處理半導(dǎo)體錠料的處理裝置、傳遞和處理半導(dǎo)體錠料的載體和方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本文公開的實(shí)施例涉及用于在太陽能電池制造工藝中輸送半導(dǎo)體錠料的半導(dǎo)體錠料的載體。本文還公開了傳遞半導(dǎo)體錠料的方法，和諸如絲鋸的處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]太陽能電池通常被形成在諸如硅的半導(dǎo)體基板上。制造工藝常常涉及在處理的各個(gè)階段于裝置之間輸送半導(dǎo)體錠料，所述裝置包括用于切斷半導(dǎo)體錠料的絲鋸。半導(dǎo)體材料的錠料可被處理，諸如通過絲鋸被切割。
[0003]在制造太陽能電池時(shí)，需要具有幾乎沒有浪費(fèi)的半導(dǎo)體材料的快速產(chǎn)量，所述浪費(fèi)諸如與斷裂有關(guān)的浪費(fèi)。因此，需要提高半導(dǎo)體錠料進(jìn)出處理裝置和設(shè)備的裝載和卸載的效率，所述處理裝置和設(shè)備包括容器。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]根據(jù)一方面，本文公開了用于半導(dǎo)體錠料的載體，所述載體包括容器。容器包括側(cè)面構(gòu)件，所述側(cè)面構(gòu)件在用于側(cè)面裝載的開放位置和閉合位置之間可動(dòng)。
[0005]根據(jù)一方面，本文還公開了用于處理半導(dǎo)體錠料的處理裝置。處理裝置被配置以通過側(cè)面卸載從載體接收半導(dǎo)體錠料。處理裝置可為絲鋸。
[0006]根據(jù)一方面，本文還公開了傳遞半導(dǎo)體錠料至處理裝置的方法，所述方法包括:傳遞含有半導(dǎo)體錠料的載體至處理裝置；打開載體的側(cè)面構(gòu)件；和從載體側(cè)面卸載半導(dǎo)體錠料。
[0007]進(jìn)一步方面、實(shí)施例、細(xì)節(jié)和實(shí)例從從屬權(quán)利要求、以下描述和附圖中顯而易見。
【附圖說明】
[0008]附圖涉及本文所述的實(shí)施例。
[0009]圖1圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的載體。
[0010]圖2圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的載體橫截面?zhèn)纫晥D。
[0011]圖3圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的載體橫截面?zhèn)纫晥D。
[0012]圖4圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的載體橫截面?zhèn)纫晥D。
[0013]圖5圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的載體。
[0014]圖6圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的夾具。
[0015]圖7圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的夾具。
[0016]圖8圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的載體。
[0017]圖9圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的載體的部分。
[0018]圖10圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的載體的部分。
[0019]圖11圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的載體。
[0020]圖12至圖16圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的從載體卸載半導(dǎo)體錠料。
[0021]圖17至圖24圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的裝載已處理的半導(dǎo)體錠料至載體中。
[0022]圖25示意地圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的傳遞半導(dǎo)體錠料至處理裝置的方法。
[0023]圖26示意地圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的傳遞和處理半導(dǎo)體錠料的方法。
【具體實(shí)施方式】
[0024]在本文中，“錠料”可以是諸如硅，具體而言結(jié)晶硅的半導(dǎo)體錠料，和/或用作太陽能電池的材料。例如，錠料可以是正方形單晶硅錠料、多晶硅磚或圓柱形半導(dǎo)體錠料。在本文中，半導(dǎo)體錠料可以例如是已處理的半導(dǎo)體錠料，或準(zhǔn)備用于諸如進(jìn)一步處理的處理的半導(dǎo)體錠料。在本文中，已處理的半導(dǎo)體錠料可以例如是已切片和/或切割的半導(dǎo)體錠料。
[0025]在本文中，“裝載”和“卸載”半導(dǎo)體錠料可指代分別傳遞半導(dǎo)體錠料進(jìn)出裝置和/或設(shè)備，所述裝置和/或設(shè)備諸如載體。載體裝載可與半導(dǎo)體處理裝置的卸載重合，且載體卸載可與半導(dǎo)體處理裝置的裝載重合。
[0026]在本文中，半導(dǎo)體錠料的“側(cè)面裝載”可指代在水平方向上傳遞半導(dǎo)體錠料至設(shè)備中，諸如傳遞半導(dǎo)體錠料至載體中?！皞?cè)面卸載”可為反轉(zhuǎn)過程，諸如通過在大體或完全水平的方向上運(yùn)動(dòng)來傳遞出設(shè)備、載體?！绊敳垦b載(和“頂部卸載可分別指代在大體或完全垂直的方向上將半導(dǎo)體錠料傳遞到設(shè)備中(傳遞出設(shè)備)，所述設(shè)備諸如載體。
[0027]在本文中，“夾持器”可以例如是“終端受動(dòng)器”。夾持器可包括用于握緊夾具的機(jī)構(gòu)，所述夾具諸如半導(dǎo)體錠料的夾具。
[0028]在本文中，“致動(dòng)器”可為一設(shè)備，所述設(shè)備移動(dòng)且可適合于移動(dòng)諸如載體的部件，和所述設(shè)備的可動(dòng)構(gòu)件，所述可動(dòng)構(gòu)件諸如載體的門、諸如處理設(shè)備的門的門、諸如至處理設(shè)備腔室的門、諸如絲鋸的門，以及上述門的組合。在本文中，“進(jìn)入門”可指代處理設(shè)備的門，諸如處理設(shè)備腔室的門。
[0029]在本文中，“絲鋸”可以是如用于切割半導(dǎo)體材料，具體而言光生伏打半導(dǎo)體材料的絲鋸；絲鋸可將錠料切割成為磚、晶片等等。
[0030]在本文中，包括載體部件(例如，夾具、容器)的短軸的載體“短軸”可垂直于載體和/或載體部件的長軸。在本文中，“頂部裝載(top-loading)”和“頂部裝載(top loading) ”被可交換地使用且可為“頂部卸載(top unloading) ”和“頂部卸載(top-unloading)”的逆向運(yùn)動(dòng)，且“頂部裝載(top-loading) ”和“頂部裝載(toploading) ”可在垂直方向上與載體和/或半導(dǎo)體錠料的運(yùn)動(dòng)重合。在本文中，“側(cè)面裝載(side-loading) ”和“側(cè)面裝載(side loading) ”被可交換地使用且可為“側(cè)面卸載(side-unloading)”和“側(cè)面卸載(side unloading)”的逆向運(yùn)動(dòng)，且“側(cè)面裝載(side-loading) ”和“側(cè)面裝載(side loading) ”可在水平方向上與載體和/或半導(dǎo)體錠料的運(yùn)動(dòng)重合。
[0031]在本文中，“容器”可以是用于保持諸如半導(dǎo)體錠料的物品的結(jié)構(gòu)。“容器”可界定內(nèi)部空間，諸如包圍的內(nèi)部空間。容器可具有互補(bǔ)的可移動(dòng)部分，所述部分諸如也可附接于物品的蓋和/或夾具，所述物品具體而言是半導(dǎo)體錠料。“夾具”可以是被擱在容器，或容器的剩余部分上的蓋，且“夾具”可被認(rèn)為是容器的一部分。
[0032]在本文中，容器的“開放位置”可為當(dāng)容器處于“開放位置”時(shí)，使得容器中的物品(例如半導(dǎo)體錠料)可移動(dòng)，具體而言沿著一方向，諸如沿著水平方向可移動(dòng)的位置，所述“開放位置”可與容器的“閉合位置”相反。開放位置也可為使得物品(例如半導(dǎo)體錠料)可被諸如沿著特定方向放入容器的位置。容器可具有開放位置和/或閉合位置；也可預(yù)期，容器的部件，具體而言“側(cè)面構(gòu)件”可具有開放位置和/或閉合位置。
[0033]在本文中，容器的“側(cè)面構(gòu)件”可以是沿著容器側(cè)面定位的結(jié)構(gòu)，例如棒件、壁部，和/或管件。側(cè)面構(gòu)件可具有“開放位置”，所述“開放位置”可為使得側(cè)面構(gòu)件被從容器的其余部分去除的位置。一種替代位置為無論處于開放或閉合的任一配置，側(cè)面構(gòu)件可保持附接的位置。
[0034]現(xiàn)將對各種實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)參考，所述實(shí)施例的一或多個(gè)實(shí)例圖示于附圖中。在附圖的以下描述中，相同元件符號(hào)代表相同元件。通常，僅描述對于個(gè)別實(shí)施例的差異。每一實(shí)例是作為說明而提供且并不必意指作為限制。例如，圖示或描述為一個(gè)實(shí)施例的一部分的特征可用于其他實(shí)施例或結(jié)合其他實(shí)施例一起使用，以產(chǎn)生更進(jìn)一步實(shí)施例。本案意圖包括所述修改和變化。
[0035]圖1圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的載體100的剖視圖，所述實(shí)施例可與本文所述的任何其他實(shí)施例結(jié)合。圖1圖示載體100的已裝載配置，其中半導(dǎo)體錠料110被包含于載體100中。載體100的容器120包括側(cè)面構(gòu)件140，所述側(cè)面構(gòu)件140可在開放位置和閉合位置之間移動(dòng)，所述開放位置用于側(cè)面裝載，諸如半導(dǎo)體錠料110的側(cè)面裝載。載體100可包括容器120和夾具130，所述夾具可被可翻轉(zhuǎn)地放置