包括紅外輻射器模塊，該紅外輻射器模塊具有擁有各 2個絲的12個雙管紅外輻射器。絲的數(shù)目為總共24個。如下面的表3所示，可以利用輻射 器模塊通過不同地開關(guān)絲在近似恒定的120 kW/m2功率密度的情況下實現(xiàn)不同的色溫。
作為襯底，既使用由聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN)制成的塑料膜、又使用由聚對苯二甲酸 乙二醇酯（PET)制成的塑料膜，其分別具有100 μ m的膜厚。塑料膜是利用具有含銀墨汁的 噴墨印刷機（Dimatix DMP283;滴落空間25/30 μπι)來印制。作為墨汁使用銀納米顆粒（20 重量百分比）在有機溶劑中的分散體（Suntronic? Jet Silver U 5603)。
[0078] 印制的塑料膜接著被照射裝置干燥。為此，膜為了干燥和燒結(jié)墨汁層而在傳輸方 向上以軌道速度相對于紅外輻射器模塊移動。在此，可以實現(xiàn)直至60m/min的軌道速度。
[0079] 圖3以示意圖示出了根據(jù)本發(fā)明的運行方法的流程圖，例如根據(jù)圖1的用于照射 襯底的裝置基于該運行方法。但是為了簡化，圖3僅僅示出了照射裝置，其具有三個可彼此 獨立運行的紅外輻射器(輻射器1-3)，下面按照所述照射裝置進一步闡述該運行方法。輻射 器1-3分別以恒定的運行功率運行。
[0080] 首先，照射過程與要照射的襯底相協(xié)調(diào)。在此，襯底通常預(yù)先給定要選擇的輻射譜 以及要選擇的總照射功率。因為應(yīng)當(dāng)以預(yù)先給定的總照射功率和預(yù)先給定的輻射譜進行照 射，所以其額定值被預(yù)先給定并輸入給調(diào)節(jié)單元。輻射譜基本上由主發(fā)射線的波長來表征， 使得在此僅僅輸入主發(fā)射線。在一個替代的實施方式(未示出）中，也可以考慮一個或多個 預(yù)先給定的頻譜范圍。
[0081] 從這些值出發(fā)，調(diào)節(jié)單元確定紅外輻射器的相應(yīng)運行功率PjP P 3、以及所屬額 定運行電流I l，soll、工2, soil、I3, soil 以及額定運行電壓U 1，soil、U2, s〇l!、U3, s〇n 〇 調(diào)節(jié)單元具有存儲 元件，在該存儲元件中保存有福射器1-3的電流-電壓特征曲線；調(diào)節(jié)單元在確定福射器 1-3的相應(yīng)運行功率的額定值時考慮特征曲線。各個輻射器運行功率的額定值的確定依照 如下準(zhǔn)則進行：相應(yīng)輻射器運行功率要么為紅外輻射器的額定功率的〇%、要么處于標(biāo)稱功 率的50%至100% (含100%)的范圍內(nèi)。由此，例如可以關(guān)斷輻射器1-3之一，而其它輻射器 以上述范圍中的運行功率運行。在一個替代的實施方式中，相應(yīng)輻射器運行功率要么為紅 外輻射器的標(biāo)稱功率的〇%、要么其處于標(biāo)稱功率的15至100% (含100%)范圍內(nèi)。
[0082] 輻射器1-3由調(diào)節(jié)單元以一定電壓和電流來運行。在此，輻射器1-3的運行功率 被調(diào)節(jié)單元調(diào)節(jié)到之前確定的額定值上，使得輻射器1-3以與總照射功率的預(yù)先給定的額 定值相差最大15%的總照射功率來照射表面上的照射域。
[0083] 輻射器1-3的各個運行功率的調(diào)節(jié)偏差由調(diào)節(jié)單元來檢測，其方式是，持續(xù)地監(jiān) 控輻射器1-3的運行電壓和運行電流。所確定的調(diào)節(jié)偏差由調(diào)節(jié)單元通過如下方式來校 正：福射器1-3以經(jīng)匹配的電壓U liK(]RR，U2,K(]RR，U3,K(]R，經(jīng)匹配的電流I 1.K0RR) 12,K0RR) 13,KORR 來運行。
[0084] 輻射器1-3照射照射區(qū)。
[0085] 在該運行方法的一個替代的擴展方案(未示出）中，襯底配備有含金屬的墨汁并且 為了干燥和燒結(jié)該墨汁而被照射。在該照射單元中，設(shè)置有照射第二照射區(qū)的三個附加的 輻射器4-6、以及照射第三照射區(qū)的三個另外的輻射器7-9。調(diào)節(jié)單元調(diào)節(jié)輻射器1-9的 相應(yīng)運行功率，使得生成具有三個不同區(qū)、即第一照射區(qū)、第二照射區(qū)和第三照射區(qū)的照射 域。第一照射區(qū)是用于干燥含金屬墨汁的干燥區(qū)。第三照射區(qū)是燒結(jié)含金屬墨汁的燒結(jié)區(qū)。 干燥區(qū)和燒結(jié)區(qū)在照射密度方面不同。兩個區(qū)的照射密度與含金屬墨汁的特性相匹配。干 燥區(qū)的照射密度小于燒結(jié)區(qū)的照射密度。第二照射區(qū)是過渡區(qū)，該過渡區(qū)布置在干燥區(qū)與 燒結(jié)區(qū)之間并且該過渡區(qū)的照射密度處于干燥區(qū)的照射密度與燒結(jié)區(qū)的照射密度之間的 范圍中。
【主權(quán)項】
1. 用于運行用于通過用紅外輻射進行照射來對襯底進行改性的裝置的方法，所述裝置 具有照射單元，在所述照射單元中綜合有多個具有彼此平行布置的縱軸的圓柱形紅外輻射 器，所述方法包括下列方法步驟： (a) 根據(jù)襯底的要實現(xiàn)的改性預(yù)先給定總照射功率； (b) 以相應(yīng)的額定運行功率運行紅外輻射器； 其特征在于， (c) 根據(jù)襯底的要實現(xiàn)的改性預(yù)先給定額定輻射譜； (d) 并且個別化地選擇紅外輻射器的相應(yīng)的額定運行功率，使得由所述額定運行功率 相加得出額定輻射譜和總照射功率； (e) 所依照的準(zhǔn)則是：紅外輻射器是相同構(gòu)造的，并且總照射功率與預(yù)先給定的額定值 相差最大15 %。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的運行方法，其特征在于，紅外輻射器具有標(biāo)稱功率，并且相應(yīng) 額定運行功率要么為標(biāo)稱功率的〇%、要么處于標(biāo)稱功率的15%至100%(含100%)的范圍內(nèi)。3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的運行方法，其特征在于，紅外輻射器分別發(fā)射如下輻射： 所述輻射關(guān)于相應(yīng)紅外輻射器的總輻射功率具有至少25%的IR-A輻射份額和至少25%的 IR-B輻射份額。4. 根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的運行方法，其特征在于，紅外輻射器的額定運行功率 由調(diào)節(jié)單元來確定。5. 根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的運行方法，其特征在于，所述裝置包括未照明的紅外 輻射器和照明的紅外輻射器，其中相鄰的照明的紅外輻射器彼此具有照明間距，其中所述 裝置的照明間距的平均值的方差采取最小值。6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的運行方法，其特征在于，調(diào)節(jié)單元具有存儲元件，在所述存儲 元件中存放有紅外輻射器的特征曲線，并且在確定紅外輻射器的相應(yīng)額定運行功率時考慮 所述特征曲線中的至少一個。7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的運行方法，其特征在于，所述特征曲線包括至少一個電流-電 壓特征曲線，從所述電流-電壓特征曲線中為相應(yīng)紅外輻射器確定運行電流I,，使得在預(yù)先 給定的運行電壓U 1和運行多個紅外輻射器n i的情況下達到總照射功率。8. 根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的運行方法，其特征在于，輻射器平面上的平均功率密 度處于20 kW/m2至250 kW/m2的范圍內(nèi)。9. 根據(jù)前述權(quán)利要求1至8之一所述的運行方法，其特征在于，以10 kW/m2至200 kW/ m2范圍內(nèi)的平均照射密度照射照射域。10. 根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的運行方法，其特征在于，襯底配備有含金屬的墨汁并 且為了干燥和燒結(jié)所述墨汁而被照射。11. 用于通過用紅外輻射進行照射來對襯底進行改性的裝置，具有照射單元，在所述照 射單元中綜合有多個具有彼此平行布置的縱軸的圓柱形紅外輻射器，其特征在于，為了個 別化地調(diào)節(jié)相應(yīng)紅外輻射器的額定運行功率，設(shè)置調(diào)節(jié)單元，所述調(diào)節(jié)單元從預(yù)先給定的 額定輻射譜和預(yù)先給定的總照射功率個別化地確定紅外輻射器的相應(yīng)額定運行功率，使得 由所述額定運行功率相加得出額定輻射譜和總運行功率，所依照的準(zhǔn)則是，紅外輻射器是 構(gòu)造相同的并且總照射功率與預(yù)先給定的額定值相差最大15%。
【專利摘要】公知的用于運行用于通過用紅外輻射進行照射來對襯底進行改性的裝置的方法，該裝置具有照射單元，在該照射單元中綜合有多個具有彼此平行布置的縱軸的圓柱形紅外輻射器，該方法包括下列方法步驟：a）根據(jù)襯底的要實現(xiàn)的改性預(yù)先給定總照射功率；（b）以相應(yīng)的額定運行功率運行紅外輻射器。為了由此出發(fā)說明一種有效的、使得能夠以新的運行方式簡單和快速地換裝該裝置并同時使得能夠簡單和成本適宜地運行該裝置的運行方法，根據(jù)本發(fā)明提出：（c）根據(jù)襯底的要實現(xiàn)的改性預(yù)先給定額定輻射譜；（d）并且個別化地選擇紅外輻射器的相應(yīng)的額定運行功率，使得由所述額定運行功率相加得出額定輻射譜和總照射功率；（e）所依照的準(zhǔn)則是：紅外輻射器是相同構(gòu)造的，并且總照射功率與預(yù)先給定的額定值相差最大15%。
【IPC分類】H01L21/67
【公開號】CN105247672
【申請?zhí)枴緾N201480032159
【發(fā)明人】J.韋伯, S.利諾夫, O.魏斯
【申請人】賀利氏特種光源有限責(zé)任公司
【公開日】2016年1月13日
【申請日】2014年5月26日
【公告號】DE102013105959A1, EP3005413A1, US20160116211, WO2014195172A1