引線框架固定用窗口夾的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種引線框架固定用窗口夾。
【背景技術(shù)】
[0002]眾所周知，引線接合(wire bonding)工藝作為用于制作半導(dǎo)體封裝件的幾種工藝中的一種，是例如將半導(dǎo)體芯片的焊盤和與此對(duì)應(yīng)的引線框架的內(nèi)部引線(inner lead)通過(guò)諸如金(Au)或鋁(Al)的導(dǎo)電性金屬線(wire)來(lái)電連接的工藝。這樣的引線接合工藝通常采用窗口夾(window clamp)以在引線接合時(shí)穩(wěn)定地固定引線框架的同時(shí)能夠提高引線接合的品質(zhì)。
[0003]如上所述，用于固定引線框架的窗口夾在2002年6月26日以韓國(guó)公開專利第10-2002-0049863號(hào)公開的“引線框架固定裝置”中得到記載，根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的窗口夾在其中心區(qū)域形成用于執(zhí)行引線接合作業(yè)的作業(yè)空間，并且具有向該作業(yè)空間周圍下方凸出的凸起部。此外，窗口夾具備對(duì)布置于作業(yè)空間下部的對(duì)引線框架的內(nèi)部引線進(jìn)行加壓的氣缸裝置。
[0004]專利文件I的氣缸裝置有助于對(duì)引線框架的內(nèi)部引線加壓部進(jìn)行整體均勻的加壓。在進(jìn)行引線接合時(shí)，如果窗口夾的凸起部對(duì)引線框架的內(nèi)部引線進(jìn)行加壓，則在內(nèi)部引線的末端會(huì)發(fā)生翹曲(warpage)現(xiàn)象。為了抑制這樣的翹曲現(xiàn)象，專利文獻(xiàn)I提出了在凸起部?jī)?nèi)側(cè)將另外的氣缸裝置作為手段來(lái)對(duì)內(nèi)部引線的末端額外加壓的方案。
[0005][現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]
[0006][專利文獻(xiàn)]
[0007](專利文獻(xiàn)I)韓國(guó)公開專利第10-2002-0049863號(hào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的目的在于提供一種為能夠抑制引線框架的內(nèi)部引線的翹曲現(xiàn)象而調(diào)節(jié)通過(guò)凸起部施加的壓力的同時(shí)改善引線框架的內(nèi)部引線與半導(dǎo)體芯片之間的引線接合狀態(tài)的窗口夾。
[0009]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的引線框架固定用窗口夾有助于在加熱塊上的弓I線框架的弓I線接合處理，所述窗口夾由如下部分構(gòu)成:板狀的主體部，包括在中心區(qū)域穿孔而形成的窗口和設(shè)置于所述窗口周圍的一個(gè)以上的貫通孔；腳部，以可調(diào)節(jié)高度的方式結(jié)合于該主體部的下部；高度調(diào)節(jié)部，容納于主體部的貫通孔內(nèi)并且與腳部結(jié)合，從而有助于腳部的高度調(diào)節(jié)。
[0010]腳部包括扁平的板、形成于該板的上部面的結(jié)合部及從該板的一側(cè)邊緣向下方凸出的凸起部，結(jié)合部與高度調(diào)節(jié)部的一部分連接。
[0011]可選擇地，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的引線框架固定用窗口夾具有螺栓類型的高度調(diào)節(jié)部和螺母類型的結(jié)合部，并且使高度調(diào)節(jié)部與腳部的結(jié)合部以螺絲連接方式結(jié)合。即，螺栓類型的高度調(diào)節(jié)部可在貫通孔內(nèi)按順時(shí)針?lè)较蚧蛘吣鏁r(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)從而改變腳部的高度。
[0012]本發(fā)明的特征及優(yōu)點(diǎn)將通過(guò)根據(jù)附圖的以下的詳細(xì)說(shuō)明而變得更加清楚。
[0013]在此之前，本說(shuō)明書及權(quán)利要求所使用的術(shù)語(yǔ)以及單詞不應(yīng)被解釋為通常且詞典上的含義，而是應(yīng)當(dāng)基于發(fā)明人為了以最佳方法對(duì)自己的發(fā)明進(jìn)行說(shuō)明而適當(dāng)?shù)囟x術(shù)語(yǔ)的概念的原則來(lái)解釋為符合本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思的含義和概念。
【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1是從上俯視根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的窗口夾的立體圖。
[0015]圖2是示出應(yīng)用根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的窗口夾的引線接合作業(yè)狀態(tài)的剖面圖。
[0016]圖3A及圖3B是示出窗口夾的腳部的下降及上升狀態(tài)的窗口夾的剖面圖。
[0017]圖4是根據(jù)本發(fā)明的其他實(shí)施例的窗口夾的平面圖。
[0018]符號(hào)說(shuō)明:
[0019]1:窗口夾，
[0020]10:主體部
[0021]11:貫通孔
[0022]20:腳部
[0023]30:高度調(diào)節(jié)部
[0024]100:加熱塊
[0025]200:引線框架
[0026]300:半導(dǎo)體芯片
[0027]400:加壓?jiǎn)卧?br>[0028]500:毛細(xì)管
【具體實(shí)施方式】
[0029]以下，將參照附圖對(duì)根據(jù)本發(fā)明的引線框架固定用窗口夾進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0030]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)、特征以及實(shí)現(xiàn)這些的方法將會(huì)通過(guò)附圖和后述的實(shí)施例變得清楚。本說(shuō)明書中在對(duì)各個(gè)附圖的構(gòu)成要素附加附圖標(biāo)號(hào)時(shí)，整個(gè)說(shuō)明書中相同的標(biāo)號(hào)表示相同或者類似的構(gòu)成要素。此外，本說(shuō)明書中在針對(duì)關(guān)聯(lián)的公知常識(shí)的說(shuō)明使本發(fā)明的主旨變得不清楚時(shí)省略對(duì)其詳細(xì)的說(shuō)明。
[0031]參照?qǐng)D1及圖2，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的窗口夾I對(duì)布置于加熱塊(heaterblock) 100上的引線框架200向下方加壓從而限制在引線接合時(shí)引線框架200的不必要的移動(dòng)。
[0032]引線接合工藝(參照?qǐng)D2)需要:加熱塊100，支撐保持引線框架200的同時(shí)對(duì)引線框架進(jìn)行加熱；根據(jù)本發(fā)明的窗口夾1，有助于安裝于該加熱塊100上的引線框架200和半導(dǎo)體芯片300之間的引線接合；加壓?jiǎn)卧?00，對(duì)該窗口夾I向下方加壓。
[0033]根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的窗口夾I具有:主體部10，整體上為板狀；窗口(window) 15，在該主體部10的中心區(qū)域穿孔而形成；凸緣12，形成于該主體部10的邊緣(優(yōu)選為兩端)；腳部(foot) 20，以可調(diào)節(jié)高度的方式結(jié)合于主體部10的下部。
[0034]窗口 15大致以四邊形開口形成于主體部10的中心區(qū)域以確保用于引線接合的作業(yè)空間。
[0035]凸緣12形成于扁平的板狀的主體部10的兩端，并且是受到由加壓?jiǎn)卧?00的向下方的壓力的部分。
[0036]腳部20可拆裝地結(jié)合于主體部10的下部，并且被布置于形成于主體部10的下部面的階梯部13的下面。階梯部13可被形成為與腳部20的板21對(duì)應(yīng)的形狀。從而，腳部20的凸起部22可沿著窗口 15的下部周圍而被布置。如圖所示，可在主體10的下部設(shè)置兩個(gè)腳部，以使腳部20能夠以主體10的窗口 15為中心布置在相互面對(duì)的兩個(gè)位置。
[0037]引線接合工藝中，腳部20為將引線框架200或者基底在無(wú)翹曲現(xiàn)象的情況下緊貼于加熱塊100的構(gòu)成部件，其在被加壓?jiǎn)卧?00加壓的主體部10的下部進(jìn)行高度調(diào)節(jié)而額外地調(diào)節(jié)加壓?jiǎn)卧?00的壓力，從而可防止引線框架的一部分的翹曲現(xiàn)象。S卩，如果加壓?jiǎn)卧?00對(duì)凸緣12向下方加壓，則窗口夾I的腳部20將對(duì)引線框架200的內(nèi)部引線向加熱塊100側(cè)加壓。
[0038]在腳部20固定引線框架200的內(nèi)部引線的狀態(tài)下使用毛細(xì)管500來(lái)執(zhí)行將引線框架200的內(nèi)部引線與半導(dǎo)體芯片300電連接的引線接合作業(yè)。
[0039]換句話說(shuō)，在腳部20固定引線框架200的內(nèi)部引線時(shí)，會(huì)發(fā)生引線框架200的內(nèi)部引線的端部在加熱塊100上相隔預(yù)定的間隔而隔開的翹曲現(xiàn)象。這樣的翹曲現(xiàn)象在通過(guò)毛細(xì)管500實(shí)施引線接合期間如果將翹曲的內(nèi)部引線接觸到毛細(xì)管500，則由翹曲的內(nèi)部引線受到彈性斥力而導(dǎo)致跳躍(bouncing)現(xiàn)象。結(jié)果是，在引線接合時(shí)不能將導(dǎo)電性金屬線確切地貼附于引線框架的內(nèi)部引線，因此無(wú)法保障半導(dǎo)體芯片300與引線框架200之間的可靠的電連接。
[0040]對(duì)此，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的窗口夾I通過(guò)與主體部10可分離地結(jié)合的腳部20來(lái)幫助引線框架200的內(nèi)部引線的端部使其不翹曲地緊貼在加熱塊100上。為此，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的窗口夾I從被加壓?jiǎn)卧?00按壓的主體部10得到高度調(diào)節(jié)，從而可對(duì)施加到引線框架200的內(nèi)部引線的腳部20的壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)。這樣的腳部20的壓力防止引線框架200的內(nèi)部引線的端部發(fā)生翹曲現(xiàn)象，從而可實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體芯片300和平坦地布置的引線框架200的