)成。特別優(yōu)選樹脂。這種流路部8例如可使用3D打印機形成。尤其是當(dāng)設(shè)置100?1000條的許多個流路時，通過使用3D打印機形成流路部，可三維地配置流路的配置，因此，設(shè)計的自由度增加，對流導(dǎo)的均勻化有效。
[0064]回到圖1的說明，對等離子體處理裝置50進行說明。在加工臺ST的平板2的正面?zhèn)?a設(shè)置著靜電吸盤54。靜電吸盤54具有將作為導(dǎo)電膜的電極56配置在一對絕緣層或絕緣片材之間的結(jié)構(gòu)。在電極56電連接著直流電源58。該靜電吸盤54可利用因來自直流電源58的直流電壓而產(chǎn)生的庫倫力等靜電力來靜電吸附保持基板W。
[0065]等離子體處理裝置50還具備配置在處理容器52的外部的閥單元組VU。閥單元組VU構(gòu)成為可針對每一區(qū)控制對熱交換器6的熱交換介質(zhì)的供給或阻斷。閥單元組VU包含閥單元￥1]1、￥1]2、￥1]3、￥1]4、￥1]5(圖7)。此外，熱交換介質(zhì)是以與平板2的熱交換為目的而在加工臺ST內(nèi)流通的流體，且是包含從平板2吸收熱的冷媒、及對平板2賦予熱的熱媒的概念。作為用作冷媒的熱交換介質(zhì)，例如使用冷卻水、氟系液體。另外，熱交換介質(zhì)并不限于液體，也可為利用汽化熱的相變冷卻、或使用氣體的氣體冷卻。
[0066]閥單元組VU經(jīng)由低溫流體供給路44連接于第一熱交換介質(zhì)供給裝置10a的供給口。另外，閥單元組VU經(jīng)由低溫流體回收路45連接于第一熱交換介質(zhì)供給裝置10a的回收口。低溫流體供給路44具有一端部及另一端部，另一端部分支成分支端44a、44b、44c、44d、44e。如圖7所示，這些分支端44a、44b、44c、44d、44e分別連接于閥單元VUl、VU2、VU3、VU4、VU5。另外，低溫流體回收路45具有一端部及另一端部，另一端部分支成分支端45a、45b、45c、45d、45e。這些分支端 45a、45b、45c、45d、45e 分別連接于閥單元 VU1、VU2、VU3、VU4、VU5。
[0067]第一熱交換介質(zhì)供給裝置10a是供給調(diào)整為第一溫度的熱交換介質(zhì)(以下也稱為“低溫流體”)的裝置。第一熱交換介質(zhì)供給裝置10a例如將經(jīng)由低溫流體回收路45從多個閥單元VU1、VU2、VU3、VU4、VU5的各個回收的熱交換介質(zhì)冷卻至第一溫度，將具有第一溫度的熱交換介質(zhì)經(jīng)由低溫流體供給路44供給到多個閥單元VU1、VU2、VU3、VU4、VU5的各個。第一溫度為比目標(biāo)溫度低的溫度，例如可設(shè)為攝氏-30度。
[0068]另外，閥單元組VU經(jīng)由高溫流體供給路46連接于第二熱交換介質(zhì)供給裝置10b的供給口(圖1)。另外，閥單元組VU經(jīng)由高溫流體回收路47連接于第二熱交換介質(zhì)供給裝置10b的回收口。高溫流體供給路46具有一端部及另一端部，另一端部分支成分支端46a、46b、46c、46d、46e。如圖7所示，這些分支端46a、46b、46c、46d、46e分別連接于閥單元VU1、VU2、VU3、VU4、VU5。另外，高溫流體回收路47具有一